JPS5984843U - 半導体製造用キヤリアハンガ - Google Patents
半導体製造用キヤリアハンガInfo
- Publication number
- JPS5984843U JPS5984843U JP18162682U JP18162682U JPS5984843U JP S5984843 U JPS5984843 U JP S5984843U JP 18162682 U JP18162682 U JP 18162682U JP 18162682 U JP18162682 U JP 18162682U JP S5984843 U JPS5984843 U JP S5984843U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- semiconductor manufacturing
- carrier hanger
- hanger
- bottom opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図はキャリアの一例を示す平面図及びＡ
−Ａ線に沿う断面図、第３図は従来のキャリアハンガの
液処理動作時の部分断面図、第４図及び第５図は本考案
の一実施例を示す各動作状態での部分断面図である。 １・・・・・・キャリア、２′・・・・・・キャリアハ
ンガ、３ ゛・・・・・・半導体ウェーハ、９・
・・・・・キャリア塔載部分、１１・・・・・・突起。 ゛ 第４図 − 第５図−
−Ａ線に沿う断面図、第３図は従来のキャリアハンガの
液処理動作時の部分断面図、第４図及び第５図は本考案
の一実施例を示す各動作状態での部分断面図である。 １・・・・・・キャリア、２′・・・・・・キャリアハ
ンガ、３ ゛・・・・・・半導体ウェーハ、９・
・・・・・キャリア塔載部分、１１・・・・・・突起。 ゛ 第４図 − 第５図−
Claims (1)
- 複数の半導体ウェーハを対向させて縦方向に整列支持す
る底部開口のキャリアを塔載するキャリアハンガにおい
て、キャリア塔載部分に塔載されたキャリアの底部開口
より各半導体ウェーハをキャリアに対して少し持ち上げ
る少くとも一条の突４ 起を設けたことを特徴とす
る半導体製造用キャリアノ・ンガ。
・１
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18162682U JPS5984843U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体製造用キヤリアハンガ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18162682U JPS5984843U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体製造用キヤリアハンガ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984843U true JPS5984843U (ja) | 1984-06-08 |
Family
ID=30393531
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18162682U Pending JPS5984843U (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 半導体製造用キヤリアハンガ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984843U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019160954A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP18162682U patent/JPS5984843U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019160954A (ja) * | 2018-03-12 | 2019-09-19 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎ Ｓｐｅ テック | 基板処理装置および基板処理方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5984843U (ja) | 半導体製造用キヤリアハンガ | |
| JPS60141129U (ja) | リ−ドレスチツプキヤリアの端子構造 | |
| JPS6132077U (ja) | 半導体ウエハ−の運搬用トレイ | |
| JPS59109147U (ja) | ウエハ収納ケ−ス | |
| JPS58138338U (ja) | 分割式サブストレ−トキヤリア | |
| JPS5933240U (ja) | 遠心乾燥機 | |
| JPS6037239U (ja) | 半導体ウエハ | |
| JPS5996829U (ja) | 半導体ウエ−ハの発熱担体 | |
| JPS6146730U (ja) | ウエハ載置用カセツト | |
| JPS619834U (ja) | 半導体ウエハ− | |
| JPS5920632U (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5825039U (ja) | 半導体基板 | |
| JPS5887354U (ja) | チツプキヤリア | |
| JPS60117857U (ja) | 蒸着機用ウエハ−ホルダ− | |
| JPS60129131U (ja) | ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア | |
| JPS5916141U (ja) | キヤリアケ−ス | |
| JPS5983029U (ja) | 半導体基板 | |
| JPS593531U (ja) | 半導体基板支持用ボ−ド | |
| JPS60998U (ja) | 電気部品センタ出し装置 | |
| JPS6013739U (ja) | ウエハ保持装置 | |
| JPS5981073U (ja) | 基板保持構造 | |
| JPS60169900U (ja) | 半導体装置輸送用トレイ | |
| JPS5872844U (ja) | Ｌｓｉパツケ−ジ | |
| JPS59169047U (ja) | 集積回路素子 | |
| JPS58124952U (ja) | 半導体ウエハ用収納治具 |