JPS59202036A - 赤外線検出器 - Google Patents
赤外線検出器Info
- Publication number
- JPS59202036A JPS59202036A JP58076758A JP7675883A JPS59202036A JP S59202036 A JPS59202036 A JP S59202036A JP 58076758 A JP58076758 A JP 58076758A JP 7675883 A JP7675883 A JP 7675883A JP S59202036 A JPS59202036 A JP S59202036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared
- bodies
- vibrating
- transmitting section
- opposing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010041235 Snoring Diseases 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000010974 bronze Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0803—Arrangements for time-dependent attenuation of radiation signals
- G01J5/0805—Means for chopping radiation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イJ 産業上の利用分野
本発明は例えば被検知部の温度を赤外線にて検知するた
めの赤外線検出器に関する。
めの赤外線検出器に関する。
(口]従来技術
最近、第1図に示す如き赤外線検出器が提案されている
。
。
(1)は表、裏面電極(2)、(3)を有し、入射赤外
線変化量に応じて電荷を発生する、タンタル酸リチウム
(LiTa05J単結晶からなる焦電型赤外線検出体、
(4)は燐青銅などからなる金属支持台、(5)は導電
接着剤、(6)は上記赤外線検出体(1)を外来ノイズ
C二対してシールドするシールド体で、その前面≦二は
検出体(m:対向して開口(7)が穿設されている。
線変化量に応じて電荷を発生する、タンタル酸リチウム
(LiTa05J単結晶からなる焦電型赤外線検出体、
(4)は燐青銅などからなる金属支持台、(5)は導電
接着剤、(6)は上記赤外線検出体(1)を外来ノイズ
C二対してシールドするシールド体で、その前面≦二は
検出体(m:対向して開口(7)が穿設されている。
(8)は金属性のキャップ(9)及びヘッダ(10)か
らなる収納体で、該収納体内の上記ヘッダ<10)上に
二は上記支持台(4)が固定されている。(11)は上
記ヘッダ(10)≦二直接植設され、上記支持台(4)
及び接着剤(5)を介して上記裏面電極(3)に電気的
に連なるアース端子、(12は上記へラダ00)に絶縁
材を介して植設され、上記表面電極(2)に電気的g二
連なり、上記検出体(11に発生した電荷を外部へ取出
すための信号端子、a9は上記検出体(1)に表面電極
(2)側から赤外線を入射せしめるべく上記キャップ(
9)の前面l二穿設された開口、0釘ま該開口を閉塞す
る赤外線透過フィルタである。
らなる収納体で、該収納体内の上記ヘッダ<10)上に
二は上記支持台(4)が固定されている。(11)は上
記ヘッダ(10)≦二直接植設され、上記支持台(4)
及び接着剤(5)を介して上記裏面電極(3)に電気的
に連なるアース端子、(12は上記へラダ00)に絶縁
材を介して植設され、上記表面電極(2)に電気的g二
連なり、上記検出体(11に発生した電荷を外部へ取出
すための信号端子、a9は上記検出体(1)に表面電極
(2)側から赤外線を入射せしめるべく上記キャップ(
9)の前面l二穿設された開口、0釘ま該開口を閉塞す
る赤外線透過フィルタである。
(15)は上記収納体(8)内C配置さ几、上記開口α
Jを通過する収納体(8)外の被検知部からの赤外線を
断続するための断続手段である。該断続手段(二おいて
、(L6)、(17)は上記検出体(1)への赤外線の
入射域、即ち上記検出体(1)と開口住粉との間に互い
に平行C二して配置された平面状の第1、第2対向体で
ある。
Jを通過する収納体(8)外の被検知部からの赤外線を
