JPS5919622B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS5919622B2 JPS5919622B2 JP54105687A JP10568779A JPS5919622B2 JP S5919622 B2 JPS5919622 B2 JP S5919622B2 JP 54105687 A JP54105687 A JP 54105687A JP 10568779 A JP10568779 A JP 10568779A JP S5919622 B2 JPS5919622 B2 JP S5919622B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- electron beam
- scanning
- film
- electron microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線を試料面上で走査することにより透過電
子顕微鏡像を得るようになした電子顕微鏡に関する。
子顕微鏡像を得るようになした電子顕微鏡に関する。
透過型電子顕微鏡において透過電子顕微鏡像を写真撮影
するには、比較的大きいスポット径（数〜数＋μｍ）の
電子線を試料上に照射し、該試料を透過した電子線を対
物レンズ等の結像レンズ系によりフィルム上に拡大結像
させるようになしている。
するには、比較的大きいスポット径（数〜数＋μｍ）の
電子線を試料上に照射し、該試料を透過した電子線を対
物レンズ等の結像レンズ系によりフィルム上に拡大結像
させるようになしている。
一方、電子線を微小径に集束した状態で試料面上を二次
元的に走査し、試料を透過した電子線を拡大レンズ系に
てフィルム上に拡大結像することにより透過電子顕微鏡
像を写真撮影することも周知である。
元的に走査し、試料を透過した電子線を拡大レンズ系に
てフィルム上に拡大結像することにより透過電子顕微鏡
像を写真撮影することも周知である。
しかし乍ら斯様な方法において、金属薄膜等の試料を撮
影する際、試料の厚さが一様でない場合や回折条件が異
なる場合には撮影視野内で像の明るさにムラが生じる。
影する際、試料の厚さが一様でない場合や回折条件が異
なる場合には撮影視野内で像の明るさにムラが生じる。
そのため焼付の段階で「おおい焼き」をして明るさのム
ラをなくす必要があり、文明るさのムラが大きい場合に
は一視野について露出を変えた多数の写真撮影を行う必
要がある。
ラをなくす必要があり、文明るさのムラが大きい場合に
は一視野について露出を変えた多数の写真撮影を行う必
要がある。
従って写真撮影に時間がかかると共に取扱いが非常に厄
介である。
介である。
又、試料が厚い部分からの信号は信号量そのものが小さ
くなることから、試料の微細構造に関する正味の信号部
分のＳ／Ｎが小さくなり、露出を変えた多数回の写真撮
影を行なわなければ試料の微細構造の様子を充分把握す
ることはできなかった。
くなることから、試料の微細構造に関する正味の信号部
分のＳ／Ｎが小さくなり、露出を変えた多数回の写真撮
影を行なわなければ試料の微細構造の様子を充分把握す
ることはできなかった。
本発明は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。
で、以下図面に基づき詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成略図であり、１は
透過型電子顕微鏡の鏡体である。
透過型電子顕微鏡の鏡体である。
２は該鏡体１の上部におかれた電子銃で、該電子銃で発
生した電子線３は集束レンズ４により直径が例えば０．
１〜０．２μｍ程度の径小径に集束されて試料５上に照
射される。
生した電子線３は集束レンズ４により直径が例えば０．
１〜０．２μｍ程度の径小径に集束されて試料５上に照
射される。
６は偏向コイルで、走査電源７からの走査信号が走査速
度制御回路８を介して供給されることにより電子線３を
試料５上で二次元的に走査する。
度制御回路８を介して供給されることにより電子線３を
試料５上で二次元的に走査する。
９は対物レンズ及び投影レンズ等からなる結像レンズ系
で、試料５を透過した電子線を拡大結像するためのもの
である。
で、試料５を透過した電子線を拡大結像するためのもの
である。
１０はこの結像面におかれたフィルムで、該フィルムは
適宜な送り機構により未撮影ケース１１から撮影位置に
移動せられ、該位置から撮影済ケース１２内に移動せら
れる。
適宜な送り機構により未撮影ケース１１から撮影位置に
移動せられ、該位置から撮影済ケース１２内に移動せら
れる。
今偏向コイル６によって照射電子線３を実線で示す如く
偏向せしめて試料５上の点Ｐを照射した場合、該点Ｐよ
り透過した電子は結像レンズ系９によりフィルム１０上
の点Ｐ′に結像する。
偏向せしめて試料５上の点Ｐを照射した場合、該点Ｐよ
り透過した電子は結像レンズ系９によりフィルム１０上
の点Ｐ′に結像する。
又偏向コイル６により点線で示す如く試料５上のＹ点に
電子線を照射しているときは、該Ｙ点からの透過電子は
フィルム１０上の点Ｙ／に結像する。
電子線を照射しているときは、該Ｙ点からの透過電子は
フィルム１０上の点Ｙ／に結像する。
そこで偏向コイル６に走査信号を供給して、試料５上の
一定領域を照射電子線３により走査すると、その各点か
らの透過電子が前述の過程に従って結像し、フィルム１
