JPS59190232A - 光フアイバ母材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ母材の製造方法Info
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- JPS59190232A JPS59190232A JP6124083A JP6124083A JPS59190232A JP S59190232 A JPS59190232 A JP S59190232A JP 6124083 A JP6124083 A JP 6124083A JP 6124083 A JP6124083 A JP 6124083A JP S59190232 A JPS59190232 A JP S59190232A
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- JP
- Japan
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- glass
- substrate
- gas
- burner
- longitudinal direction
- Prior art date
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- Granted
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明(r′i光通信用光ファイ・く母材の製造方法に
関する。
関する。
石英ガラス系光フアイバ母材の製造方法の1(・こ、所
謂外付けCVD法と呼ばれるものがある。
謂外付けCVD法と呼ばれるものがある。
この方法(は、ベイトと呼ばれる棒4大の、!1℃体の
外周に、基体を回転させつつかつ基体と原オ」供給用バ
ーナとを基体の長手方向(こ相対移動させながらバーナ
かもガラス微粒ゴーを吹き付け、基体の外周にガラス微
粒子の堆積層を形成するというものである。
外周に、基体を回転させつつかつ基体と原オ」供給用バ
ーナとを基体の長手方向(こ相対移動させながらバーナ
かもガラス微粒ゴーを吹き付け、基体の外周にガラス微
粒子の堆積層を形成するというものである。
かメる夕1イ4(げCVD法では、外部からの不純物の
混入を防止するため、ガラス微粒子の堆積工程は清浄な
雰囲気内で行なわれる。
混入を防止するため、ガラス微粒子の堆積工程は清浄な
雰囲気内で行なわれる。
第1図は従来の外(JけCV D法を示すもので、ガス
取入01.1と、これらに相対向して設けらnた排気口
2.2とを有する堆積室3内に(は、ベイト等の棒状の
基体4が回転自在に設置されていると共(ここの基体4
1こ向けてカラス厚相供給用のバーナ5が設置されてい
る。
取入01.1と、これらに相対向して設けらnた排気口
2.2とを有する堆積室3内に(は、ベイト等の棒状の
基体4が回転自在に設置されていると共(ここの基体4
1こ向けてカラス厚相供給用のバーナ5が設置されてい
る。
ガラス機端チの堆積に際して(は、基体4を回転させか
つ基体4またはバーナ5の何れか一方が基体4の長手方
向(こ移動さぜられることになる。
つ基体4またはバーナ5の何れか一方が基体4の長手方
向(こ移動さぜられることになる。
しかしかかる従来の方法(こあっては、得られ/こl!
JAJにしばしば泡が発生ずるという問題があつ /こ
。
JAJにしばしば泡が発生ずるという問題があつ /こ
。
このよう(こ発泡した母相からは泡が如何0こ微小であ
っても伝送損失の大きな光ファイバしがイ!1ら〕1.
ず、/(’、が大きい場合にはファイバ化することずら
−Cさなかつ/c0 この発泡の原因(・寸、堆積室3内(こ浮遊しているガ
ラス微粒子−が、バーナ5の炎があたっていない基体4
の部分にイ」着し、とのイ」着したガラス微粒子が焼結
処理時(こ発?色すること(こあると推定されている。
っても伝送損失の大きな光ファイバしがイ!1ら〕1.
ず、/(’、が大きい場合にはファイバ化することずら
−Cさなかつ/c0 この発泡の原因(・寸、堆積室3内(こ浮遊しているガ
ラス微粒子−が、バーナ5の炎があたっていない基体4
の部分にイ」着し、とのイ」着したガラス微粒子が焼結
処理時(こ発?色すること(こあると推定されている。
/i\発明tqt 、排気口をバーナと相対向する位置
(こ設け、ガスをガラス微粒子堆積層の長手方向に流す
こと(こよって上記問題点を解決しようというもので、
これを図1niに示す¥施fタリを9照しながら説明す
ると、第2図に示すよう(こ、ガス取入D 10.10
を有する堆積室11内にベイト舌の棒状の基体12を回
転自在に設置し、この基体12を囲むよう(こ同基体1
2から所定の間隔をおいて円筒状の筒体13を設置する
。
(こ設け、ガスをガラス微粒子堆積層の長手方向に流す
こと(こよって上記問題点を解決しようというもので、
これを図1niに示す¥施fタリを9照しながら説明す
ると、第2図に示すよう(こ、ガス取入D 10.10
を有する堆積室11内にベイト舌の棒状の基体12を回
転自在に設置し、この基体12を囲むよう(こ同基体1
2から所定の間隔をおいて円筒状の筒体13を設置する
。
この筒体13;こ(は、これに向けて設置さえしたバー
ナ14からの火炎が1次き抜は自在4・火炎[]15が
設けられていると共に同火炎口15と相対向する位置、
好捷しくけ筒体13のはY中央部に(は排気口16が設
けられており、同り1気[二」16を介して筒体13と
堆)lA至11の外部とは連通状態(こなっている。
ナ14からの火炎が1次き抜は自在4・火炎[]15が
設けられていると共に同火炎口15と相対向する位置、
好捷しくけ筒体13のはY中央部に(は排気口16が設
けられており、同り1気[二」16を介して筒体13と
堆)lA至11の外部とは連通状態(こなっている。
上記基体12の外周(こガラス微粒子を吹き(’Jけ、
ガラス微粒子堆積層17を形成する際(こば、基体12
を回転させると共(こ四基体12をその長手方向?こ′
i往復動せるかまたはバーナ14を基体12の長手方向
沿い(こ往復動させる。
ガラス微粒子堆積層17を形成する際(こば、基体12
