JPS59194860A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
記録を行なう液体噴射記録ヘッドに関する。
インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点において
最近関心を集めている。
おける騒音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点高速記録が可能であり、而も所謂普通紙に定着とい
う特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点において
最近関心を集めている。
その中で、例えば特開昭５ ４−５１８３７号公報、ド
イノ公開（ ＤＯＬＳ ）第２８４３０６４号公報に記
載されている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に
作用させて、液滴吐出の為の原動力を得ると℃・５点に
おいて、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有して
いる。
イノ公開（ ＤＯＬＳ ）第２８４３０６４号公報に記
載されている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に
作用させて、液滴吐出の為の原動力を得ると℃・５点に
おいて、他の液体噴射記録法とは、異なる特徴を有して
いる。
即ち、上記の公報に開示されている記録法は、熱エネル
ギーの作用を受けた液体が，＠．檄な体積の増大を伴う
状態変化を起し、この状態変化に基（作用力によって、
記録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、
飛翔液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録
が行われるという特徴を有する。
ギーの作用を受けた液体が，＠．檄な体積の増大を伴う
状態変化を起し、この状態変化に基（作用力によって、
記録ヘッド部先端のオリフィスより液体が吐出されて、
飛翔液滴が形成され、該液滴が被記録部材に付着し記録
が行われるという特徴を有する。
殊に、ＤＯＬ３２８４３０６４号公報に開示されている
液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅ＋ηａｎ
ｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく、記
録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マルチ
オリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化出来るの
で、高解像度、高品質の画像を高速で得られるという特
徴を有している。
液体噴射記録法は、所謂ｄｒｏｐ−ｏｎ ｄｅ＋ηａｎ
ｄ記録法に極めて有効に適用されるばかりではなく、記
録ヘッド部をｆｕｌｌ １ｉｎｅタイプで高密度マルチ
オリフィス化された記録ヘッドが容易に具現化出来るの
で、高解像度、高品質の画像を高速で得られるという特
徴を有している。
上記の記録法に適用される装置の記録ヘッド部は、液体
を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体に作
用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と
を有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段とし
ての電気熱変換体とを具備している。
を吐出する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、液滴を吐出する為の熱エネルギーが液体に作
用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路と
を有する液吐出部と、熱エネルギーを発生する手段とし
ての電気熱変換体とを具備している。
そして、この電気熱変換体は、一対の電極と、これ等の
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備しており、一般にこ
れら電極及び熱発生部表面を覆う保護層をその上部に有
し、かつ絶縁基板上に形成される。その典型的な構造を
説明するための部分断面図を第１図に示す。
電極に接続し、これ等の電極の間に発熱する領域（熱発
生部）を有する発熱抵抗層とを具備しており、一般にこ
れら電極及び熱発生部表面を覆う保護層をその上部に有
し、かつ絶縁基板上に形成される。その典型的な構造を
説明するための部分断面図を第１図に示す。
第１図に示すように電気熱変換体１０１は、シリコン、
