JPS5920657U - イオンレ−ザ装置 - Google Patents

イオンレ−ザ装置

Info

Publication number
JPS5920657U
JPS5920657U JP11501382U JP11501382U JPS5920657U JP S5920657 U JPS5920657 U JP S5920657U JP 11501382 U JP11501382 U JP 11501382U JP 11501382 U JP11501382 U JP 11501382U JP S5920657 U JPS5920657 U JP S5920657U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas pressure
laser
detection element
pressure detection
tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11501382U
Other languages
English (en)
Inventor
牧野　紀元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP11501382U priority Critical patent/JPS5920657U/ja
Publication of JPS5920657U publication Critical patent/JPS5920657U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、本考案の一実施例のレーザ管とその付属装置
の構成略図、第２図は他の実施例を示す図である。 １０・・・レーザ管、１１・・・カソード、１２・・・
アノード、１３・・・レーザ細管、１４．１４’・・・
カソード端子、１５．１６・・・冷却水、２０・・・補
助ガスボンベ、２１・・・電磁弁、３０・・・ガス圧検
出素子、３１・・・バルブ、３２・・・多孔質部材（３
０′・・・従来のガス圧検出素子）、５０・・・レーザ
電源、６０゜６１・・・光共振器、７０・・・ブリッジ
回路、７１・・・ガス補給回路、３２′・・・細管部材
、３１・・・バルブ、３０・・・ガス圧検出素子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電磁弁によって仕切られた補助ガスボンベと管内ガス圧
    検出素子を備えたレーザ管と、該ガス圧検出素子により
    管内ガス圧の変化に応じて前記の電磁弁を開閉させるガ
    ス補給回路と、前記のレーザ管を駆動するレーザ電源を
    少なくとも有し、前記のガス圧検出素子が、前記のレー
    ザ管内部で別に設けたバルブ内に封入され、しかも該バ
    ルブの少なくとも一部が多孔性部材あるいは細管部材で
    構成されていることを特徴とするイオンレーザ装置。
JP11501382U 1982-07-29 1982-07-29 イオンレ−ザ装置 Pending JPS5920657U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11501382U JPS5920657U (ja) 1982-07-29 1982-07-29 イオンレ−ザ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11501382U JPS5920657U (ja) 1982-07-29 1982-07-29 イオンレ−ザ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5920657U true JPS5920657U (ja) 1984-02-08

Family

ID=30265643

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11501382U Pending JPS5920657U (ja) 1982-07-29 1982-07-29 イオンレ−ザ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5920657U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5958356U (ja) 隔膜式酸素電極
JPS58195463U (ja) イオンレ−ザ装置
JPS58117766U (ja) スパツタリング装置
JPS6013740U (ja) 試料保持装置
JPS58175484U (ja) 放射性ガス濃度測定装置
JPS58129659U (ja) 気体レ−ザ−管のシ−ル構造
JPS6073164U (ja) 試料交換装置
JPS60148812U (ja) 水位検出装置
JPS5837163U (ja) ガスレ−ザ管
JPS5811266U (ja) ガスレ−ザ管
JPS5946303U (ja) リ−キ−ライトガイド
JPS58165639U (ja) ダイヤフラム振動形圧力計
JPS6024048U (ja) 進行波管
JPS5929847U (ja) 蒸発冷却ダミ−ボイラ
JPS609245U (ja) 固体レ−ザ発振装置
JPS58193651U (ja) ガスレ−ザ管
JPS5951445U (ja) 露光用光源装置
JPS59139958U (ja) 液循環式電池
JPS58114865U (ja) ガスエンジンの吸気冷却装置
JPS58155751U (ja) 平板形低圧放電ランプ
JPS6039016U (ja) 撮影装置
JPS5978607U (ja) 電磁石の冷却装置
JPS5949352U (ja) 低圧水銀灯
JPS5931154U (ja) 光源装置
JPS6071158U (ja) イオンレ−ザ発振器