断続するための断続手段である。該断続手段(二おいて
、(L6)、(17)は上記検出体(1)への赤外線の
入射域、即ち上記検出体(1)と開口住粉との間に互い
に平行C二して配置された平面状の第1、第2対向体で
ある。
斯る第1、第2対向体(L6)、(I7)は夫々第2図
a及びbに示す如く、アルミニウムなどの赤外線非透過
材料からなり紙面l二はぼ平行な方向(第1図1二て扇
形線状に延設された複数の第1亦外線非透過部αa、吐
・・・及び第2赤外線非透過部(11、C1l・・・が
形成され、そして斯る第1赤外線非透過部叫、αa・・
・の各々の間及び第2赤外線非透過部旧e、 C19−
・・の各々の間には夫々第1赤外線透過部(20)、(
201・・・及び第2赤外線透過部(211%(211
・・・が形成されている。上記非透過部αg、(181
・・・及び(19、C9・・・と上記透過部(20)、
t2G・・・及び(21)、 (211・・・は共に同
一寸法形状であり、幅Wl、W2は夫々100/Im、
120.amである。
a及びbに示す如く、アルミニウムなどの赤外線非透過
材料からなり紙面l二はぼ平行な方向(第1図1二て扇
形線状に延設された複数の第1亦外線非透過部αa、吐
・・・及び第2赤外線非透過部(11、C1l・・・が
形成され、そして斯る第1赤外線非透過部叫、αa・・
・の各々の間及び第2赤外線非透過部旧e、 C19−
・・の各々の間には夫々第1赤外線透過部(20)、(
201・・・及び第2赤外線透過部(211%(211
・・・が形成されている。上記非透過部αg、(181
・・・及び(19、C9・・・と上記透過部(20)、
t2G・・・及び(21)、 (211・・・は共に同
一寸法形状であり、幅Wl、W2は夫々100/Im、
120.amである。
(22)は上記第1対向体(L61を振動せしめるため
の第1振動体で、該振動体の後方(第1図)には第3図
1二示す如く上記第2対向体αのを振動せしめるための
第2振動体(ハ)が配置されている。斯る第1、第2振
動体(2り、(ハ)の構成は次の通りである。即ち、燐
青銅、ステンレスなどからなる導電体が中央電極C2勾
となり、斯る電極(24)の両側i二は、チタン酸バリ
ウム、ジルコン酸チタン酸鉛などからなり分極された圧
電体(ホ)が、その分極方向(矢印PJが同一となるよ
うl二装置され、そして上記圧電体(2最の片側表面(
二は銀などからなる表面電極(ハ)が形成されている。
の第1振動体で、該振動体の後方(第1図)には第3図
1二示す如く上記第2対向体αのを振動せしめるための
第2振動体(ハ)が配置されている。斯る第1、第2振
動体(2り、(ハ)の構成は次の通りである。即ち、燐
青銅、ステンレスなどからなる導電体が中央電極C2勾
となり、斯る電極(24)の両側i二は、チタン酸バリ
ウム、ジルコン酸チタン酸鉛などからなり分極された圧
電体(ホ)が、その分極方向(矢印PJが同一となるよ
うl二装置され、そして上記圧電体(2最の片側表面(
二は銀などからなる表面電極(ハ)が形成されている。
上記第1、第2対向体06)、αηは夫々第1、第2振
動体(22+、(23+の右端に絶縁性の第1、第2基
台0η、(2紛を介して取着されている。
動体(22+、(23+の右端に絶縁性の第1、第2基
台0η、(2紛を介して取着されている。
(29)、(7)は夫々上記ヘッダ(10)上に二絶縁
層c1υを介して配置され、上記第1、第2振動体(2
4、(ハ)を固定支持し、各振動体(22、關の表面電
極(2e、(2E9と電気的(二連なる金属性の第1、
第2固定台、□□□、田は夫々上記ヘッダaαに絶縁材
を介して植設された第1、第2振動端子で、該第1振動
端子には上記第1振動体(221の中央電極t2(イ)
及び上記第2固定台−が接続され、上記第2振動端子1
33には上記第1固定台C29)及び上記第2振動体の
の中央電極(ハ)が接続されている。
層c1υを介して配置され、上記第1、第2振動体(2
4、(ハ)を固定支持し、各振動体(22、關の表面電
極(2e、(2E9と電気的(二連なる金属性の第1、
第2固定台、□□□、田は夫々上記ヘッダaαに絶縁材
を介して植設された第1、第2振動端子で、該第1振動
端子には上記第1振動体(221の中央電極t2(イ)
及び上記第2固定台−が接続され、上記第2振動端子1
33には上記第1固定台C29)及び上記第2振動体の
の中央電極(ハ)が接続されている。
而して、上記第1振動端子に)には−20Vの一定電圧
が印加され、上記第2振動端子時には+10Vの電圧が