ガラスまたはセラミック等で構成される支持体１０２．
支持体１０２上のＳｉＯ２等で構成される下部層１０３
．下部層１０３上の熱エネルギーを発生するだめの発熱
抵抗層１０４ 、 Ａ召などからなり、発熱抵抗層１０
４上に積層された情報に応じた電流を供給する電極層１
０５ 、５ｈｏ２などからなり、発熱抵抗層１０４およ
び電極層１０５を保護するだめの第１の上部層１０６．
第１の上部層１０６の欠陥を補うだめのポリイミド樹脂
などからなる第２の上部層１０７゜Ｔａ などからなり
、機械的強度を補強するだめの第３の上部層が順々に積
層された構造になって℃・る。上部層はここでは３層構
造のものを例示しだが、３層が必要なわけではなく、１
〜２層であっても、又逆に４層以上の多層で保護される
場合もある。発熱抵抗層１０４や電極層１０５に充分な
耐インク性や機械的強度があれば、上部層は必らずしも
必要とし、ない。
ガラスまたはセラミック等で構成される支持体１０２．
支持体１０２上のＳｉＯ２等で構成される下部層１０３
．下部層１０３上の熱エネルギーを発生するだめの発熱
抵抗層１０４ 、 Ａ召などからなり、発熱抵抗層１０
４上に積層された情報に応じた電流を供給する電極層１
０５ 、５ｈｏ２などからなり、発熱抵抗層１０４およ
び電極層１０５を保護するだめの第１の上部層１０６．
第１の上部層１０６の欠陥を補うだめのポリイミド樹脂
などからなる第２の上部層１０７゜Ｔａ などからなり
、機械的強度を補強するだめの第３の上部層が順々に積
層された構造になって℃・る。上部層はここでは３層構
造のものを例示しだが、３層が必要なわけではなく、１
〜２層であっても、又逆に４層以上の多層で保護される
場合もある。発熱抵抗層１０４や電極層１０５に充分な
耐インク性や機械的強度があれば、上部層は必らずしも
必要とし、ない。
今その上部層を取除いて電気熱変換体を上方がら見ると
、その平面図は第２図に示す如く、下部層２０１上に、
熱発生部２０２と、熱発生部２０２で熱を発生させるべ
く通電するだめの電極２０３ 、２０’４が、多数並列
して配置された構造になっている。
、その平面図は第２図に示す如く、下部層２０１上に、
熱発生部２０２と、熱発生部２０２で熱を発生させるべ
く通電するだめの電極２０３ 、２０’４が、多数並列
して配置された構造になっている。
ところで、熱発生部２ｏ２および電極２ｏ３（折り返し
電極） 、 ２０４の形成は一般に次のような工程で行
なわれる。前記支持体１０２上に下部層１０３が形成さ
れているものの表面に蒸着やスパッタリング等の方法で
、たとえばＨｆＢ、、等からなる発熱抵抗層１０４を形
成し、更にその上面に同様な方法で、たとえばんｅ等か
らなる電極層１０５を形成する。
電極） 、 ２０４の形成は一般に次のような工程で行
なわれる。前記支持体１０２上に下部層１０３が形成さ
れているものの表面に蒸着やスパッタリング等の方法で
、たとえばＨｆＢ、、等からなる発熱抵抗層１０４を形
成し、更にその上面に同様な方法で、たとえばんｅ等か
らなる電極層１０５を形成する。
ついで第３図に示すようなパターンを有するフォトマス
クを使用して、いわゆるフォトエツチングの方法で電イ
側層１０５および発熱抵抗層の一部を除去し、更に第４
図に示すようなパターンを有するフォトマスクを使用し
て電極層１０５の一部をエツチングすることにより所望
の位置に所望の形状の電極および熱発生部が形成される
。
クを使用して、いわゆるフォトエツチングの方法で電イ
側層１０５および発熱抵抗層の一部を除去し、更に第４
図に示すようなパターンを有するフォトマスクを使用し
て電極層１０５の一部をエツチングすることにより所望
の位置に所望の形状の電極および熱発生部が形成される
。
さて、熱発生部２０２のはたらきは、ここで電気エネル
ギーを熱エネルギーに変え、発生した熱によりｉ流路中
の液体を上部層１０６ 、１０８を介して気化すること
にある。この液体が気化した時の体積変化が液体噴射記
録ヘッドの記録液吐出のだめのエネルギーとなる。従っ
て熱発生部２０２の大きさをあまり小さくすることはで
きない。さらに、記録の印字品位を高めるためには、一
画素の濃淡を記録液滴の大きさを変調して表わすと良い
が、このためには熱発生部が大きい程その変調幅が拡が
り、都合がよい。
ギーを熱エネルギーに変え、発生した熱によりｉ流路中
の液体を上部層１０６ 、１０８を介して気化すること
にある。この液体が気化した時の体積変化が液体噴射記
録ヘッドの記録液吐出のだめのエネルギーとなる。従っ
て熱発生部２０２の大きさをあまり小さくすることはで
きない。さらに、記録の印字品位を高めるためには、一
画素の濃淡を記録液滴の大きさを変調して表わすと良い
が、このためには熱発生部が大きい程その変調幅が拡が
り、都合がよい。
一方、記録の密度を向上させ分解能を上げることも記録