を回転させると共(こ四基体12をその長手方向?こ′
i往復動せるかまたはバーナ14を基体12の長手方向
沿い(こ往復動させる。
バーナ14を移動させる場合1こは、筒体13もバーナ
14と連動させる。
14と連動させる。
か−る装置を用いて母材を製造するには、基体12を回
転させつつ基体14またはバーナ12を基体14の長手
方向に往復動させる。
転させつつ基体14またはバーナ12を基体14の長手
方向に往復動させる。
バーナ12には所定の原料Aを供給すると共(こ排気口
16に吸引力を作用させると、ガス取入1110,10
からフィルタ18を介して空気でηのガス13が堆積室
11内に流入し、流入したカス■3は筒体130両端か
らその内部に入り、カラス微粒子堆積層17の長手方向
に沿って流れ、4J1気口6から流出する。
16に吸引力を作用させると、ガス取入1110,10
からフィルタ18を介して空気でηのガス13が堆積室
11内に流入し、流入したカス■3は筒体130両端か
らその内部に入り、カラス微粒子堆積層17の長手方向
に沿って流れ、4J1気口6から流出する。
この際ガスB +は、堆積しなかったガラス微粒子−を
同伴して排気口16から流出する。
同伴して排気口16から流出する。
尚、」−記の如く基体12としてベイトを用いる場合(
こ:は、ガラス微粒子堆積後ベイトを引抜くことにる・
るが、ベイトの代り(こコア用−またはコア及びクラッ
ド用のガラス棒を用いてもよく、この場合(こ(はガラ
ス棒−4υ材の一部として使用されることになる。
こ:は、ガラス微粒子堆積後ベイトを引抜くことにる・
るが、ベイトの代り(こコア用−またはコア及びクラッ
ド用のガラス棒を用いてもよく、この場合(こ(はガラ
ス棒−4υ材の一部として使用されることになる。
ここでより具体的な例について述べると、〔具体例1〕
バーナ14(こ、02、H2及び5iCt、1 を供給
し、す1気口16の減圧度を調節してガス取入l−11
0,10から入ったカスをガラス微粒頂堆)1111層
1了に沿って流れるようにし、適当なガラス微粒子の堆
積層を形成した(支)、同層をヘリウ化し、これを線引
してコア径5 Q l1m z外径]25μmの光ファ
イバに加工したところ、波長085μmで損失が2.4
dB/Kmという低い値が得られた0 〔具体例2〕 テーバの付いた直径約5mのアルミナ製へイトの外周に
、コア及びクラッドとなるべきガラス微粒子堆積層を形
成するため、バーす14にコア用の原料5iCA4、G
eCl4 及びB B r 3 とクラッド用の原料
SiC/:4及び■3Br3と、1−I2及び02とを
供給し、刊気口16の減圧度を調節してガスをガラス微
粒子堆積ハ’ri Nlいに流しつつガラス微粒子堆積
層を形成した後、ベートを引抜き、同堆積層をヘリウム
カス雰囲気中で約1500℃に加熱して透明ガラス化し
たところ泡の発生は全くみもれなかった。
し、す1気口16の減圧度を調節してガス取入l−11
0,10から入ったカスをガラス微粒頂堆)1111層
1了に沿って流れるようにし、適当なガラス微粒子の堆
積層を形成した(支)、同層をヘリウ化し、これを線引
してコア径5 Q l1m z外径]25μmの光ファ
イバに加工したところ、波長085μmで損失が2.4
dB/Kmという低い値が得られた0 〔具体例2〕 テーバの付いた直径約5mのアルミナ製へイトの外周に
、コア及びクラッドとなるべきガラス微粒子堆積層を形
成するため、バーす14にコア用の原料5iCA4、G
eCl4 及びB B r 3 とクラッド用の原料
SiC/:4及び■3Br3と、1−I2及び02とを
供給し、刊気口16の減圧度を調節してガスをガラス微
粒子堆積ハ’ri Nlいに流しつつガラス微粒子堆積
層を形成した後、ベートを引抜き、同堆積層をヘリウム
カス雰囲気中で約1500℃に加熱して透明ガラス化し
たところ泡の発生は全くみもれなかった。
以上のように不発明番こおいてCζバーナと相対向する
位置に排気口を設けておき、カスを基体の長手方向沿い
に流しつつバーナから基体にガラス微粒子を吹きイ」け
るのて、バーナから噴出しfc JAよ体に堆積しない
ガラス微粒子はガヌベこ同伴されて4フ1気口から流出
することになり、したがって同機わξ子が火炎のあたっ
ていない基体のjXli分(こイ・]着することがなく
、このため付着した做才)ン子汐;焼結時(こ発泡する
というようなことがなく、発?包のみられない1υイ2
が得られること(こなる。
位置に排気口を設けておき、カスを基体の長手方向沿い
に流しつつバーナから基体にガラス微粒子を吹きイ」け
るのて、バーナから噴出しfc JAよ体に堆積しない
ガラス微粒子はガヌベこ同伴されて4フ1気口から流出
することになり、したがって同機わξ子が火炎のあたっ
ていない基体のjXli分(こイ・]着することがなく
、このため付着した做才)ン子汐;焼結時(こ発泡する
というようなことがなく、発?包のみられない1υイ2
が得られること(こなる。
41ン1曲の簡11′IfL説明
第1図(rま従来の方法を示す説明図、第2図は不発明
に係る方法の説明図である。
に係る方法の説明図である。
10・・・・・ガス取入口
1 1 ・・・・・ 堆才JIi 室12・・・・・
基体 14・・・・・バーナ 16・・・・・4」1気口 17・・・・・ガラス微粒子堆積層 慣許出呵1人 代用)人 弁理士 井 液 誠
基体 14・・・・・バーナ 16・・・・・4」1気口 17・・・・・ガラス微粒子堆積層 慣許出呵1人 代用)人 弁理士 井 液 誠
Claims (2)
- (1)ガス取入口と抽気口とをイ1する堆積室内に回転
自在に設置略れたガラスイ拳等の棒状の基体の外周番こ
、バーナからガラス微粒子を1次きも1けてガラス微粒
子堆積層を堆積層を堆積させる)℃ファイバ母材の製造
方法において、」二記ノく−すと相7J向する位1而こ
上記排気口を設けておき、上言己」イ1イ青室に月又り
入れられ/こガスを」二言己基体の長丁一方向沿いに流
しつつ・く−ナから上記棒状の基体(こ)lラス微粒子
を吹き付けることを特徴とする元ファイバ母拐の製造方
法。 - (2)カスf:基体の両端から中央(こ向って流すこと
を特徴とする特許%’?+水の化1jl’+第1頂記−
