JPS5918435U - 非接触型ウエ−ハチヤツク - Google Patents

非接触型ウエ−ハチヤツク

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Publication number
JPS5918435U
JPS5918435U JP11397382U JP11397382U JPS5918435U JP S5918435 U JPS5918435 U JP S5918435U JP 11397382 U JP11397382 U JP 11397382U JP 11397382 U JP11397382 U JP 11397382U JP S5918435 U JPS5918435 U JP S5918435U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cavity
contact wafer
backpack
main body
center
Prior art date
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Pending
Application number
JP11397382U
Other languages
English (en)
Inventor
毛利　幹生
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社 filed Critical 日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
Priority to JP11397382U priority Critical patent/JPS5918435U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来の非接触型ウェーハチャック
を示し、第１図はその下面図で、第２図は第１図の■−
■線に沿う断面図である。第３図および第４図はこの考
案の一実施例の非接触型ウェーハチャックを示し、第３
図はその下面図で、第４図は第３図のＴＶ＝ＩＶ線に沿
う断面図である。 １０・・・・・・本体、１１・・・・・・空洞、１２・
・・・・・ガス吹き出し口、１３・・・・・・ガス供給
口、１４・・・・・・ガス排出口、１５・・・・・・半
導体ウェーハ、１６・・・・・・不活性ガス。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円板状の本体と、この本体の内部に設けられた空洞と、
    この空洞に連通し本体の下面より中央部に向って斜めに
    開口した多数のガス吹き出し口と、空洞に連通ずるガス
    供給口と、前記本体の下面中央に開口し前記空洞とは区
    画されているガス排出口とを有する非接触型ウェーハチ
    ャック。
JP11397382U 1982-07-27 1982-07-27 非接触型ウエ−ハチヤツク Pending JPS5918435U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11397382U JPS5918435U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 非接触型ウエ−ハチヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11397382U JPS5918435U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 非接触型ウエ−ハチヤツク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5918435U true JPS5918435U (ja) 1984-02-04

Family

ID=30263636

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11397382U Pending JPS5918435U (ja) 1982-07-27 1982-07-27 非接触型ウエ−ハチヤツク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5918435U (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6216924A (ja) * 1985-05-04 1987-01-26 Seibu Giken:Kk 流体によつて板状体を無接触状態で懸垂浮遊させる方法
JPS62211236A (ja) * 1986-03-12 1987-09-17 Hitachi Ltd 板状体の保持装置
JP2008284671A (ja) * 2007-05-15 2008-11-27 Keizo Otani ノンコンタクト搬送パッド
WO2012144120A1 (ja) * 2011-04-20 2012-10-26 村田機械株式会社 吸引チャック、及びそれを備えたワークの移載装置

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