交互に周期的に印加される。
が印加され、上記第2振動端子時には+10Vの電圧が
交互に周期的に印加される。
斯る+10Vの電圧の印加時Cは、上記第1振動体(2
21においては外側の圧電体(2■が縮むと共に内側の
圧電体(2四が伸び、従って第1振動体(2鼾マ、矢印
a方向≦二撓む。又、上記$2振動体(Zii二おいて
は内側の圧電体(ハ)が伸びると共に外側の圧電体12
5)が縮み、従って第2振動体(ハ)は矢印す方向C撓
む。
21においては外側の圧電体(2■が縮むと共に内側の
圧電体(2四が伸び、従って第1振動体(2鼾マ、矢印
a方向≦二撓む。又、上記$2振動体(Zii二おいて
は内側の圧電体(ハ)が伸びると共に外側の圧電体12
5)が縮み、従って第2振動体(ハ)は矢印す方向C撓
む。
一方、第2振動端子に)に−1ovの電圧が印加される
と、第1、第2振動体(2力、(ハ)は夫々上述とは逆
にす、a方向に撓む。
と、第1、第2振動体(2力、(ハ)は夫々上述とは逆
にす、a方向に撓む。
これにより、上記第1、第2振動体(2り、(ハ)は互
いに逆方向に周期的に振動し、斯る振動に基づいて、第
1対向体aeの第1赤外線透過部(2o)、翰・・・及
び第1赤外線非透過部(181,(1s・・・と第2対
向体(17)の第2赤外線非透過部(L■、翰・・・及
び第2赤外線透過部(21)、(7!D・・・が夫々重
畳する状態と、赤外線透過部(2U)、(2■・・・、
圓、(21)・・・どうし及び赤外線非透過部(2)、
αa・・・、α■、0・・・どうしが重畳する状態とが
、交互C繰返され、即ち開口(13を通過した外部の被
検知部からの赤外線が検出体(111=断続的に入射し
、従って検出体(1)は入射赤外線量が変化し、被検知
部の温度に応じた電荷を発生する。
いに逆方向に周期的に振動し、斯る振動に基づいて、第
1対向体aeの第1赤外線透過部(2o)、翰・・・及
び第1赤外線非透過部(181,(1s・・・と第2対
向体(17)の第2赤外線非透過部(L■、翰・・・及
び第2赤外線透過部(21)、(7!D・・・が夫々重
畳する状態と、赤外線透過部(2U)、(2■・・・、
圓、(21)・・・どうし及び赤外線非透過部(2)、
αa・・・、α■、0・・・どうしが重畳する状態とが
、交互C繰返され、即ち開口(13を通過した外部の被
検知部からの赤外線が検出体(111=断続的に入射し
、従って検出体(1)は入射赤外線量が変化し、被検知
部の温度に応じた電荷を発生する。
ところで、上記第1、第2振動体(221,Q:4t−
x中央電極(2狛二対して完全に対称構造となるのが最
も好ましい。即ち、この様な構造の場合、中央電極04
)両側の夫々の構造の平均熱膨張係数が同一となり、こ
れにより周囲温度が変化しても斯る変化に基づいて第1
、第2振動体の、(2(至)が同様【二伸縮するから不
所望に撓むことがない。そして、この様な撓みのない状
態においては、第1、第2振動体(22+、困の振動に
際し上述の2つの重畳が確実C二繰返さ几て、赤外線断
続が確実に行なわれ、これにより検出体(1)から被検
知部の温度に応じた所望の電荷が発生され、精度良い温
度測定が行なえるのである。
x中央電極(2狛二対して完全に対称構造となるのが最
も好ましい。即ち、この様な構造の場合、中央電極04
)両側の夫々の構造の平均熱膨張係数が同一となり、こ
れにより周囲温度が変化しても斯る変化に基づいて第1
、第2振動体の、(2(至)が同様【二伸縮するから不
所望に撓むことがない。そして、この様な撓みのない状
態においては、第1、第2振動体(22+、困の振動に
際し上述の2つの重畳が確実C二繰返さ几て、赤外線断
続が確実に行なわれ、これにより検出体(1)から被検
知部の温度に応じた所望の電荷が発生され、精度良い温
度測定が行なえるのである。
しかるに、上述の如き完全な対称構造を得ることは実際
甚だ困難であり、例えば中央電極04)両側の圧電体C
251及び表面電極(26)の厚みを積置良く一致させ
ることが困難であり、すると中央電極(2)両側の構造
の平均熱膨張係数が異なることとなり、この場合法1、
第2振動体器、(ハ)は周囲温度の変化に基づいて不所
望に撓んでしまう。
甚だ困難であり、例えば中央電極04)両側の圧電体C
251及び表面電極(26)の厚みを積置良く一致させ
ることが困難であり、すると中央電極(2)両側の構造
の平均熱膨張係数が異なることとなり、この場合法1、
第2振動体器、(ハ)は周囲温度の変化に基づいて不所
望に撓んでしまう。
而して、上記赤外線検出器(二おいては、第1、第2振