の画像品位を高める方法として重要であり、このだめに
は記録ヘッドが高密度なフルマルチ化ヘッドである必要
がある。しかしながら、従来の記録ヘッドにおいては、
熱発生部の幅Ｗ、と折り返し電極の幅Ｗ２とが等しいた
めに、熱発生部の形状の大きさを確保しながら高密度化
を行なうには限界があり、高品位の画像が得られないと
いう欠点があった。
の画像品位を高める方法として重要であり、このだめに
は記録ヘッドが高密度なフルマルチ化ヘッドである必要
がある。しかしながら、従来の記録ヘッドにおいては、
熱発生部の幅Ｗ、と折り返し電極の幅Ｗ２とが等しいた
めに、熱発生部の形状の大きさを確保しながら高密度化
を行なうには限界があり、高品位の画像が得られないと
いう欠点があった。
したがって、本発明の主たる目的は高品位の記録画像を
得るだめの高密度マルチ化液体噴射記録ヘッドの提供に
ある。
得るだめの高密度マルチ化液体噴射記録ヘッドの提供に
ある。
本発明の別の目的は熱発生部の大きさを確保して高密度
化されたマルチ化液体噴射記録ヘッドの提供にある。
化されたマルチ化液体噴射記録ヘッドの提供にある。
本発明の液体噴射記録ヘッドは液体を吐出して飛翔液滴
を形成する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、前記液滴を形成する為の熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発熱抵抗
層に眠気的に接続して、少なくとも一対の対置する電極
が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されてい
る電気熱変換体とを具備し、かつ前記の対置する電極の
少くとも一方が折り返えされている液体噴射記録ヘッド
に於いて、前記折り返えされた電極の少なくとも前記熱
発生部に隣り合う部分の幅が、前記熱発生部の幅よりも
小であることを特徴とするものである。
を形成する為に設けられたオリフィスと、該オリフィス
に連通し、前記液滴を形成する為の熱エネルギーが液体
に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流
路とを有する液吐出部と、基板上に設けられた発熱抵抗
層に眠気的に接続して、少なくとも一対の対置する電極
が設けられ、これ等電極の間に熱発生部が形成されてい
る電気熱変換体とを具備し、かつ前記の対置する電極の
少くとも一方が折り返えされている液体噴射記録ヘッド
に於いて、前記折り返えされた電極の少なくとも前記熱
発生部に隣り合う部分の幅が、前記熱発生部の幅よりも
小であることを特徴とするものである。
以下に本発明を第５図〜第７図に従って具体的に説明す
る。第５図は本発明の一実施剣態様にお図にお℃・で、
２０１は下部層、２０２は熱発生部、２０３および２０
４は電極を示す。ここに示した実施態様では、電極２０
３（折り返し電極）の幅Ｗ２は熱発生部２０２の幅Ｗ、
より狭く形成されているので、従来のものよりも、１ピ
ッチ当りＷ、 −Ｗ２に相当する分だけ高密度化するこ
とができる。折り返し電極の幅は電極破壊が生じないで
、かつ繰り返し使用に際して耐久性が劣化しない程度に
することが必要である。
る。第５図は本発明の一実施剣態様にお図にお℃・で、
２０１は下部層、２０２は熱発生部、２０３および２０
４は電極を示す。ここに示した実施態様では、電極２０
３（折り返し電極）の幅Ｗ２は熱発生部２０２の幅Ｗ、
より狭く形成されているので、従来のものよりも、１ピ
ッチ当りＷ、 −Ｗ２に相当する分だけ高密度化するこ
とができる。折り返し電極の幅は電極破壊が生じないで
、かつ繰り返し使用に際して耐久性が劣化しない程度に
することが必要である。
現在、熱発生部の幅呪は２０〜３０μであり、この範囲
においては、従来の記録ヘッドでは８ｐｅｌ〜１２ ｐ
ｅ１程度の高密度化しか実現できなかったが、上記の実
施態様ではＷ２を５〜１０μとすることによって１．６
ｐｅｌ〜３２ ｐｅｌの高密度化が実現される。
においては、従来の記録ヘッドでは８ｐｅｌ〜１２ ｐ
ｅ１程度の高密度化しか実現できなかったが、上記の実
施態様ではＷ２を５〜１０μとすることによって１．６
ｐｅｌ〜３２ ｐｅｌの高密度化が実現される。
第６図および第７図に他の実施態様を示す。第６図およ
び第７図は第５図と同様に発熱部近傍の基板平面部分図
である。この実施態様では折り返し電極２０３の幅が一
様でなく、熱発生部の幅が犬きくなったのに対応して、
それに隣り合う電極２０３の部分の幅が小さくなってい
る。電極２０３および２０４の幅Ｗ３は同一でも、また
は耐久性劣化を起さない程度にいずれかを細くすること
もできる。熱発生部２０２並びに電極２０３および２０
４の各部の幅の関係はＷ１≧Ｗ３＞ Ｗ２ （Ｗ３が両
電極で等しい場合）である。
び第７図は第５図と同様に発熱部近傍の基板平面部分図
