JPS62220345A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、記録液に熱エネルギーを作用させ、該液体を
飛翔的液滴として吐出噴射させて記録を行う液体噴射記
録ヘッドに関する。

［従来の技術］ 液体噴射記録法（インクジェット記録法）は、記録時に
おける雑音の発生が無視し得る程度に極めて小さいとい
う点、高速記録が可能でありしかも所謂芹通紙に定着と
いう特別な処理を必要とせずに記録の行なえる点におい
て、最近関心を集めている。

その中で例えば特開昭５４−５１８：１７号公報、ドン
ツ公開（ＤＯＬＳ）第２８４３０６４号公報に記載され
ている液体噴射記録法は、熱エネルギーを液体に作用さ
せて、液滴吐出の原動力を得るという点において、他の
液体噴射記録法とは、異なる特徴を有している。

即ち、上記の公報に開示された記録法では、熱エネルギ
ーの作用を受けた記録液が急激な体積の増大を伴う状態
変化を起し、該状態変化に基づく作用力によフて、記録
ヘッド先端の液体吐出口（オリフィス）より記録液が吐
出されて、飛翔的液滴が形成され、該液滴が紙などの被
記録部材に付着し記録が行なわれる。

殊に、ＤＯＬＳ第２８４３０６／Ｉ号公報に開示されて
いる液体噴射記録法は、所謂ドロップオンデマンド（ｄ
ｒｏｐ−ｏｎ　ｄｅｍａｎｄ）記録法に極めて有効に適
用されるばかりではなく、記録ヘッド部をフルライン（
ｒｌｌｌｌ　１ｉｎｅ　）タイプで高密度マルチオリフ
ィス化された記録ヘッドが容易に具体化できるので、高
群解像度、高品質の画像を高速で得られるという特徴を
有している。

上記の記録法に用いる記録装置の特徴的な記録ヘッドは
、一般に、記録液を吐出して飛翔的液滴を形成するため
に設けられたオリフィスと、該オリフィスに連通し、該
液滴を吐出するための熱エネルギーが該記録液に作用す
る部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有
する液吐出部と、熱エネルギーを発生するための熱エネ
ルギー発生手段とを具備している。

そして、この熱エネルギー発生手段は、少なくとも一対
の電極と、これ等の電極に接続しこれ等の電極の間に発
熱する領域（熱発生部）を有する発熱抵抗層とを具備し
ているのが１テ通である。

このような液体噴射記録ヘッドの構造を示す典型的な例
が、第２図（ａ）および第２図（ｂ）に示される。第２
図（ａ）は、液体噴射記録ヘッドのオリフィス側から見
た正面部分図であり、第２図（ｂ）は、第２図（ａ）に
一点鎖線ＸＹで示す部分で切断した場合の切断部分図で
ある。

記録ヘッド１００は、その表面に熱エネルギー発生手段
＋０１か設けられている基板１０２の表面を、所定の線
密度で所定の巾と深さの溝が所定数設けられている溝付
板１０３で覆うように接合することによって、オリフィ
ス＋０４と液吐出部１０５が形成された構造を有してい
る。図に示す記録ヘッドの場合には、オリフィス１０４
を複数有するものとして示されているが、勿論本発明に
おいては、このようなものに限定されるものではなく、
単一オリフィスの記録ヘッドも本発明の範囲にはいるも
のである。

液吐出１％　１０５は、その終端に液体を吐出させるた
めのオリフィス１０４と、熱エネルギー発生手段＋０１
より発生される熱エネギーが記録液に作用して気泡を発
生し、その体積の膨張と収縮に依る急激な状態変化を引
き起す箇所である熱作用部１０６とを有する。

熱作用部１０６は、熱エネルギー発生手段１０１の熱発
生部１０７の上部に位置し、熱発生部１０７の記録液と
接触する面としての熱作用面１０８をその底面としてい
る。

熱発生部１０７は、基板１０２上に設けられた下部層１
０９、該下部層＋０９上に設けられた発熱抵抗層１１０
、該発熱抵抗層１１０上に設けられた第１の保護層１１
１　、第２の保護層＋１２とで構成される。