動体(22)、(23)が周囲温度変化g:より撓んで
も、第1、第2対向体(16)、(17)の相互関係が
上述の如き撓みがない場合と較べてあまり変わらないよ
うに、第1、第2振動体(2L (23+は周囲温度変
化C伴なって同一方向a又はbに同程度に撓むようなも
のが選択されている。しかし乍ら、周囲温度変化l二よ
る第1、第2振動体(22+、(23)の撓み5二おい
て、第1、第2対向体u6)、0ηの相互関係は実際は
第4図に詳細に示す如くずれる。
動体(22)、(23)が周囲温度変化g:より撓んで
も、第1、第2対向体(16)、(17)の相互関係が
上述の如き撓みがない場合と較べてあまり変わらないよ
うに、第1、第2振動体(2L (23+は周囲温度変
化C伴なって同一方向a又はbに同程度に撓むようなも
のが選択されている。しかし乍ら、周囲温度変化l二よ
る第1、第2振動体(22+、(23)の撓み5二おい
て、第1、第2対向体u6)、0ηの相互関係は実際は
第4図に詳細に示す如くずれる。
即ち、第1、第2振動体の、Q暗よ夫々その支点として
の第1、第2固定台I29)、例がヘッダα0)上で離
間しているためf二、第1、第2振動体az、@が周囲
温度変化(二より例えばa方向C二実線の位置から破線
の位置に撓むと、第1、第2対向体(1ta、anはそ
の中央線a、dを参照すると寸法lだけずれてしまう。
の第1、第2固定台I29)、例がヘッダα0)上で離
間しているためf二、第1、第2振動体az、@が周囲
温度変化(二より例えばa方向C二実線の位置から破線
の位置に撓むと、第1、第2対向体(1ta、anはそ
の中央線a、dを参照すると寸法lだけずれてしまう。
ここに、斯るずれが生じた状態においては、第1 、m
2 振動体(27J、(ハ)の振動≦二際し、上述の
如き2つの重畳が確実に二行なわれないので、赤外線断
続が確実に行なわれず、これ2二より検出体(1)から
被検知部の温度に応じた所望とする電荷が発生されず、
精度良い温度測定が行なえない。
2 振動体(27J、(ハ)の振動≦二際し、上述の
如き2つの重畳が確実に二行なわれないので、赤外線断
続が確実に行なわれず、これ2二より検出体(1)から
被検知部の温度に応じた所望とする電荷が発生されず、
精度良い温度測定が行なえない。
し1 発明の目的
本発明は、赤外線断続が確実≦二行なわれるように二し
て、例えば温度測定においては斯る温度測定が精度良く
行なえる様C二することを目的とする。
て、例えば温度測定においては斯る温度測定が精度良く
行なえる様C二することを目的とする。
に)発明の構成
本発明赤外線検出器は、上記目的を達成すべく、入射赤
外線変化量に応じて電荷を発生する赤外線検出体、該検
出体への赤外線入射域に配置され赤外線透過部及び赤外
線非透過部を共に有する第1、第2対向体、該第1対向
体の赤外線透過部及び赤外線非透過部と上記第2対向体
の赤外線非透過部及び赤外線透過部が夫々重畳する状態
と、上記第1、第2対向体の赤外線透過部どうし及び赤
外線非透過部どうしが重畳する状態とを交互に繰返せし
めるべく、上記第1、第2対向体を各々振動せしめる第
1、第2振動体を備え、該第1、第2振動体に二おける
各々の振動方向に垂直な面が同一平面上(二位置するよ
うに、上記第1、第2振動体を配置したことを特徴とす
る。
外線変化量に応じて電荷を発生する赤外線検出体、該検
出体への赤外線入射域に配置され赤外線透過部及び赤外
線非透過部を共に有する第1、第2対向体、該第1対向
体の赤外線透過部及び赤外線非透過部と上記第2対向体
の赤外線非透過部及び赤外線透過部が夫々重畳する状態
と、上記第1、第2対向体の赤外線透過部どうし及び赤
外線非透過部どうしが重畳する状態とを交互に繰返せし
めるべく、上記第1、第2対向体を各々振動せしめる第
1、第2振動体を備え、該第1、第2振動体に二おける
各々の振動方向に垂直な面が同一平面上(二位置するよ
うに、上記第1、第2振動体を配置したことを特徴とす
る。
(ホ)実施例
以1本発明実施例赤外線検出器を第5図及び第6図に基
づいて説明する。尚、従来例と同一部分には同一符号を
記してその説明を省略する。
づいて説明する。尚、従来例と同一部分には同一符号を
記してその説明を省略する。
(至)、(至)は夫々右側の下端及び上端c二取付けら
れた第1、第2対向体ル、卸を周期的C二振動せしめる
ための第1、第2振動体で、該第1、第2−振動体はそ
の圧′心体輯ωが各々p、p′方向に分極されている以
外は従来のものと同様である。卿は、上記第1、第2振
