JPS59201351A - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
走査型電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59201351A JPS59201351A JP58076673A JP7667383A JPS59201351A JP S59201351 A JPS59201351 A JP S59201351A JP 58076673 A JP58076673 A JP 58076673A JP 7667383 A JP7667383 A JP 7667383A JP S59201351 A JPS59201351 A JP S59201351A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- scanning
- scan
- scanning signal
- type electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は走査型電子顕微鏡における走査装置に関する。
（ロ）従来技術
従来走査型電子顕微鏡は試料面の走査領域とＣＩ’（Ｔ
画面上の走査領域とは縦横の比率が同じに設定しである
ので、試料面とＣＲＴ画像とは相似の関係にある。通常
の試料面の観察にはこれが当然であるが、特殊な目的の
だめには、試料面とＣＲＴ画像とで走査領域の縦横比が
異っている方が好都合なことがある。例えばメッキ層内
の異物の検出と云うような場合で髪、厚さ１０μｍのメ
ッキ層の断面を長さ１ｍｍにわたって検査しようとする
場合、メッキ層内の異物は厚０．５μｍ程度であるので
、これを眼視検出できるようにするため画像上で２ｍｍ
、位になるようにしようとすると倍率は４０００倍とな
る。そうすると観察すべき長さは画像上では４ｍにもな
り、ＣＲＴ上で一度に観察所要時間を考えると、きわめ
て非能率な検査となる。
画面上の走査領域とは縦横の比率が同じに設定しである
ので、試料面とＣＲＴ画像とは相似の関係にある。通常
の試料面の観察にはこれが当然であるが、特殊な目的の
だめには、試料面とＣＲＴ画像とで走査領域の縦横比が
異っている方が好都合なことがある。例えばメッキ層内
の異物の検出と云うような場合で髪、厚さ１０μｍのメ
ッキ層の断面を長さ１ｍｍにわたって検査しようとする
場合、メッキ層内の異物は厚０．５μｍ程度であるので
、これを眼視検出できるようにするため画像上で２ｍｍ
、位になるようにしようとすると倍率は４０００倍とな
る。そうすると観察すべき長さは画像上では４ｍにもな
り、ＣＲＴ上で一度に観察所要時間を考えると、きわめ
て非能率な検査となる。
（ハ）目 的
本発明は上述したようなきわめて細長な領域の全面観察
に適した走査型電子顕微鏡の走査装置を提供しようとす
るものである。
に適した走査型電子顕微鏡の走査装置を提供しようとす
るものである。
（ニ）構 成
本発明はＣＲＴに印加するＸ方向及びＹ方向の走査信号
の振幅比率は一定とし、走査型電子顕微鏡本体に印加す
るＸ方向及びＹ方向の走査信号の振幅比率を可変とした
点に特徴を有する。
の振幅比率は一定とし、走査型電子顕微鏡本体に印加す
るＸ方向及びＹ方向の走査信号の振幅比率を可変とした
点に特徴を有する。
実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。１ばＸ方向走査信号
及びＹ方向走査信号発生器、２け走査型電子顕微鏡本体
、３はＣＲＴ表示装置である。走査信号発生器は走査型
電子顕微鏡本体２及びＣＲ７表示装置３に対して共通で
あり、その出力信号はＣＲＴ表示装置にはそのま＼、つ
まりＸ、 Ｙ両走査信号の振幅比率一定の関係で印加さ
れる。他方走査信号発生器ｌの出力信号は走査型電子顕
微鏡本体側にけＸ方向及びＹ方向の走査信号各別に独立
して増幅度が加減できる増幅器４，５を介して印加され
る。４Ｒ，５Ｒは増幅器３，４の増幅度を加減する可変
抵抗である。６は走査型電子顕微鏡本体２における電子
ビーム偏向コイルで増幅器３，４の出力が印加されてい
る。７は試料であり、電子ビームの照射を受けて試料面
から放出された２次電子等が検出器８によって検出され
、検出器日の出力が増幅器９によって増幅されてＣＲ７
表示装置３に輝度変調信号として印加される。
及びＹ方向走査信号発生器、２け走査型電子顕微鏡本体
、３はＣＲＴ表示装置である。走査信号発生器は走査型
電子顕微鏡本体２及びＣＲ７表示装置３に対して共通で
あり、その出力信号はＣＲＴ表示装置にはそのま＼、つ
まりＸ、 Ｙ両走査信号の振幅比率一定の関係で印加さ
れる。他方走査信号発生器ｌの出力信号は走査型電子顕
微鏡本体側にけＸ方向及びＹ方向の走査信号各別に独立
して増幅度が加減できる増幅器４，５を介して印加され
る。４Ｒ，５Ｒは増幅器３，４の増幅度を加減する可変
抵抗である。６は走査型電子顕微鏡本体２における電子
ビーム偏向コイルで増幅器３，４の出力が印加されてい
る。７は試料であり、電子ビームの照射を受けて試料面
から放出された２次電子等が検出器８によって検出され
、検出器日の出力が増幅器９によって増幅されてＣＲ７
表示装置３に輝度変調信号として印加される。
上述の構成において、第２図に示すようにＣＲ斤、
７表面装置３の画面Ｖの縦横比は一定している。
他方走査型電子顕微鏡本体２における試料７の表面の走
査範囲は増幅器４，５の増幅度の比率の選択によって第
２図８１． Ｓ２，８３等に示すように縦横比が自由
に変えられる。このようにして、試料面上の同一パター
ンＰが走査範囲Ｅ１１，８２、 Ｓ３に対応してＣＲ
Ｔ画面上では第２図Ａ、 Ｂ、Ｃに示すように縦横の
倍率が異った映像として構成される。
査範囲は増幅器４，５の増幅度の比率の選択によって第
２図８１． Ｓ２，８３等に示すように縦横比が自由
に変えられる。このようにして、試料面上の同一パター
ンＰが走査範囲Ｅ１１，８２、 Ｓ３に対応してＣＲ
Ｔ画面上では第２図Ａ、 Ｂ、Ｃに示すように縦横の
倍率が異った映像として構成される。
（へ）効 果
第３図Ａは鉄表面のクロムメッキ層の断面の従来の走査
型電子顕微鏡による映像で縦横の倍率は互に等しく２０
０倍で映像上のメッキ層の厚さは０．５ｍｍ（実厚２−
５１ｔ ｍ ）であり、この０．５ｍｍ幅の像の中に含
まれている異物の像を見つけることはきわめて困難であ
る。そこでやむなく、縦横倍率は２００倍のま＼で縦方
向（Ｙ方向）の倍率だけを４０００倍に高める（走査型
電子顕微鏡本体側ではＸ方向走査信号に比しＹ方向走査
信号の振幅を小さくする）ことにより、第３図Ｂに示す
長さ方向には２００倍のま＼だから、長さ１ｍｍ幅 のメッキ層断面の観察は一度に］−００ｍｍ〜の画像観
察を行う（実際には試料移動前後の画像の端をオーバー
