JPS59200869A - 繰り返し使用を可能にするパツキング材 - Google Patents

繰り返し使用を可能にするパツキング材

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JPS59200869A
JPS59200869A JP58073048A JP7304883A JPS59200869A JP S59200869 A JPS59200869 A JP S59200869A JP 58073048 A JP58073048 A JP 58073048A JP 7304883 A JP7304883 A JP 7304883A JP S59200869 A JPS59200869 A JP S59200869A
Authority
JP
Japan
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shape
alloy
packing material
effect
shape memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58073048A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Honma
本間 敏夫
Atsushi Okawa
淳 大川
Kiyoshi Yamauchi
清 山内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokin Corp
Original Assignee
Tohoku Metal Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tohoku Metal Industries Ltd filed Critical Tohoku Metal Industries Ltd
Priority to JP58073048A priority Critical patent/JPS59200869A/ja
Publication of JPS59200869A publication Critical patent/JPS59200869A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L23/00Flanged joints
    • F16L23/16Flanged joints characterised by the sealing means
    • F16L23/18Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings
    • F16L23/20Flanged joints characterised by the sealing means the sealing means being rings made exclusively of metal
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16JPISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00Sealings
    • F16J15/02Sealings between relatively-stationary surfaces
    • F16J15/06Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces
    • F16J15/08Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing
    • F16J15/0806Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with exclusively metal packing characterised by material or surface treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Flanged Joints, Insulating Joints, And Other Joints (AREA)
  • Gasket Seals (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は繰り返し便用可能な真空シール用バッキング材
に関するものである。装置と装置の間を接続する管と管
の接合部の密着を良くすることにより、装置の気密性を
保持することを目的とする・ぐノキング、即ち真空装置
の排気系、試料室等の真空シール用−′P7キング材と
しては、有(張物バッキング、例えばコゞムパ、キング
が単けられるが。
超高真空または清浄真空を必要とする装置9例えばニュ
ーマドロン装置には、有(張物・9ツキング例えばゴム
バッキングは便用されず無酸素銅、銀等の金属で作られ
たバッキング材を用い、その締伺けによる塑性変形効果
を利用して、超高真空を保持している。しかし、塑性変
形による機密性の保持であるために、装置運転完了後は
、前記バッキング材は交換され、繰シ返しの使用には供
し得ないものである。
本発明の目的は、形状記・1.抵合金の熱回復性、即ち
形状記l、・1が効果、および応力の除荷にょシ原形に
復する効果即ち、擬U!jt性効果を利用して繰り返し
便用可能々ル(空ンール用バンキング材を提供すること