動体例、(至)における各々の振動方向a、bl二垂直
な面、A、Bが同一平面上g二位置するようC;、上記
第1、第2振動体■、田を固定支持するための金属性の
固定台であり、上記第1振動端子柊には第1、第2振動
体(ロ)、c’sの中央電極(財)が接続され、上記?
J&2撒動端子□□□には上記固定台(7)が接続され
ている。
れた第1、第2対向体ル、卸を周期的C二振動せしめる
ための第1、第2振動体で、該第1、第2−振動体はそ
の圧′心体輯ωが各々p、p′方向に分極されている以
外は従来のものと同様である。卿は、上記第1、第2振
動体例、(至)における各々の振動方向a、bl二垂直
な面、A、Bが同一平面上g二位置するようC;、上記
第1、第2振動体■、田を固定支持するための金属性の
固定台であり、上記第1振動端子柊には第1、第2振動
体(ロ)、c’sの中央電極(財)が接続され、上記?
J&2撒動端子□□□には上記固定台(7)が接続され
ている。
而して、$1倣動端子図【二は一20Vの一定電圧が印
加され、上記第2伽動端子■Cは±10Vの電圧が交互
に印加さ肚る。
加され、上記第2伽動端子■Cは±10Vの電圧が交互
に印加さ肚る。
斯る+IOVの電圧印加時(二は、第1、第2振動体図
、(至)は各々a、b方向に撓み、−10Vの電圧印加
時には、第1、第2振動体■、(至)は各々b、a方向
に撓み、これにより第1、第2振動体図、(至)は従来
と同様【二周期的に振動し、赤外線断続が行なわれる。
、(至)は各々a、b方向に撓み、−10Vの電圧印加
時には、第1、第2振動体■、(至)は各々b、a方向
に撓み、これにより第1、第2振動体図、(至)は従来
と同様【二周期的に振動し、赤外線断続が行なわれる。
ここC二、第1、第2振動体図、C伺は夫々その支点が
固定合一にて同一直線上に存在し縦に重なっているから
、第1、第2倣動体G転□□□が周囲fA度変化により
婉んでも、それにより第1、第2対向体α6ノ、ul)
の両者間にずれが生じることはない。
固定合一にて同一直線上に存在し縦に重なっているから
、第1、第2倣動体G転□□□が周囲fA度変化により
婉んでも、それにより第1、第2対向体α6ノ、ul)
の両者間にずれが生じることはない。
従って、斯る撓みが生じた状態において、第1、第2振
動体例、(至)の振動に際し、確実な赤外線断続が行な
われ、検出体(1)から被検知部の温度に応じた所望と
する電荷が発生される。
動体例、(至)の振動に際し、確実な赤外線断続が行な
われ、検出体(1)から被検知部の温度に応じた所望と
する電荷が発生される。
(へ)発明の効果
以上の説明から明らかな如く、本発明(=よれば、周囲
温度変化が生じても赤外線断続を確実に行なうことがで
きるから、例えば温度測定においては、それを精度良く
行なうことができる。
温度変化が生じても赤外線断続を確実に行なうことがで
きるから、例えば温度測定においては、それを精度良く
行なうことができる。
第1図は最近提案された赤外線検出器の断面図、$2図
a、bは夫々同検出器の第1、第2対向体の平面図、第
3図は同検出器を第1図において矢印■方向から見た要
部平面図、第4図は同検出器士 6図は同検出器を矢印■方向から見た要部棲面図である
。 (11・・・焦電型赤外線検出体、 (Le、αD・・
・第1、第2対向体、 (ロ)、(至)・・・第1、第
2振動体。 0θ473 ライト動作制御目y8.−
a、bは夫々同検出器の第1、第2対向体の平面図、第
3図は同検出器を第1図において矢印■方向から見た要
部平面図、第4図は同検出器士 6図は同検出器を矢印■方向から見た要部棲面図である
。 (11・・・焦電型赤外線検出体、 (Le、αD・・
・第1、第2対向体、 (ロ)、(至)・・・第1、第
2振動体。 0θ473 ライト動作制御目y8.−
Claims (1)
- (1) 入射赤外線変化量に応じて電荷を発生する赤
外線検出体、該検出体への赤外線入射域に配置され赤外
線透過部及び赤外線非透過部を共に有する第1、第2対
向体、該第1対向体の赤外線透過部及び赤外線非透過部
と上記第2対向体の赤外線非透過部及び赤外線透過部が
夫々重畳する状態と、上記第1、第2対向体の赤外線透
過部どうし及び赤外線非透過部どうしが重畳する状態と
を交互g二繰返せしめるべく、上記第1、第2対向体を
各々振動せしめる第1、第2振動体を備え、該第1、第
2振動体における各々の振動方向g二垂直な面が同一平
面上に位置するように二、上記第1、第2振動体を配置
