JPS59193142A - ドラフトチヤンバ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はドラフトチャンバに関するものである。

従来、牛導体製品の製造に用いられるドラフトチャンバ
とじては、たとえばｉｔ図および第２夕１に示すような
構造のものが用いられている。

ところが、この従来構造においてに、次に示すような点
で、安全性、作業性、経済性等に問題がめった。

すなわち、ＭＯ記従従来造でσ、（１）＊ｉＪ囲扉ｌに
設けられた不惑２か火星で固定式のため作業性が悪く、
（２）前面鼾ｌの敷居部３の下部のｊ度が弱く、扉開閉
時の価撃により敷居部３が破損してしまう。

また、（３）薬品庫４の加５が砂曾開きであるので、作
業中に足が当たり、安全上、１１４ｊ題がるる。（劇系
品Ｒ４内に排気設備がないので、薬品庫４内に薬品が漏
れた場合に危険である。（５）排気ダクト６のタンパ一
部７が不透明材料で作られているので、ダンパーの開閉
状態が不明である。（６）前面友ｉｅｌのバランサロー
ブ８が憫脂拐科で作られているので、使用中に切れるこ
とがあり、またバランサローブ８が露出されているので
、安全上、問題がある。（７）ドラフトチャンバ内への
純水等の供給０９は後側に設けられ、蛇口ｌＯからチャ
ンバ内に惧炸芒れる力Ｓ１絢水等の供給にバルブ１１の
開閉のみで脚帯しているので、その使用ムが不明で、不
経済ヤある。

本発明の目的は、前記した向題廣、ＶＣ鑑み、作業性か
艮く、安全で堅牢な構造を持つドラフトチャフ　／＜　
ｆ提供することにある。

この目的を過酸５するため、′４：、発狛によるドラフ
トチャンバに５削ＩＩＩ！Ｊ扉の作業用窓全引戸式にし
、前問扉の敷居下部に補強板（ｉ：設けたこと？軸承と
するものである。

以下、本発明を１問に示す一実施し１ｊにしたかつて詳
細に説明する。

第３図σ本発明によるドラフトチャンバの一実７ｉ！！
ｉ例の正面図、第２図にその■１１面図であり、第１図
および第２図の従来例と対応する部分は同一符号で示す
。

本実施例において、ドラフトチャンバぽ底口にキャスタ
１２、ジヤツキ１３ｉ弔している。薬品庫４の前面には
、作業性および安全性全１ｂｊ上させるため引戸式の加
５Ａが設けら几、作菓酋の足がぶつかったり、開閉のた
めに広いヌベース？必要とすることをなくしている。

また、１１１而扉１の作業用窓２Ａも同様に引戸式であ
り、＃ｖＪ範囲を太きくし、作業性と安全性を・向上さ
せるようになっている。この側面ｍｌのバランスローブ
は本実施例ではステンレススチールのワイヤ８Ａよりな
る。Ｉｋ、このワイヤ８Ａａ選ゆ４な安全カバー１４で
機われている。？＋号１５は螢元灯、１６．１７にヌラ
イド式タンパである。

＠１１記前開扉１（１）敷居部３の下部にａ補強板１８
が設けられ、敷居部３の破損？防止でさる堅牢な構造と
なっている。

排気ダク）６Ａσ角型の構造であるか火星のものでもよ
く、また該排気ダク）６Ａの側壁に透明な樹脂材料で作
られ、その内部のダンパ一部７の開閉状態？外部から見
ることかできるよう仏なっているので、非常に便オリで
、作業性が向上する。

ざらに、本実施例でに、薬品庫４の後部に排気ダク）１
９か設けられているので、薬品庫４内に薬品が漏れたよ
うな場合でも５危険性を排除できる。

また、本実施餘りに２いてに、ボロ水等の供給光に流黛
討２０およびフィルタ２１がＮけら几でいる。

したがって、供姻口９から供給されたＡＪＢ水等の倶紹
ｉＩｔμ流倉耐２０でａｔ鍵されるので、１史用敵？定
景什して＃ｅ基友をなく丁ことができ、また七の紳水叫
にフィルタ２１で濾過さスｔ５清浄な状態でバルブｌｌ
？経て北口１０からチャンバ内に取り八ｒしることかで
さる。純水等の惧給用の配管系に第５図に示すが、訛童
ｉ’ｉ　２０やフィルタ２１の配設１−序や位ｖｔに特
に眠履されるものでにない。

次に、不実施例の作用について説明する。丑ず凪１に、
本実＃ｉ別でに、前面扉１の作莱用受２Ａ２よび薬６゛
６庫４の前面の加５Ａがいずね、も引戸式のものであり
、開閉時の移動範囲が犬さく、作業性が良好である上に
、作業者の足かふっかるようなこともなく、安全であり
、１π開閉のために広いヌベーヌＴ：必要とすることも
ない寺の利点か侍られる。しかも、不４４励圀でげ、１
１゜］面ル【１の敷居部３の］部に袖袖依１８に設Ｈた
ので、敷居部３の破損を防止でき、非常に堅牢なｆ４造
が倚らノＬる。

ζらに、Ｈ（水性の供給ポにＭｔ釦゛訂２０とフィルタ
２１７．（設けたので、無駄な水の使用？防止で声、材
済的でおる上に、清浄な純水？チャンバ内ＶＣ供絽でさ
る。−ｔ７ｔ、薬品庫４に排気ダクトｔｓｈ設けたこと
により、薬品の漏水が生じた時でも危険性紫排除できる
。しかも、１１１而扉ｌのバランサローフｔワイヤ８Ａ
で形Ｉ戎したので、側力１ｆ脱ロープに比べて強裏が大
きく、切断金防止できる上に、透明な安全カバー１４に
設けたので、安全狂αさらに同上でさる。また、排気ダ
ク１−６Ａのダンノ（−取付部の側壁面が透明材料で作
られているので、ダンパ一部７の開閉状態を確実に見る
ことができ、作業性が向上する。

以上説明したように、本発明によれば、作業性が良く、
安全で堅牢な構造を得ることができるという相乗的効果
が得られる。

【図面の簡単な説明】 第１図と第２図はそれぞれ従来のドラフトチャンバの一
例を示す正面図と側面図、第３図は本発明によるドラフ
トチャンバの一実施例を示す正面図、第４図はその側面
図、第５図は純水等の供給配管系を示す説明図である。 １・・・前面扉、２人・・・引戸式の作業用窓、３・・
・敷居部、４・・・薬品庫、５Ａ・・・引戸式の扉、１
４・・・補強板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、前面ｌｒの作業用窓全引戸式にすると共に、前面カ
   レの敷居下部に補強板を設けたことを特徴とするドラフ
   トチャンバ。