にある。
本発明の・やノキング材として供される合金には。
形状記憶効果および擬弾性効果を有する全ての合金が用
いられる。
Ti−Ni 、 Ti−N1−X(X=Fe、Cu等)
合金等は、熱弾性マルテンサイト変態の逆変態に伺随し
て顕著な形状記憶効果を示すことか知られている。
次に本発明を具体的実施例に基き説明する。
507)ミックパーセント、ニッケル、残部チタンより
なる合金を4火物ルツボ例えば黒鉛ルツボを用いた高周
波真空誘導溶解によって得たのち。
熱間加工、冷間加工により厚さ4. +++mのシート
を得。
第1図に示すリング状バッキング材10を切削9加工に
よって得、その後1表面形状を得るために研摩加工を行
なった。加工終了後、ひずみを除去する目的で、700
℃で2時間不活性ガス雰囲気下で熱処理を行なった。
前記試料を用い、圧縮試験を行なった結果表−1に示す
ように、圧扁変形後、加熱するとほぼ完全に形状は原形
に後することが判った。
なおTiN15o  のマルテンサイト変態開始温度(
MS点)は37℃であシ、逆変態開始温度(AS点)は
50℃であった。そのだめに、圧縮時の温度は室温約2
0℃、形状回復の温度は601Cで行なった。
次にイオンケ゛ツターポンプを用い、第1図、第2図に
示すように、該合金ノやノキング材を用いて。
管と管を接続し気密性の試験をした結果。
2 X 10 、 mmHgまで真空度は達しだ。管と
バッキング材が接触する面は第3図、第4図に示すよう
に。
管のフランジ部分には、気密性の保持を向上させる目的
で、切爾状の突起部を有しているが、試験完了後接続を
解いたときt′!?、キング拐は凹部を呈するがこれを
60℃で加熱を行った結果第6図の如くほぼ原形に復し
/こ。繰シ返しの使用テスト結果を表−2に示しだが、
到達真空度は、−回目の試験結果とほぼ同等の師を摺て
おシ、繰シ返し1吏用に十分供し彷ることが判った。捷
だ、超高真空炉、装置等は内部に伺着または吸収されて
いるガス水分を除去し、真空度を上げる目的のためにペ
イキング処理が施される。本発明がペイキングによる形
状記憶効果の喪失、若しくは劣化の有無。
および真空度低下の原因となることが考えられるために
、逆変態温度以上の温度で前記試験を行なったが、15
0℃まで温度を上昇させても、形状記憶効果は変わらず
、まだペイキングの効果による到達真空度はI X 1
0  mm Kgまで達しだ。
婬タキエl−ぺisoのバッキング制を用いた真空度試
験結果また擬弾性効果による真空シールの度合を試験す
るために、51.、Oアトミックパーセン]・ニッケル
、残部チタンよシなるT1Ni 51.0合金を前記同
様にリング状に作成し550℃で1時間の時効処理を施
しだ。
ナオ、 TiN151合金は、550℃の時効処理にょ
シ。
AS点が7℃となり、室温約20 ’Cで擬弾性効果を
示すようになる。
時効処理済み該リング利を前記同様の試験を行なった結
果、圧縮によるひずみ量8%以下であれば繰シ返しの便
用に十分供し州ることが判った。
このように2本発明による形状記憶合金バッキング材は
、装置内の真空を保持する目的でのシール材として十分
供し得ることが判明したが5本実施例は形状記憶合金の
一例にすぎず、かかる形状記憶効果、あるいは擬弾性効
果を有する全ての合金系に適用され得るととは明らかで
ある。
本発明の実施によシ便用毎に交換さ凡ていたバッキング
材が繰り返し使用可能な・やッキング拐となることによ
り、交換の手間の省略、および運転費用のコストダウン
を計ることが可能と々っだ。
【図面の簡単な説明】
第1図はフランジを有する管と形状記憶効果・やッキン
グ拐の締め付は前の斜面図、第2図は第1図の締め伺は
完了の斜面図、第3図はフランジに切歯状の突辺を設け
た接続部分の分解断面図、第4図は第31スの接続部分
の断面図、第5図は運転終了後取シばずされた形状記憶
合金バッキング材の断111図、第6図は形状回復後の
形状記憶合金バッキング利の断面図。 1スにおいて 10 形状記憶合金・ぐ、キング拐、11,12:フラ
ンジ。 第1図       弗2図 第3図        第4図 弗5図       第6図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)形状記憶合金から作られたリング状又は角形の部
    材よシなる・ぐッキング材を該形状記憶合金の変態温度
    以下の温度において、装置間を接続すべき管と管の間に
    配置し2機械的な締め伺けによシ前記・や、キング材を
    変形させて密着ぜしめ、装置間の観音)つ三を保持し、
    一方前記装置の運転完了後、前記変形されたバッキング
    材を、加熱スルコとによシ原形に復元さぜることを特徴
    とする繰り返し使用を可能にする・ぐッキングイ、(。
  2. (2)前記・クツキング材を形状記憶合金の変態温度以
    上の温度において装置間を接続すべき管と管の間に配置
    しイ規械的な締め伺けに依り前記バッキング月を変形さ
    せて密着せしめ装置間の機密性を保持し、一方前記装置
    の運転完了後締め付けによる拘束を解放することによシ
    自発的に原形に復元させることを特徴とする繰シ返し使
    用を可能にするバッキング拐。
JP58073048A 1983-04-27 1983-04-27 繰り返し使用を可能にするパツキング材 Pending JPS59200869A (ja)

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