したことを特徴とする赤外線検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076758A JPS59202036A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 赤外線検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58076758A JPS59202036A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 赤外線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59202036A true JPS59202036A (ja) | 1984-11-15 |
| JPH0425485B2 JPH0425485B2 (ja) | 1992-05-01 |
Family
ID=13614483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58076758A Granted JPS59202036A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 赤外線検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59202036A (ja) |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP58076758A patent/JPS59202036A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0425485B2 (ja) | 1992-05-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4288071B2 (ja) | ヨーレートセンサ | |
| US5359893A (en) | Multi-axes gyroscope | |
| KR20030007537A (ko) | 회전 속도 센서 | |
| US4485305A (en) | Infrared detector with vibrating chopper | |
| EP2947422B1 (en) | Angular velocity sensor | |
| US6880399B1 (en) | Angular velocity sensor | |
| US3206986A (en) | Apparatus for sensing selected movements of a body | |
| KR100287481B1 (ko) | 진동자이로스코프 | |
| JPH0238893B2 (ja) | ||
| US5447066A (en) | Angular velocity sensor having a tuning fork construction and its method of manufacture | |
| USRE30506E (en) | Tuning fork-type quartz crystal oscillator and method for stabilizing the vibration frequency thereof | |
| JPS59202036A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPS58129226A (ja) | 赤外線検出器 | |
| JPH0334668Y2 (ja) | ||
| JPS622246B2 (ja) | ||
| JP3135721B2 (ja) | 励振動型光検出角速度センサ | |
| JPS62188975A (ja) | 圧電体角速度センサ− | |
| US3577101A (en) | Electromechanical torsional oscillator | |
| JPH0230740Y2 (ja) | ||
| JPH0127069Y2 (ja) | ||
| JPH051793Y2 (ja) | ||
| JPH0156367B2 (ja) | ||
| JPH0216858B2 (ja) | ||
| JPS62228111A (ja) | 圧電体角速度センサ− | |
| JPH10300476A (ja) | 角速度検出装置 |