発熱抵抗層＋１０には、熱を発生させるために該層１１
０に通電するための電極１１：ｌ、＋１４がその表面に
設けられている。電極１１３は、各液吐出部の熱発生部
に共通の電極であり、電極１１４は、各液吐出部の熱発
生部を選択して発熱させるための選択電極であって、液
吐出部の液流路に沿って設けられている。

第１の保護ＷＩＩｌｌおよび第２の保護層１１２は、熱
発生部１０７に於いては発熱抵抗層１１０を、使用する
記録液から化学的、物理的に保護１−るために発熱抵抗
層＋１０と液吐出部１０５の液流路を満たしている記録
液とを隔絶すると共に、記録液を通じて電極１１３，１
１４間が短絡するのを防止する、発熱抵抗層＋１０の保
護的機能を有している。また、第１の保護層Ｉｌｌは、
隣接する電極間に於ける電気的リークを防止する役目を
荷っている。殊に、各選択電極間に於ける電気的リーク
の防止、或いは各液流路下にある電極が何等かの理由で
電極と記録液が接触し、これに通電することによって起
る電極の電蝕の防止は重要であって、このためにこのよ
うな保護層的機能を有する第１の保護層Ｉ１１が少なく
とも液流路下に存在する電極上には設けられている。

第１の保護層をはじめとする上部層は、設けられる場所
によりて要求される特性が各々異なる。

即ち、例えば熱発生部１０７に於いては、■耐熱性、■
耐液性、■液浸透防止性、■熱伝導性、■酸化防止性、
■絶縁性及び■耐破傷性に優れていることが要求され、
熱発生部１０７以外の領域に於いては熱的条件で緩和さ
れるが液浸透防止性、耐液性及び耐破傷性には充分慢れ
ていることが要求される。

ところが、上記■〜■の特性の全てを所望通りに充分満
足する上部層を構成する材料は、今のところなく■〜■
の特性の幾つかを緩和して使用しているのが現状である
。即ち、熱発生部１０７に於いては、■、■及び■に優
先が置かれて材料の選択か成され、他方熱発生部１０７
以外の、例えば電極部に於いては、■、■及び■に優先
が置かれて材料の選択が成されて、夫々の該当する領域
面上に各相当する材料を以って上部層が形成されている
。

他方、これ等とは別に、マルチオリフィス化タイプの液
体噴射記録ヘッドの場合には、基板上に多数の微細な熱
エネルギー発生手段を同時に形成する為に、製造過程に
於いて、基板上では各層の形成と、形成された層の一部
除去の繰返しが行なわれ、上部層が形成される段階では
、」二部層の形成されるその表面はステップウエッヂ部
（段差部）のある微細な凹凸状となっているので、この
段差部に於ける上部層の被覆性（すなわち、ステップカ
バレージ（Ｓｔ、ｃｐ　ｃｏｖｅｒａｇｅ）性）が重要
となっている。つまり、この段差部の被覆性が悪いと、
その部分で記録液の浸透が起り、電触或いは電気的絶縁
破壊を起こす誘引となる。また、形成される上部層がそ
の製造法上に於いて欠陥部の生ずる確率が少なくない場
合には、その欠陥部を通じて、記録液の浸透が起り、熱
エネルギー発生手段の寿命を著しく低下させる要因とな
っている。

これ等の理由から、上部層は、段差部に於ける被覆性が
良好であること、形成される層にピンホール等の欠陥が
発生する確率が低く、発生しても実用上無視し得る程度
或いはそれ以上に少ないことが要求される。

一方、熱作用部１０６では、記録液が加熱により気化さ
れるが、これが、サブクール沸騰である為と、加熱時間
が短い為にすぐ冷却されて凝縮する。従って熱作用面近
傍では毎秒数千回の高頻度で発泡−凝縮が繰返されてお
り、この時の圧力変化（キャビテーションコロ−ジョン
）は、基板を破壊することも少なくない。

このように、液体噴射記録ヘッドにあっては、熱エネル
ギー発生手段の保護を目的として種々の保護層が設けら
れるのが普通であり、例えば第２図に例示した如くに発
熱抵抗層を液流路内の記録液と隔絶するための機能を有
する第１の保護層や、耐キヤビテーシヨン機能を有する
第２の保護層等を設けて記録ヘッドの耐久性の向上がは
かられるのである。このような保護層は保護機能を達成
し得る所望の部位に設ければよく、例えば上記第１およ
び第２の保護層と言ったように機能分離して設けてもよ
いし、特には機能分離せずに設けてもよいものである。

