JPS6013740U - 試料保持装置 - Google Patents

試料保持装置

Info

Publication number
JPS6013740U
JPS6013740U JP10496483U JP10496483U JPS6013740U JP S6013740 U JPS6013740 U JP S6013740U JP 10496483 U JP10496483 U JP 10496483U JP 10496483 U JP10496483 U JP 10496483U JP S6013740 U JPS6013740 U JP S6013740U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
holding device
sample holding
sample holder
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10496483U
Other languages
English (en)
Inventor
小美濃　一男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP10496483U priority Critical patent/JPS6013740U/ja
Publication of JPS6013740U publication Critical patent/JPS6013740U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来装置を説明するための図であり、第２図は
本考案の一実施例装置の概略図、第３図は第２図の一実
施例装置をＡ−Ａ’面より見た平面略図である。 １：試料ホルダー、２：絶縁物質、３：電極、４：試料
、５：電源、１０：真空管、１１：電子照射系、１２：
排気管、１３：調整弁、１５：操作弁、１４゜１６：排
気ポンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料ホルダー上に載置される試料を荷電ビームで衝撃す
    る装置において、試料の下に絶縁体を介して電極材を配
    置し該試料と電極材との間に働くクー［１ンカにより前
    記試料ホルダー上に試料を固定する手段と、試料と絶縁
    体の間に形成される空間を排気して得られる吸引力によ
    り前記試料ホルタ−上に試料を固定する手段を設けたこ
    とを特徴とする試料保持装置。
JP10496483U 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置 Pending JPS6013740U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10496483U JPS6013740U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10496483U JPS6013740U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6013740U true JPS6013740U (ja) 1985-01-30

Family

ID=30246241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10496483U Pending JPS6013740U (ja) 1983-07-06 1983-07-06 試料保持装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6013740U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6094247A (ja) * 1983-10-31 1985-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 静電チヤツク
JPH0267745A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Canon Inc ウエハ保持方法
JP2011181940A (ja) * 2011-04-13 2011-09-15 Ulvac Japan Ltd 吸着装置の製造方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609626A (ja) * 1983-06-30 1985-01-18 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション ピンチャック及びその製法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609626A (ja) * 1983-06-30 1985-01-18 インタ−ナショナル　ビジネス　マシ−ンズ　コ−ポレ−ション ピンチャック及びその製法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6094247A (ja) * 1983-10-31 1985-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 静電チヤツク
JPH0267745A (ja) * 1988-09-02 1990-03-07 Canon Inc ウエハ保持方法
JP2011181940A (ja) * 2011-04-13 2011-09-15 Ulvac Japan Ltd 吸着装置の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6013740U (ja) 試料保持装置
JPS58110956U (ja) 荷電粒子照射装置
JPS59107473U (ja) イオンビ−ム照射装置
JPS6119774U (ja) 走査電子顕微鏡を用いた電位測定装置
JPS5928949U (ja) 陰極線管の製造装置
JPS58168057U (ja) 陰極線管の電子銃封止装置
JPS5811900U (ja) Ｘ線装置
JPH03106734U (ja)
JPH03103550U (ja)
JPS6078564U (ja) 電子顕微鏡等の排気装置
JPS6071664U (ja) カ−ボン真空蒸着装置
JPS60184256U (ja) イオン衝撃銃
JPS5945849U (ja) イオン注入装置
JPS60184257U (ja) イオン衝撃銃
JPS58172434U (ja) イオン化成膜装置
JPS60185656U (ja) 高周波スパツタ装置
JPS5948738U (ja) イオン源
JPS58170762U (ja) イオン化用エミツタ
JPS59161082U (ja) 半導体装置の検査治具
JPH0391959U (ja)
JPS59125058U (ja) 荷電粒子線装置における二次電子検出装置
JPS58144751U (ja) イオン源のガス導入管
JPS60138253U (ja) 電子線装置
JPS5983971U (ja) イオンプレ−テイング装置
JPS5917554U (ja) イオン照射装置