或の元ファイバ母44の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6124083A JPS59190232A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6124083A JPS59190232A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59190232A true JPS59190232A (ja) | 1984-10-29 |
| JPS6261543B2 JPS6261543B2 (ja) | 1987-12-22 |
Family
ID=13165504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6124083A Granted JPS59190232A (ja) | 1983-04-07 | 1983-04-07 | 光フアイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59190232A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6297138U (ja) * | 1985-12-09 | 1987-06-20 | ||
| JPH02243521A (ja) * | 1989-03-16 | 1990-09-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | フッ化物ガラスロッドレンズ並びにその製造方法及び装置 |
| US6321573B1 (en) * | 1998-06-25 | 2001-11-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Process and apparatus for manufacturing a porous SiO2 preform |
| US7694536B2 (en) | 2004-03-18 | 2010-04-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Manufacturing apparatus of porous glass base material and glass base material for optical fiber |
| EP2206689A1 (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch |
| JP2012193066A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法、および光ファイバ母材の製造装置 |
Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS4976538A (ja) * | 1972-11-25 | 1974-07-24 | ||
| JPS5183539A (ja) * | 1975-01-20 | 1976-07-22 | Hitachi Ltd | Shusokugatahikarifuaibano seizosochi |
| JPS53162152U (ja) * | 1977-05-26 | 1978-12-19 | ||
| JPS5414753U (ja) * | 1977-07-04 | 1979-01-30 |
-
1983
- 1983-04-07 JP JP6124083A patent/JPS59190232A/ja active Granted
Patent Citations (4)
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| JPS5414753U (ja) * | 1977-07-04 | 1979-01-30 |
Cited By (7)
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| JPS6297138U (ja) * | 1985-12-09 | 1987-06-20 | ||
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| US6321573B1 (en) * | 1998-06-25 | 2001-11-27 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Process and apparatus for manufacturing a porous SiO2 preform |
| KR100586369B1 (ko) * | 1998-06-25 | 2006-06-08 | 헤래우스 크바르츠글라스 게엠베하 & 컴파니 케이지 | 다공성 SiO₂ 예비 성형물 제조방법 및 장치 |
| US7694536B2 (en) | 2004-03-18 | 2010-04-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Manufacturing apparatus of porous glass base material and glass base material for optical fiber |
| EP2206689A1 (en) * | 2008-12-26 | 2010-07-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch |
| JP2012193066A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ母材の製造方法、および光ファイバ母材の製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6261543B2 (ja) | 1987-12-22 |
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