JPS5919991A - 表示装置 - Google Patents
表示装置Info
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- JPS5919991A JPS5919991A JP13091282A JP13091282A JPS5919991A JP S5919991 A JPS5919991 A JP S5919991A JP 13091282 A JP13091282 A JP 13091282A JP 13091282 A JP13091282 A JP 13091282A JP S5919991 A JPS5919991 A JP S5919991A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
＋ａ） 発明の技術分野
本発明は表示装置に係り１ さらに具体的には半導体基
板表面に左示素子ならびに、それら素子に対する駆動回
１／８を一体的に集積化した表示装置の構造の改良に関
する。
板表面に左示素子ならびに、それら素子に対する駆動回
１／８を一体的に集積化した表示装置の構造の改良に関
する。
（ｂ） 技術の背景
近年、半導体基板表面に表示素子ならびにそれら素子に
幻する駆動回路を一体的に集積化したＥＬ表示装置が（
υ［究開発されている。
幻する駆動回路を一体的に集積化したＥＬ表示装置が（
υ［究開発されている。
特に最近はその動作を安定化するため、光および外部か
らの電磁誘導に対する遮蔽用のシールド電極を設りたち
のが出現している。
らの電磁誘導に対する遮蔽用のシールド電極を設りたち
のが出現している。
（Ｃ１従来の技術と問題点
第１図は従来のこの種ＥＬ表示装置１区画分の構成を概
念的に示した断面図で、これに従ってその製作工程を説
明する。
念的に示した断面図で、これに従ってその製作工程を説
明する。
まず半導体基板表面ｌ上に駆動回路即ちＭＯＳトランジ
スタなどよりなる能動素子群２と、コンデンサや抵抗な
どよりなる受動素子群３を集積化して設番〕、アルミニ
ウムなどの蒸着金属により配線した（多、酸化シリコン
（Ｓｉ Ｏ，）などの絶縁層４で覆い、その上にマトリ
ックス配列の画素電極５とシールド電極６を形成する。
スタなどよりなる能動素子群２と、コンデンサや抵抗な
どよりなる受動素子群３を集積化して設番〕、アルミニ
ウムなどの蒸着金属により配線した（多、酸化シリコン
（Ｓｉ Ｏ，）などの絶縁層４で覆い、その上にマトリ
ックス配列の画素電極５とシールド電極６を形成する。
しかる後、酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，、ｌを再び蒸着し
て総ての上記諸素子を覆う１ｏｏｏｏ〜２００００人の
厚さの絶縁層７を形成して該諸素子を湿気から保護する
所謂パッシベーションとすると共に、！＆の工程で形成
するＥ Ｌ発光層が発光領域以外で発光するのを阻止す
る。
て総ての上記諸素子を覆う１ｏｏｏｏ〜２００００人の
厚さの絶縁層７を形成して該諸素子を湿気から保護する
所謂パッシベーションとすると共に、！＆の工程で形成
するＥ Ｌ発光層が発光領域以外で発光するのを阻止す
る。
次いでエツチングにより画素電極の直上の発光領域に窓
を穿ち表示領域を確定する。しかる後。
を穿ち表示領域を確定する。しかる後。
酸化イットリュウム（Ｙ、０．）などの誘電体層８．８
ａで、ＩＥＩ、発光層（普通は硫化亜鉛−マンガンＺｎ
Ｓ ： Ｍｎ） ９を挾んで構成されたＥＬｌ皆１０
を形成する。
ａで、ＩＥＩ、発光層（普通は硫化亜鉛−マンガンＺｎ
Ｓ ： Ｍｎ） ９を挾んで構成されたＥＬｌ皆１０
を形成する。
さらその上に透明な前面電極１１を、同一列内の各画素
電極に共通に形成して２両電極の対向領域即ち画素電極
対応に発光領域を構成する。
電極に共通に形成して２両電極の対向領域即ち画素電極
対応に発光領域を構成する。
以上の説明より判るように、駆動回路を配設後。
各種絶縁層やＥ Ｌ層の蒸着等、多数の工程を重ねてい
るので、その削減が強く望まれていた。
るので、その削減が強く望まれていた。
（ｄｌ 発明の１−１的
本発明４；ＪＩｉｉｌ述の点に鑑みなされたもので、Ｅ
Ｌ表示装置等の誘電体Ｉｆの祠質を見直し、製造工程数
を減らずことが出来るように改良された構造を提供しよ
うとするものである。
Ｌ表示装置等の誘電体Ｉｆの祠質を見直し、製造工程数
を減らずことが出来るように改良された構造を提供しよ
うとするものである。
ｔｅｌ 発明の構成
上記の本発明の目的は、共通の基板上に規則的に配列さ
れた複数個の画素電極を介して２層の誘電体層で挾んだ
ＥＬ発光層よりなる表示媒体を設け、且つ該画素電極に
対する駆動回路を一体的に集禎化してなる構成において
、前記ＥＬ発光層を挾む下側誘電体層と、前記駆動回路