また、上記第１および第２の保護層に加えて更に別の保
３１１層を設けることももちろん可能であり、例えば第
２図に例示の記録ヘッドであれば、第１の保護層１１１
のみによって殆ど覆われている電極１１３，１１４の液
流路下部分の保護層ＩＩＩ上に、被覆性に優れた有機材
料等で構成された第３の保護層を熱作用面を除いて設け
る等のことが行なわれるのである。

このような保護層を構成する材料は、その保護機能など
によって所望のものが用いられるのであるが、例えば記
録液との隔絶を主とした第１の保護層ＩＩ＋であれば、
５ｉ０２等の無機酸化物やＳｉ３Ｎ４等の無機窒化物等
の無機絶縁材料等が用いられ、耐キャビテーション性を
主とした第２の保護層＋１２には粘りがあって、比較的
機械的強度に優れ、かつ第１の保護層に対して密着性と
接着性のある、例えば第１の保護層が５ｉ０２で形成さ
れている場合にはＴａ等の金属材料で構成されるのが普
通である。このように第２の保護層を金属等の比較的粘
りがあって機械的強度のある無機材料で構成することは
、特に熱作用面１０８に於いて、液吐出の際に生ずるキ
ャビテーション作用からのショックを充分吸収すること
ができ、熱エネルギー発生手段１０１の寿命を格段に延
ばす効果がある。

尚、溝付板１０３並びに熱作用部１０６の上流側に設け
られる共通液室の構成部材を構成する材料としては、微
細精密加工が容易に適用され得ると共に、面精度を所望
通りに容易に出すことができ、更には、それ等によって
形成される流路中を記録液がスムーズに流れ得るように
加工し得る材質のものが一般には用いられ、代表的なも
のを例示すれば、セラミックス、ガラス、金属、プラス
チック或いはシリコンウェハー等が挙げられる。中でも
、ガラス、シリコンウェハーは加工」二容易であること
、適度の耐熱性、熱膨張係数、熱伝導性を有しているの
で汎用される材料の１つである。また、オリフィス１０
４の周りの外表面には、該オリフィス１０４が記録液で
濡れて、記録液がオリフィス＋０４の外側に回り込むの
を防止するため、記録液が水系の場合には撥水処理を、
記録液が非水系の場合には撥油処理を施す等の工夫が一
般にはなされる。

従来、このようにして液体噴射記録ヘッドか構成される
訳であるが、このような液体噴射記録ヘッドにも、まだ
まだ改善すべき種々の問題がある。

その１つは、液体噴射記録ヘッドの温度特性に起因する
ものである。第３図に、記録液が被記録材に付着して形
成される記録ドツトの大きさ、すなわち記録ドツト径と
記録ヘッドの温度の関係な示す。この図から明らかなよ
うにドツト径はヘッド温度に大きく依存する。これは、
ヘッド温度の変化によって飛翔的液滴を形成する記録液
の粘性が大きく変化することに起因しており、特に低温
では記録液の粘性が大きいために安定な飛翔的液滴を形
成することができず、良好な画質を得ることが出来なか
った。この為、従来一般にはポジスタ−などの外部加熱
方式のヒーターを用いて、記録ヘッド外部から該ヒータ
ーにより記録ヘッド全体を加熱することで、このような
画質低下の問題に対応していた。しかしながら、この方
法では記録ヘッド全体を加熱する為、消費電力が大きく
なり、かつ温度上昇の応答速度も遅いという欠点があっ
た。

また、熱エネルギーを利用した液体噴射記録ヘッドは原
理上、自己発熱を伴なうことと、基板自身を記録の為の
記録液が流れていること（基板自身記録液が冷却してい
る）により、複雑な温度分布を示す。従ってマルチノズ
ルを有する液体噴射記録ヘッドでは、温度分布の均−化
及び低温時の特性改善が良好な画質を得る為の必要条件
となフている。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明は係る点に鑑みて為されたものであって、消費電
力が少なく、しかも低温時でも即座に良好な画質を得る
ことが出来、しかも安価な液体噴射記録ヘッドを提供す
ることを目的とする。