０上に透過電子顕微鏡像が露光される。
一定領域を照射電子線３により走査すると、その各点か
らの透過電子が前述の過程に従って結像し、フィルム１
０上に透過電子顕微鏡像が露光される。
又フィルム１０の上方に螢光板１３をセットすれば透過
電子顕微鏡像を肉眼観察できる。
電子顕微鏡像を肉眼観察できる。
前記フィルム１０を保持するカセット１４は撮影位置に
セットされた場合、鏡体１に対して電気的に遮断されて
おり、従ってフィルム１０に到達した透過電子を検出す
ることができる。
セットされた場合、鏡体１に対して電気的に遮断されて
おり、従ってフィルム１０に到達した透過電子を検出す
ることができる。
該検出された信号は増巾器１５により増巾されてフィル
ター回路１６に送られる。
ター回路１６に送られる。
該フィルター回路１６においては検出信号の内、高い周
波数成分をカットして例えば数〜数十Ｈｚ程度の比較的
低い周波数成分のみを通過させるものである。
波数成分をカットして例えば数〜数十Ｈｚ程度の比較的
低い周波数成分のみを通過させるものである。
該フィルター回路１６からの低周波成分の信号は差動増
巾器１７に送られて基準電源１８の基準電圧と比較され
る。
巾器１７に送られて基準電源１８の基準電圧と比較され
る。
該差動増巾器１７からの出力信号は前記走査速度制御回
路８に送られ、走査電源７からの走査信号の傾むきを変
化せしめて試料５上の電子線の走査速度を変化させる。
路８に送られ、走査電源７からの走査信号の傾むきを変
化せしめて試料５上の電子線の走査速度を変化させる。
斯かる構成において、フィルムのカセット１４には照射
電子線の走査に従って試料の各点を透過した電子が検出
されるわけであるが、このとき検出された信号には試料
の構造又は組成に基づく情報と試料の厚みに基づく情報
とが含まれている。
電子線の走査に従って試料の各点を透過した電子が検出
されるわけであるが、このとき検出された信号には試料
の構造又は組成に基づく情報と試料の厚みに基づく情報
とが含まれている。
ここで試料の構造又は組成に基づく情報に関しては高い
周波数成分をもち、又試料の厚みに関しては急激な厚み
の変化がないので、普通の撮影時の照射電子線の走査速
度であれば数〜数十Ｈｚ程度の比較的低い周波数成分を
もっている。
周波数成分をもち、又試料の厚みに関しては急激な厚み
の変化がないので、普通の撮影時の照射電子線の走査速
度であれば数〜数十Ｈｚ程度の比較的低い周波数成分を
もっている。
従ってフィルター回路１６より低周波成分を取り出せば
、試料り厚みに対応した信号となり、この信号を差動増
巾器において予じめ設定した基準値と比較することによ
り試料が厚い場合には照射電子線の走査速度を低くし、
又逆に試料が薄い場合には走査速度を高くすれば終像の
各点における電子線量（電子流密度Ｘ時間積）を一定に
保つことができる。
、試料り厚みに対応した信号となり、この信号を差動増
巾器において予じめ設定した基準値と比較することによ
り試料が厚い場合には照射電子線の走査速度を低くし、
又逆に試料が薄い場合には走査速度を高くすれば終像の
各点における電子線量（電子流密度Ｘ時間積）を一定に
保つことができる。
その結果試料の厚みの変化による明るさのムラを自動的
に補正することができるため、撮影時間の短縮をはかる
ことができると共に取扱いが非常に容易になる。
に補正することができるため、撮影時間の短縮をはかる
ことができると共に取扱いが非常に容易になる。
又、本発明における装置においては、試料が厚いため、
取り出された低周波成分信号値が小さな場合には、電子
線の走査速度が小さくなるように制御しているため、試
料が厚い部分には充分電子線を照射して、Ｓ／Ｎの高め
られた信号を得、この信号に基づいて試料の微細構造を
表わす像を１回の撮影で得ることができる。
取り出された低周波成分信号値が小さな場合には、電子
線の走査速度が小さくなるように制御しているため、試
料が厚い部分には充分電子線を照射して、Ｓ／Ｎの高め
られた信号を得、この信号に基づいて試料の微細構造を
表わす像を１回の撮影で得ることができる。
尚前述の実施例は本発明の例示であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。
は幾多の変形が考えられる。
例えば試料を透過した電子の検出ｔこあたってはフィル
ムのカセットに流入する電子を検出する場合について述
べたが、これに限定されることなく、例えば透過電子線
の強度に比例するフィルムからの反射電子線を検出して
もよく、又結像レンズ系により絞り（対物絞り等）に流
入する電子線を検出しても前述と同様な効果を得ること
ができる。
ムのカセットに流入する電子を検出する場合について述
べたが、これに限定されることなく、例えば透過電子線
の強度に比例するフィルムからの反射電子線を検出して
もよく、又結像レンズ系により絞り（対物絞り等）に流
入する電子線を検出しても前述と同様な効果を得ること
ができる。
又前述の説明では透過電子顕微鏡像を直接フィルムに露
光させたが、電子線通路上に螢光板を設置し、この螢光
板に到達した透過電子を検出してフィルター回路に送っ
て試料の厚さに対応する信号を取り出すことにより照射
電子線の走査速度を制御するように構成すれば、明るさ
のムラのない透過電子顕微鏡像を肉眼観察することがで
きる。
光させたが、電子線通路上に螢光板を設置し、この螢光