ラツプさせるので、一度に観察される範囲は例えば図示
のように１．４０ ｍｍ程度である）として、２回の試
料移動で足り、メッキ層内の０゜５μｍ厚の異物が幅２
ｍｍの像となって検出できることになる。
型電子顕微鏡による映像で縦横の倍率は互に等しく２０
０倍で映像上のメッキ層の厚さは０．５ｍｍ（実厚２−
５１ｔ ｍ ）であり、この０．５ｍｍ幅の像の中に含
まれている異物の像を見つけることはきわめて困難であ
る。そこでやむなく、縦横倍率は２００倍のま＼で縦方
向（Ｙ方向）の倍率だけを４０００倍に高める（走査型
電子顕微鏡本体側ではＸ方向走査信号に比しＹ方向走査
信号の振幅を小さくする）ことにより、第３図Ｂに示す
長さ方向には２００倍のま＼だから、長さ１ｍｍ幅 のメッキ層断面の観察は一度に］−００ｍｍ〜の画像観
察を行う（実際には試料移動前後の画像の端をオーバー
ラツプさせるので、一度に観察される範囲は例えば図示
のように１．４０ ｍｍ程度である）として、２回の試
料移動で足り、メッキ層内の０゜５μｍ厚の異物が幅２
ｍｍの像となって検出できることになる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図
、第２図は本発明によるＣＲＴ画面と試料走査範囲と画
像の形の変化の関係を示す図、第３図Ａは従来例による
ＣＲＴ画面の一例の図、同Ｂは本発明によるＣＲＴ画面
の一例の図である。 ］−・・・Ｘ方Ｘ方向力Ｙ方向走査信号発生器・・・走
査型電子顕微鏡本体、ト・・ＣＲＴ表示装置、４・・・
Ｘ方向走査信号増幅器、５・・・Ｙ方向走査信号増幅器
。 代理人 弁理士 蒜 浩 介大２図 稗３図
、第２図は本発明によるＣＲＴ画面と試料走査範囲と画
像の形の変化の関係を示す図、第３図Ａは従来例による
ＣＲＴ画面の一例の図、同Ｂは本発明によるＣＲＴ画面
の一例の図である。 ］−・・・Ｘ方Ｘ方向力Ｙ方向走査信号発生器・・・走
査型電子顕微鏡本体、ト・・ＣＲＴ表示装置、４・・・
Ｘ方向走査信号増幅器、５・・・Ｙ方向走査信号増幅器
。 代理人 弁理士 蒜 浩 介大２図 稗３図
Claims (1)
- Ｘ方向走査信号及びＹ方向走査信号を夫々、互に独立に
増幅度が加減できる増幅器を通して走査型電子顕微鏡本
体側の試料照射用電子ビーム偏向コイルに印加するよう
にしたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076673A JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076673A JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201351A true JPS59201351A (ja) | 1984-11-14 |
| JPH0463505B2 JPH0463505B2 (ja) | 1992-10-12 |
Family
ID=13611940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58076673A Granted JPS59201351A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 走査型電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201351A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006138864A (ja) * | 2001-08-29 | 2006-06-01 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| JP2007003535A (ja) * | 2001-08-29 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| US7659508B2 (en) | 2001-08-29 | 2010-02-09 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of sample and scanning electron microscope |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341062A (en) * | 1977-05-12 | 1978-04-14 | Nippon Fuirutaa Kk | Purifying method and apparatus for drainage by microorganism |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP58076673A patent/JPS59201351A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5341062A (en) * | 1977-05-12 | 1978-04-14 | Nippon Fuirutaa Kk | Purifying method and apparatus for drainage by microorganism |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006138864A (ja) * | 2001-08-29 | 2006-06-01 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| JP2007003535A (ja) * | 2001-08-29 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
| US7659508B2 (en) | 2001-08-29 | 2010-02-09 | Hitachi, Ltd. | Method for measuring dimensions of sample and scanning electron microscope |
| US8080789B2 (en) | 2001-08-29 | 2011-12-20 | Hitachi, Ltd. | Sample dimension measuring method and scanning electron microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0463505B2 (ja) | 1992-10-12 |
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