の上に配設したシールド電極を被覆する絶縁層とを単一
の誘電体層で構成することより容易に達成される。
れた複数個の画素電極を介して２層の誘電体層で挾んだ
ＥＬ発光層よりなる表示媒体を設け、且つ該画素電極に
対する駆動回路を一体的に集禎化してなる構成において
、前記ＥＬ発光層を挾む下側誘電体層と、前記駆動回路
の上に配設したシールド電極を被覆する絶縁層とを単一
の誘電体層で構成することより容易に達成される。
（ｆｌ 発明の実施例
以下本発明の実施例について述べるに先立ら。
Ｌ層：Ｌ表示装置を例として、その一部を構成している
誘電体層材料について考察しよう。
誘電体層材料について考察しよう。
上記の絶縁層４，７は半導体基板表面ｌ上の前記駆動回
路を湿気等より保護する表面安定化層と。
路を湿気等より保護する表面安定化層と。
該駆動回路の表示領域以外の部分の発光を阻止する電気
的絶縁層を兼ねているので、高い絶縁性と耐湿性を要求
されている・が、これには酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）
が最適で広く用いられている。
的絶縁層を兼ねているので、高い絶縁性と耐湿性を要求
されている・が、これには酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）
が最適で広く用いられている。
これに対し、前記ＥＬ層１０を構成する誘電体層８，８
ａの祠質は絶縁性と誘電体係数が高いことがｆｆｉ＋、
層とし′Ｃの信頼性と発光能率の点より必須条件である
。また同時に、該誘電体層８．８ａはＥＬ発光ＪＭ（Ｉ
ｊＶ通は硫化亜鉛−マンガンＺｎＳ ：Ｍｎ） ９に対
する密着性もよくなくてはならない。
ａの祠質は絶縁性と誘電体係数が高いことがｆｆｉ＋、
層とし′Ｃの信頼性と発光能率の点より必須条件である
。また同時に、該誘電体層８．８ａはＥＬ発光ＪＭ（Ｉ
ｊＶ通は硫化亜鉛−マンガンＺｎＳ ：Ｍｎ） ９に対
する密着性もよくなくてはならない。
これに適ず・旧４石としては、酸化イントリュウム（Ｙ
、０．）や窒化シリ：Ｉ７ （Ｓｉ、 Ｎ ４ ）が挙
げられる。これらの誘電体係数はそれぞれ約１２および
８である。前述の酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）の誘電体
係数は約３．５でありＥＬｉｉｌＯの、誘電体層には適
していない。
、０．）や窒化シリ：Ｉ７ （Ｓｉ、 Ｎ ４ ）が挙
げられる。これらの誘電体係数はそれぞれ約１２および
８である。前述の酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）の誘電体
係数は約３．５でありＥＬｉｉｌＯの、誘電体層には適
していない。
一方酸化イットリュウム（Ｙ、０２）は吸湿性があって
耐湿性の点で到底表面安定化層には使用できない。
耐湿性の点で到底表面安定化層には使用できない。
先に挙げた誘電体材料の中では窒化シリコン（Ｓｉ、
Ｎ ４）が絶縁性と耐湿性の点で前記表面安定化層とし
てもｊ角当である。
Ｎ ４）が絶縁性と耐湿性の点で前記表面安定化層とし
てもｊ角当である。
以上の考察をよく検討してみるとＥＬ表示装置に使用す
るＢｐＪ電体として、耐湿性が高く、電気的絶縁性に優
れ、誘電体係数の大きい、且つＥＬ発光層（普通は硫化
亜鉛−マンガンＺｎＳ ： Ｍｎ） ９への密着性も良
好な材料があれば、ＥＬ表示装置の製作工程の内、前記
の酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）の絶縁層７とＥＬ発光層
（普通は硫化亜鉛−マンガンＺｎＳ ： Ｍｎ） ９を
挾む２層の誘電体層の内の最初の絶縁ＩＮ ８の材質を
共通にして蒸着工程を同時に行うことが出来る。
るＢｐＪ電体として、耐湿性が高く、電気的絶縁性に優
れ、誘電体係数の大きい、且つＥＬ発光層（普通は硫化
亜鉛−マンガンＺｎＳ ： Ｍｎ） ９への密着性も良
好な材料があれば、ＥＬ表示装置の製作工程の内、前記
の酸化シリコン（Ｓｉ Ｏ，）の絶縁層７とＥＬ発光層
（普通は硫化亜鉛−マンガンＺｎＳ ： Ｍｎ） ９を
挾む２層の誘電体層の内の最初の絶縁ＩＮ ８の材質を
共通にして蒸着工程を同時に行うことが出来る。
具体的には従来の絶縁層７とＥＬＬｉ２Ｏ下側の絶縁層
８の共通誘電体材料として窒化シリコン（Ｓｉ、 Ｎ
、 ）を採用し、上記の２つの層を１回の蒸着で同時に
形成する。
８の共通誘電体材料として窒化シリコン（Ｓｉ、 Ｎ
、 ）を採用し、上記の２つの層を１回の蒸着で同時に
形成する。
第２図はこの発明による新しいＥＬ表示装置の一区画分
の構造を示す概念的な断面図である。図に示すように、
第１図に示す従来の構造の絶縁層７と誘電体ＩＮ ８の
代りに誘電体ｆｆ１１２が形成されている。
の構造を示す概念的な断面図である。図に示すように、