板に到達した透過電子を検出してフィルター回路に送っ
て試料の厚さに対応する信号を取り出すことにより照射
電子線の走査速度を制御するように構成すれば、明るさ
のムラのない透過電子顕微鏡像を肉眼観察することがで
きる。
更に本発明を透過型電子顕微鏡に実施した場合について
述べたが、第２図で示すように試料５を透過した電子線
を直接検出器１９で検出し、検出された映像信号を増巾
器２０を介して照射電子線走査と同期した陰極線管２１
に導入して走査像を得るようになした走査型電子顕微鏡
に同様に実施することができる。
述べたが、第２図で示すように試料５を透過した電子線
を直接検出器１９で検出し、検出された映像信号を増巾
器２０を介して照射電子線走査と同期した陰極線管２１
に導入して走査像を得るようになした走査型電子顕微鏡
に同様に実施することができる。
即ち検出器１９で検出された映像信号の中にも試料５の
厚みに関する情報が含まれているため、映像信号の一部
を第１図と同様にフィルター回路１６に送り比較的低い
周波数成分つまり試料の厚さに対応する信号を取り出す
ことによって照射電子線の走査速度及び陰極線管２１の
電子線の走査速度を試料５の厚さの変化に対応して変化
させれば、陰極線管２１に明るさのムラのない透過走査
電子顕微鏡像を観察、又はカメラ２３によって写真撮影
することができる。
厚みに関する情報が含まれているため、映像信号の一部
を第１図と同様にフィルター回路１６に送り比較的低い
周波数成分つまり試料の厚さに対応する信号を取り出す
ことによって照射電子線の走査速度及び陰極線管２１の
電子線の走査速度を試料５の厚さの変化に対応して変化
させれば、陰極線管２１に明るさのムラのない透過走査
電子顕微鏡像を観察、又はカメラ２３によって写真撮影
することができる。
尚第２図中第１図と同一番号は同一構成要素を示し、２
２は陰極線管の偏向コイルである。
２は陰極線管の偏向コイルである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明を透過型電子顕微鏡に実施した場合の一
実施例を示す構成略図、第２図は本発明を走査型電子顕
微鏡に実施した場合の一実施例を示す構成略図である。 １：鏡体、２：電子銃、３二電子線、４：集束レンズ、
５：試料、６：偏向コイル、７：走査電源、８二走査速
度制御回路、９二結像レンズ系、１０：フィルム、１１
：未撮影ケース、１２：撮影済ケース、１３二螢光板、
１４：カセット、１５及び２０：増巾器、１６：フィル
ター回路、１７：差動増巾器、１８二基準電源、１９：
検出器、２１：陰極線管、２２二偏向コイル。
実施例を示す構成略図、第２図は本発明を走査型電子顕
微鏡に実施した場合の一実施例を示す構成略図である。 １：鏡体、２：電子銃、３二電子線、４：集束レンズ、
５：試料、６：偏向コイル、７：走査電源、８二走査速
度制御回路、９二結像レンズ系、１０：フィルム、１１
：未撮影ケース、１２：撮影済ケース、１３二螢光板、
１４：カセット、１５及び２０：増巾器、１６：フィル
ター回路、１７：差動増巾器、１８二基準電源、１９：
検出器、２１：陰極線管、２２二偏向コイル。
Claims (1)
- １ 細く集束された電子線を薄膜試料上に照射し、且つ
この電子線を試料面上で２次元的に走査することにより
透過電子顕微鏡像を得るようになした装置において、前
記試料各点を透過した電子を検出する手段と、該手段で
検出された信号の内、低周波成分を取り出すための手段
と、該手段からの出力信号によって前記電子線の走査速
度を制御するための手段とを備えたこさを特徴とする電
子顕微鳥
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54105687A JPS5919622B2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP54105687A JPS5919622B2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5630243A JPS5630243A (en) | 1981-03-26 |
| JPS5919622B2 true JPS5919622B2 (ja) | 1984-05-08 |
Family
ID=14414306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54105687A Expired JPS5919622B2 (ja) | 1979-08-20 | 1979-08-20 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919622B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007255133A (ja) * | 2006-03-24 | 2007-10-04 | Maeda Corp | 撹拌補助翼を備えたソイルセメント造成装置 |
-
1979
- 1979-08-20 JP JP54105687A patent/JPS5919622B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5630243A (en) | 1981-03-26 |
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