である。この実施態様では折り返し電極２０３の幅が一
様でなく、熱発生部の幅が犬きくなったのに対応して、
それに隣り合う電極２０３の部分の幅が小さくなってい
る。電極２０３および２０４の幅Ｗ３は同一でも、また
は耐久性劣化を起さない程度にいずれかを細くすること
もできる。熱発生部２０２並びに電極２０３および２０
４の各部の幅の関係はＷ１≧Ｗ３＞ Ｗ２ （Ｗ３が両
電極で等しい場合）である。
第６図に示しだ例では、熱発生部２０２が片側に張り出
し、これに隣り合う折り返し電極の内側の部分がこれに
応じて引っ込んでおり、第７図に示した例では、熱発生
部２０２が両側に張り出し、これに対応して折り返し電
極２０３は図示されているように、両側から引っ込んだ
形状となっている。
し、これに隣り合う折り返し電極の内側の部分がこれに
応じて引っ込んでおり、第７図に示した例では、熱発生
部２０２が両側に張り出し、これに対応して折り返し電
極２０３は図示されているように、両側から引っ込んだ
形状となっている。
これらの実施態様によっても、繰り返し使用に際しての
耐久性の劣化がなく第５図に示した実施態様において得
られると同様の効果が得られる。
耐久性の劣化がなく第５図に示した実施態様において得
られると同様の効果が得られる。
本発明の液体噴射記録ヘッドは、上記のような特徴的構
成を有する′電気熱変換体がその上に形成された基板上
に、第１図に於いて説明しだ−乃至数層の上部層を形成
する。次いで、これら各電気熱変換体１０１により形成
される熱発生部１０９に対応した液流路２０５とオリフ
ィス２０６を基板上に形成することによって完成される
。
成を有する′電気熱変換体がその上に形成された基板上
に、第１図に於いて説明しだ−乃至数層の上部層を形成
する。次いで、これら各電気熱変換体１０１により形成
される熱発生部１０９に対応した液流路２０５とオリフ
ィス２０６を基板上に形成することによって完成される
。
第８図は、完成した液体噴射記録ヘッドの一態様の内部
構造を示すための模式的分解図であり、この例ではオリ
フィス２０６は、熱発生部２０２の上方に設けられてい
る。なお、２０７はインク流路壁、２０８は共通液室、
２０９は第２の共通液室を、２１０は共通液室２０８と
第２の共通液室２０９を連結する貫孔、２１１は天板で
ある。また、電気熱変換体の配線部については図示を省
略しである。
構造を示すための模式的分解図であり、この例ではオリ
フィス２０６は、熱発生部２０２の上方に設けられてい
る。なお、２０７はインク流路壁、２０８は共通液室、
２０９は第２の共通液室を、２１０は共通液室２０８と
第２の共通液室２０９を連結する貫孔、２１１は天板で
ある。また、電気熱変換体の配線部については図示を省
略しである。
第９図は、完成した他の態様の液体噴射記録ヘッド模式
図を示すもので、この例ではオリフィス２０６は液流路
の先端に形成されている。なお、２１２はインク供給口
を示す。
図を示すもので、この例ではオリフィス２０６は液流路
の先端に形成されている。なお、２１２はインク供給口
を示す。
以下に実施例を示して本発明の液体噴射記録ヘッドを具
体的に説明する。
体的に説明する。
実施例
第５図に示した電気熱変換体を高密度で設けだ液体噴射
記録ヘッド用の基板を以下のようにして製造した。Ｓｌ
ウェハー上に熱酸化によって、厚み５μの５ＩＯ２
膜を形成して基板とした。この基板上にスパッタにより
発熱抵抗層としてＩ（ｆＢ２を３００ＯＡの厚みに形成
し、続（・て電子ビーム蒸着により５０Ａの厚みのＴｉ
層、１０００ Ａの厚みのＡ石層を連続的に堆積した。
記録ヘッド用の基板を以下のようにして製造した。Ｓｌ
ウェハー上に熱酸化によって、厚み５μの５ＩＯ２
膜を形成して基板とした。この基板上にスパッタにより
発熱抵抗層としてＩ（ｆＢ２を３００ＯＡの厚みに形成
し、続（・て電子ビーム蒸着により５０Ａの厚みのＴｉ
層、１０００ Ａの厚みのＡ石層を連続的に堆積した。
フォトリノ工程によって熱発生部の幅Ｗ１を３０μｍ１
電極幅Ｗ２を１０μｍとして繰返し密度１６本／ ｍｍ
のパターンを形成し、次に熱発生部上部の電極層をエツ
チングして電極および熱発生部を有する第５図に示した
電気熱変換体を形成した。
電極幅Ｗ２を１０μｍとして繰返し密度１６本／ ｍｍ
のパターンを形成し、次に熱発生部上部の電極層をエツ
チングして電極および熱発生部を有する第５図に示した
電気熱変換体を形成した。
その後、５ＩＯ２スパッタ層をハイレートスパッタによ
り２８μｍ堆積させ、引き続し・てスピンナーにより、
日立化成ＨｐＩＱを塗布し、熱発生部上部だけをＰＩＱ
エッチャントにより剥離したのち、ベータして硬化させ
た。さらにＴａスパッタ層を０５μｍ堆積して電気熱変
換体を高密度で設けだ液体噴射記録ヘッド用基板を作成
した。
り２８μｍ堆積させ、引き続し・てスピンナーにより、