［問題点を解決するだめの手段］ 本発明の上記目的は、以下の本発明によって達成される
。

記録液を吐出し飛翔的液滴を形成するための液体吐出口
、前記飛翔的液滴を形成するために用いられる熱エネル
ギーを発生するための熱エネルギー発生手段、及び該熱
エネルギー発生手段上に設けられ、＋１ｒｒ記飛翔的液
滴を形成しない熱エネルギーを発生する加熱手段とを有
する液体噴射記録ヘッド。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の詳細な
説明するが、本発明が以下の例に限定されるものでない
ことは言うまでもない。

第１図に本発明の液体噴射記録ヘッドの一例を示す。尚
、第１図には、特に該ヘッドの加熱手段付近の模式図が
示されている。

本例の液体噴射記録ヘッドは、基本的には第２図に例示
した従来例の記録ヘッドの保護層上に、飛翔的液滴を形
成するために用いられる熱エネルギーを発生するための
熱エネルギー発生手段２とは別に、該飛翔的液滴を形成
しない熱エネルギーを発生する加熱手段１を設けたもの
である。第１図においては説明を簡略化するため、熱エ
ネルギー発生手段２および加熱手段１以外のヘッド各部
の構成を省略して示しであるが、熱エネルギー発生手段
２上には、前述した第２図におけると同様の第１の保護
層が積層され、加熱手段１は該第１９保護層上に第２の
保護層を兼ねるものとして第１図に例示の如くにバー状
に設けられている。尚、第１図中、２−２は熱エネルギ
ー発生手段２に記録１８号を印加１−るための電極であ
り、２−１は該手段２の熱発生部となる発熱抵抗体であ
る。また、４は記録液（インク）の電位を制御するだめ
に必要に応じて設けられるインク電位制御電極であり、
３は加熱手段１の通電制御およびインク電位制御ための
制御ドライバーである。

本発明における液体噴射記録ヘッドは、例えば上記第１
図に例示の如くに、飛翔的液滴を形成するために用いら
れる熱エネルギーを発生ずる熱エネルギー発生手段２と
、該熱エネルギー発生手段子上に設けられ、上記飛翔的
液滴を形成しない熱エネルギーを発生する加熱手段１と
を有するものとして構成される。本発明においては、こ
のような加熱手段１を設ける以外の記録ヘッドの各種構
成については特に限定されるものではなく、従来例の液
体噴射記録ヘッドにおけると同様の種々の工夫がなされ
てよい。

加熱手段１としては、記録液を加熱し得るものであれば
、その材質や形状等、特に限定されるものではない。例
えば材質であれば、熱エネルギー発生手段に用いられる
各種の発熱抵抗体、あるいは第２の保護層として用いら
れるＴａなとの金属材料やその他の導電性を有するもの
などが具体的なものとして挙げられる。その形状として
も、例えば第１図に例示の如くにバー状として熱エネル
ギー発生手段２の熱発生部の発熱抵抗体２−１の全面を
覆うように設けてもよいし、各熱エネルギー発生手段２
の発熱抵抗体２−１の個々に対応してそれぞれを個別に
覆うように設けてもよいものである。また、その設置部
位は、熱エネルギー発生手段上の所望の部位に設ければ
よいのであるが、好ましくは上記熱エネルギー発生手段
の熱発生部近傍に、最適には上記熱エネルギー発生手段
の熱発生部に対応する部位に設けるとよい。

また、本例では、第２の保護層に用いられるＴａ等の金
属材料が電気抵抗体としても機能することに着目して、
加熱手段ｌを第２の保護層をも兼ねるものとして該加熱
手段１を形成しであるが、このように、加熱手段ｌは保
護層とは別に設けることは必ずしも必要ではなく、第１
および第２と言フたように保護層を機能分離して設ける
場合には、加熱手段１を保護層の機能を兼ねるものとし
て設けてもよいものである。このようにすることで、簡
易な構成で、熱エネルギー発生手段２の保護を行なうこ
とができるとともに、１１「北本発明の目的を達成する
ことができるものである。このような加熱手段１が保護
層の機能を兼ねる場合に好適な材料を具体的に例示すれ
ば、上記Ｔａの他、八Ｕ、　Ｉｌｄ、　　Ｐｔ、、　　
＾ム　Ｔａ％　Ｔｉ、　　Ｚｒ、　　Ｉｆｆ、　　Ｖ、
　　Ｎｂ％　Ｍｇ。