第１図に示す従来の構造の絶縁層７と誘電体ＩＮ ８の
代りに誘電体ｆｆ１１２が形成されている。
該誘電体層１２は画素電極５以外の領域での発光を阻止
するためその厚さは前述のように１００００〜２０００
０人でなりればならないので１画素電極５に対向する部
分は、エツチング法により図示のように厚さ２０００人
程度に薄い層に加工して窓１３を形成する必要がある。
するためその厚さは前述のように１００００〜２０００
０人でなりればならないので１画素電極５に対向する部
分は、エツチング法により図示のように厚さ２０００人
程度に薄い層に加工して窓１３を形成する必要がある。
その外の構造は従来の構造と何等変る所は無い。
（ｇｌ 発明の効果
以上の説明から明らかなように２本発明による新しいＥ
Ｌ表示装置の構造を採用することにより。
Ｌ表示装置の構造を採用することにより。
該装置Ｈの誘電体ＩＬｉの蒸着工程を削減し、製造原価
の低減に効果がある。
の低減に効果がある。
第１閉ｌ ４Ｊ、 １）（−）ｋ（１）Ｉｆｆ＋、表示
装置の１区画分の構成を概念的に示した断面図、第２図
は本発明によるＥｌ、表示装置の新しい構成１区画分を
示した概念的な断面図である。 図においＣ，Ｉは半導体基板、２は能動素子群。 ３は受動素子Ｉ１１’、 ４． ７は絶縁層、５は画
素電極。 ６はシールド１１１ＪＩＪｉ、 ８． ８ ａ、
］ ２は誘電体層５９はＥ Ｌ発光ｊす−１，１０はＥ
ＬＩ晋、１１は透明な前面電極、１；）は誘電体１響１
２に穿った発光領域の窓をそれぞ、ｊｌ、ボす。
装置の１区画分の構成を概念的に示した断面図、第２図
は本発明によるＥｌ、表示装置の新しい構成１区画分を
示した概念的な断面図である。 図においＣ，Ｉは半導体基板、２は能動素子群。 ３は受動素子Ｉ１１’、 ４． ７は絶縁層、５は画
素電極。 ６はシールド１１１ＪＩＪｉ、 ８． ８ ａ、
］ ２は誘電体層５９はＥ Ｌ発光ｊす−１，１０はＥ
ＬＩ晋、１１は透明な前面電極、１；）は誘電体１響１
２に穿った発光領域の窓をそれぞ、ｊｌ、ボす。
Claims (1)
- 共通の基ＪＡｉ、Ｉ：に規則的に配列された複数個の画
素電極を介し６２層の誘電体層で挾んだＥＬ発光層より
なる表示媒体を設り、且つ該画素電極に対する駆動回路
を−・１ト的に集積化してなる構成において、前記Ｅ１
、発光層を挾む下側誘電体層と、前記駆動回路の−１−
に配設したシールド電極を被覆する絶縁層とをｆｌｏｌ
−の誘電体層で構成することを特徴とする表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13091282A JPS5919991A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13091282A JPS5919991A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5919991A true JPS5919991A (ja) | 1984-02-01 |
Family
ID=15045637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13091282A Pending JPS5919991A (ja) | 1982-07-26 | 1982-07-26 | 表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5919991A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191525A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-09 | Inax Corp | 雄螺子用増し締め工具 |
| JPH02232384A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Kobe Steel Ltd | 銅基合金の酸化皮膜除去方法 |
-
1982
- 1982-07-26 JP JP13091282A patent/JPS5919991A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63191525A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-09 | Inax Corp | 雄螺子用増し締め工具 |
| JPH02232384A (ja) * | 1989-03-07 | 1990-09-14 | Kobe Steel Ltd | 銅基合金の酸化皮膜除去方法 |
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