日立化成ＨｐＩＱを塗布し、熱発生部上部だけをＰＩＱ
エッチャントにより剥離したのち、ベータして硬化させ
た。さらにＴａスパッタ層を０５μｍ堆積して電気熱変
換体を高密度で設けだ液体噴射記録ヘッド用基板を作成
した。
次にこの基板上に厚さ５０μｍの感光性樹脂ドライフィ
ルムを積層し、所定のパターンマスクによる露光、現像
を行ない液流路と供”給液室を設け、更にエポキシ系接
着材を介してガラス製の天板を積層し、第９図の模式図
に示されるような液体噴射記録ヘッドを作製した。
ルムを積層し、所定のパターンマスクによる露光、現像
を行ない液流路と供”給液室を設け、更にエポキシ系接
着材を介してガラス製の天板を積層し、第９図の模式図
に示されるような液体噴射記録ヘッドを作製した。
本発明による液体噴射記録ヘッドは従来の倍に近いほど
の記録密度の達成を可能とし、かつ画像品位の格段の向
上を可能としだ。
の記録密度の達成を可能とし、かつ画像品位の格段の向
上を可能としだ。
第１図は従来の液体噴射記録〜＼ソトの基板平面図、第
２図は第１図のＸＹ線部分断面図、第３図および第４図
はそれぞれ電極および熱発生部を形成するだめのフォト
マスクの平面図、第５〜第７図は本発明の実施態様によ
る熱発生部近傍の基板平面図である。 第８，９図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの実施態様
の構成を示すだめの模式図である。 １０１・・電気熱変換体 １０２・・・支持体 １０３・・・下部層 １０４・・・発熱抵抗層 ＋０５ ・電極層 １０６・・第１の上部層 １０７・・・第２の上部層 １０８・・・第３の上部層 ２０１・ 下部層 ２０２・・熱発生部 ２０３・・電極（折り返し電極） ２０４・・・電極 ２０５・・・液流路 ２０６・・・オリフィス ２０７・・・インク流路壁 ２０８・・・共通液室 ２０９・・第２の共通液室 ２１０・・・貫孔 ２］１・・天板 ２１２・・・インク供給口 １１１ 図 第 ３ 図 １１４
図１１５ｉ１！１
２図は第１図のＸＹ線部分断面図、第３図および第４図
はそれぞれ電極および熱発生部を形成するだめのフォト
マスクの平面図、第５〜第７図は本発明の実施態様によ
る熱発生部近傍の基板平面図である。 第８，９図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの実施態様
の構成を示すだめの模式図である。 １０１・・電気熱変換体 １０２・・・支持体 １０３・・・下部層 １０４・・・発熱抵抗層 ＋０５ ・電極層 １０６・・第１の上部層 １０７・・・第２の上部層 １０８・・・第３の上部層 ２０１・ 下部層 ２０２・・熱発生部 ２０３・・電極（折り返し電極） ２０４・・・電極 ２０５・・・液流路 ２０６・・・オリフィス ２０７・・・インク流路壁 ２０８・・・共通液室 ２０９・・第２の共通液室 ２１０・・・貫孔 ２］１・・天板 ２１２・・・インク供給口 １１１ 図 第 ３ 図 １１４
図１１５ｉ１！１
Claims (1)
- （１） 液体を吐出して飛翔液滴を形成する為に設け
られたオリフィスと、該オリフィスに連通し、前記液滴
を形成する為の熱エネルギーが液体に作用する部分であ
る熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出
部と、基板上に設けられた発熱抵抗層に電気的に接続し
て、少なくとも一対の対置する電極が設けられ、これ等
電極の間に熱発生部が形成されている電気熱変換体とを
具備し、かつ、前記の対置する電極の少なくとも一方が
折り返えされている液体噴射記録ヘッドに於いて、前記
折り返えされた電極の少なくとも前記熱発生部に隣り合
う部分の幅が、前記熱発生部分の幅よりも小であること
を特徴島する液体噴射記録−ソド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067723A JPS59194860A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 液体噴射記録ヘツド |
| US06/596,908 US4631555A (en) | 1983-04-19 | 1984-04-05 | Liquid jet type recording head |
| DE3414527A DE3414527C2 (de) | 1983-04-19 | 1984-04-17 | Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf |
| FR8406273A FR2544662B1 (fr) | 1983-04-19 | 1984-04-19 | Tete d'enregistrement du type a jets de liquide |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58067723A JPS59194860A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 液体噴射記録ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59194860A true JPS59194860A (ja) | 1984-11-05 |
Family
ID=13353161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58067723A Pending JPS59194860A (ja) | 1983-04-19 | 1983-04-19 | 液体噴射記録ヘツド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4631555A (ja) |
| JP (1) | JPS59194860A (ja) |
| DE (1) | DE3414527C2 (ja) |
| FR (1) | FR2544662B1 (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5933165A (en) * | 1979-04-02 | 1999-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording apparatus and method using ink jet head having U-shaped wiring |
| JPS60157873A (ja) * | 1984-01-30 | 1985-08-19 | Canon Inc | 液体噴射記録装置の駆動回路 |
| US4740800A (en) * | 1986-02-18 | 1988-04-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
| JPH0717063B2 (ja) * | 1986-03-27 | 1995-03-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 画像記録ヘツド |
| JP2611981B2 (ja) * | 1987-02-04 | 1997-05-21 | キヤノン株式会社 | インクジエツト記録ヘツド用基板及びインクジエツト記録ヘツド |
| US4931813A (en) * | 1987-09-21 | 1990-06-05 | Hewlett-Packard Company | Ink jet head incorporating a thick unpassivated TaAl resistor |
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| DE68921157T2 (de) * | 1988-11-28 | 1995-06-29 | Canon Kk | Aufzeichnungskopf und Aufzeichnungsvorrichtung, die damit versehen ist. |
| US4940413A (en) * | 1989-07-26 | 1990-07-10 | Hewlett-Packard Company | Electrical make/break interconnect having high trace density |
| JP3408292B2 (ja) * | 1992-09-09 | 2003-05-19 | ヒューレット・パッカード・カンパニー | プリントヘッド |
| JP3248964B2 (ja) * | 1992-12-22 | 2002-01-21 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッド及び同ヘッドを備えた液体噴射記録装置 |
| US5946013A (en) * | 1992-12-22 | 1999-08-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head having a protective layer with a controlled argon content |
| JP3229472B2 (ja) | 1993-12-22 | 2001-11-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| US5660739A (en) * | 1994-08-26 | 1997-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing substrate for ink jet recording head, ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