Ｓｉ、　Ｍｏ％Ｗ、Ｙ、Ｌａ等の各種金属、あるいはこ
れらの炭化物、窒化物、硼化物、ケイ化物などが挙げら
れる。もちろん、加熱手段１上には、該手段の酸化を防
止する等の目的で、熱エネルギー発生手段上に積層する
保護層と同様の各種の層を設けてもよいものである。

尚、第１図中のインク電位制御電極４は、例えば加熱手
段ｌが陽極酸化されやすい金属材料で形成される場合な
ど、該酸化によって加熱手段１に酸化被膜が形成され、
この硬い酸化被膜によって第２の保護層としての耐キャ
ビチーシミ１ン性が劣化するのを防止する等のために、
記録液の電位を加熱手段１の電位よりも高く保持するく
例えば、第１図中に記号Ａで示される加熱手段１の電位
が９ｖであれば、記号Ｂで示されるインク電位制御電極
４の電位をＩＯＶにすると言ったように）”ために設け
たもので、加熱手段１上にも保護層が設置されるような
場合には、特に設ける必要はない。

もちろん、＾ｕ、　Ｐｄ、　ＰＬ等の陽極酸化を受けに
くい金属材料を用いる場合などにもインク電位制御型Ｖ
ｉＡ４を特に設ける必要はない。但し、このような陽極
酸化を受けにくい金属材料を用いる場合にはＭｏ、　Ｗ
等の密着力向上層を加熱手段１の下引き層として設ける
ことが望ましい。このようなインク電位制御電極４は、
記録ヘッド中の記録液と接する所望の部位に設ければよ
いのであるが、本例では熱エネルギー発生手段２のそれ
ぞれに対応した液流路に記録液を供給するための共通液
室に該電Ｖｉ４を記録液と接するように設けである。

［作用］ 本発明では、上記の如き加熱手段により飛翔的液滴とな
る記録液を直接加熱できるので、消費電力が小さく、か
つ記録ヘッド内の温度分布をほぼ均一にすることが可能
であり、特に低温時においても即座に良好な画質を得る
ことのできる新規な液体噴射記録ヘッドを提供し得るの
である。

［実施例］ 以下に本発明の実施例を示す。

実施例１ 第１図に例示の本発明の液体噴射記録ヘッドを以下のよ
うに作成した。

まず、第４図の如きバー状の加熱手段＋１２を有する基
板を以下のように作成した。すなわち、５μ厚の熱酸化
５ｉ０２層を表面に有するＳｉウェハーを基板として、
該基板上に、ＲＦマグネトロンスパッタリングを用いて
ＩＩ　ｆ　Ｂ２からなる発熱抵抗体１１０を１５００人
の厚みに成膜し、引き続き＾ｌからなる電極層１１３　
、１１４をＤＣスパッタリングを用いて５０００人の厚
みに成膜した。そのｔ＆フォトリソグラフィ技術を用い
て該電極層１１３　、１１４および発熱抵抗体＋１０の
バタニーングを施し、基板上に所望のパターンに形成さ
れた発熱抵抗体１１０および電極１１３　、１１４から
なる熱エネルギー発生手段を得た。この熱エネルギー発
生手段上に、保護層としてのＳ　ｉ０２１１！２をｎｔ
＋スパッタリングにより　１．５μｍの厚みに成膜した
。その後、加熱手段１１２としてのＴａ１ｌＱをＤＣス
パッタリングによりバー状に　１．Ｏｐの厚みに成膜し
、加熱手段＋１２がバー状に形成された第４図の如き基
板を得た。

この基板に、液流路および共通液室となる所要の溝を有
する溝付板（本例ではガラス）を位置合わせの後に接着
して、第１図に例示の如き本発明の液体噴射記録ヘッド
を得た。

この記録ヘッドを用いて記録試験を実施したところ、印
写物の反射濃度が均一な良質の画像を、低温時において
も即座に得ることができた。尚、記録試験は、加熱手段
の酸化を防止するためにインク電位（Ｂ点）をＩＯＶ、
加熱手段（Ａ点）の電位を９Ｖとした上で、第７図に例
示の如きパルス電圧を加熱手段に印加して記録液を予熱
した後、ただちに発熱抵抗体＋１０に記録パターンに応
じた記録信号を印加することによって行なった。記録ヘ
ッドの環境温度が０℃という低温度においても、第７図
に示したような１００μｓ程度の短い予熱時間で良質の
画像が得られた。

実施例２ インク電位制御電極を設けず、加熱手段＋１２上に５ｉ
０２からなる保護層を設ける以外は実施例１と同様にし
て本発明の液体噴射記録ヘッドを得た。

この記録ヘッドを用い、インク電位の制御を行なわない
以外は実施例１と同様にして記録を行なったところ、実
施例１と同様に印写物の反射濃度が均一な良質の画像を
、低温時においても即座に得ることができた。

ところで、上記のような加熱手段を有しない従来例の液
体噴射記録ヘッドでは、このような良質の画像を形成す
ることができないのは前述の通りである。これは、記録
液（インク）の粘性が温度によって変化することに起因
していた。第５図は、このような記録液の温度に対する
粘性変化の一例である。第５図から明らかなように、低
温時には急激にインク粘度が増加するのである。例えば
０℃におけるインク粘度は、２５℃のそれに比べて２倍
強高く、このような増粘によって、低温時における飛翔
的液滴の吐出速度が低下し、このため従来例の液体噴射
記録ヘッドでは安定な飛翔的液滴を形成することができ
ず、良質の画像を得ることが困難であったのである。こ
のため従来は、ポジスタ−などの外部加熱方式のヒータ
ーを用いて記録ヘッドの加熱を行なっていた。

第６図に、ポジスタ−を用いて第２図に例示の如き従来
例の液体噴射ヘッドを加熱した時の昇温状態の一例を示
す（但し、加熱時の記録ヘッドの環境温度は２６℃）。

これによると、ヘッド温度を１０℃上げるの約３０秒程
度の時間を要することが分る。例えば環境温度０℃の時
に、インクの粘性増加による飛翔的液滴の吐出速度の低
下がそれほど問題とはならないインク温度１０℃で記録
を行なうとすると、記録を開始するためには約３０秒程
度のウェイティングタイムを要することになる。しかも
、外部加熱方式では記録ヘッドの温度分布が必ずしも均
一とはならず、このような温度分布の不均一も画質低下
の一因になフていたのである。

しかしながら、本発明は熱エネルギー発生手段上に設け
た加熱手段による記録液の直接加熱であるので、Ｌ記の
ような長時間のウェイティングタイムを要することなく
、前述の如き　１００μｓ程度の短時間の予熱で記録液
を均一に加熱することができ、しかも低消費電力で安定
した飛翔的液滴を形成することができるのである。この
ため、本発明では低温の環境下においても即座に良質の
画像を得ることが出来、またベタ印字の際の印字物の濃
度差も、従来±３．５％程度であったものを、本発明で
は±　１．５％程度に減少することができた。

［発明の効果］ 以上に説明した如く、本発明によって、消費電力が小さ
く、かつ記録ヘッド内の温度分布をほぼ均一にすること
が可能であり、特に低温時においても即座に良好な画質
を得ることのできる新規な液体噴射記録ヘッドを提供し
得るようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの一例の概略説
明図、第２図（ａ）は従来例の液体噴射記録ヘッドの一
例の概略説明図、第２図（ｂ）は第２図（ａ）のＸ−Ｙ
断面の切断部分図、第３図は従来例の液体噴射記録ヘッ
ドによる記録の際のドツト径とヘッド温度の関係の一例
を示す図、第４図は本発明の液体噴射記録ヘッドに係わ
る基板構成の一例を示す図、第５図はインク粘度とイン
ク温度との関係の一例を説明する図、第６図は従来例の
液体噴射記録ヘッドの加熱時間とヘッド温度の関係の一
例を示す図、第７図は本発明の液体噴射記録ヘッドの加
熱手段に印加するパルス電圧の一例を示す図である。 １−ｍ−加熱手段 ２−一一熱エネルギー発生手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）記録液を吐出し飛翔的液滴を形成するための液体
   吐出口、前記飛翔的液滴を形成するために用いられる熱
   エネルギーを発生するための熱エネルギー発生手段、及
   び該熱エネルギー発生手段上に設けられ、前記飛翔的液
   滴を形成しない熱エネルギーを発生する加熱手段とを有
   する液体噴射記録ヘッド。