| JP3397473B2 (ja) * | 1994-10-21 | 2003-04-14 | キヤノン株式会社 | 液体噴射ヘッド用素子基板を用いた液体噴射ヘッド、該ヘッドを用いた液体噴射装置 |
| US5636441A (en) * | 1995-03-16 | 1997-06-10 | Hewlett-Packard Company | Method of forming a heating element for a printhead |
| US5901425A (en) | 1996-08-27 | 1999-05-11 | Topaz Technologies Inc. | Inkjet print head apparatus |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55132259A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Liquid jet recording method |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4463359A (en) * | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
| JPS5943314B2 (ja) * | 1979-04-02 | 1984-10-20 | キヤノン株式会社 | 液滴噴射記録装置 |
| JPS55131882A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Electronic equipment |
| US4380771A (en) * | 1980-06-27 | 1983-04-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording process and an apparatus therefor |
| US4394670A (en) * | 1981-01-09 | 1983-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method for fabrication thereof |
| US4490728A (en) * | 1981-08-14 | 1984-12-25 | Hewlett-Packard Company | Thermal ink jet printer |
| GB2106039A (en) * | 1981-08-14 | 1983-04-07 | Hewlett Packard Co | Thermal ink jet printer |
| US4438191A (en) * | 1982-11-23 | 1984-03-20 | Hewlett-Packard Company | Monolithic ink jet print head |
-
1983
- 1983-04-19 JP JP58067723A patent/JPS59194860A/ja active Pending
-
1984
- 1984-04-05 US US06/596,908 patent/US4631555A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-04-17 DE DE3414527A patent/DE3414527C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1984-04-19 FR FR8406273A patent/FR2544662B1/fr not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55132259A (en) * | 1979-04-02 | 1980-10-14 | Canon Inc | Liquid jet recording method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4631555A (en) | 1986-12-23 |
| FR2544662B1 (fr) | 1988-09-09 |
| FR2544662A1 (fr) | 1984-10-26 |
| DE3414527C2 (de) | 1994-06-23 |
| DE3414527A1 (de) | 1984-10-25 |
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