JPS59208005A - 合金微粉末の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、合金微粉末の製造り法に係り、史に詳■には
金属蒸気を急冷させることににり粒径数百Ａ以下の合金
微粉末を製造づる方法に係る。

焼結材料や粒子分散複合材料の分散材としＣ使用される
純金属や合金の微粉末は、一般に固体金属を機械的に粉
砕する方法や金属溶湯を噴霧又は低温の他の物体に衝突
させる方法などにＪ、り製造されているが、これらの方
法により製造される微粉末の粒径は１０〜５００μｍ程
度ぐある。

一般に、金属微粉末の粒径が小さりれば小ざいほど焼結
体の密ｆ夷が高くなり、また粒子分散複合材料の機械的
性質が向−Ｌづることから、従来より粒径の小さい金属
微粉末を製造りる種々の試みが精ツノ的に行われている
。例えば金属は真空中にて加熱されると原子となって蒸
発し、低温物体の表面上に於て冷却されることにより固
体となる。この現象は真空蒸着として知られており、こ
の現象を利用して金属微粉末を製造する試みが行われで
いる。また真空雰囲気の代わりに１／１０〜１／１００
気圧の不活性ガス中にて金属を蒸発させると、金属蒸気
は不活性ガスにより冷却されて過飽和状態どなり、凝縮
して液相又は同相の微粉末となる。この方法はガス蒸発
法と呼ばれ、この方法により金属微粉末が実験的に少量
生産されている。

これらの方法によれば、粒径１μｍ以下の金属微粉末を
製造りることができるが、これらの方法は何れも緩やか
な熱光−凝縮現象を利用するものである／ｊめ、得られ
る金属微粉末の粒径のばらつきが大きく、まＩ、：生産
性が著しく低い。これらの方法に於て生産性を上げるた
めには、発生した金属蒸気を金属蒸気室より速やかに且
連続的に取出し冷却さける必要があり、そのため金属蒸
気をプラズマ気流に乗せ（金属蒸気室より取出し水冷銅
板に衝突させる方法や金属蒸気を滴下するオイル中に吸
収させる方法などが捉案されているが、前者の方法に於
ては高価且大掛りな設備が必要であり、後者の方法に於
ては吸収効率が必ずしも充分でないなどの叩出から、こ
れらの方法によっては粒径の整った金属微粉末を能率良
く低置に大量生産づることは困難である。

本願発明者等は、従来の金属微粉末の製造Ｉｊ法に於け
る上）ボの如き種々の問題に鑑み、発生した金属蒸気を
速やかに■連続的にノズルに通して録冷させることによ
り生産性を向上させることを検問した。当初通常のノズ
ル（先細ノズル）を用いて金属微粉末の実験的製造を行
い、１時間当り′１００ｏの金属微粉末を製造づること
に成功した。。

本願発明者等は更に鋭意検討を続けた結果、冷７１１用
ノズルどしてロケットの推進装置に使用されている末広
ノズル（ラバール管とも呼ばれる）を使用づることによ
り、生産性を一層向上さけることができ、また粒径の整
った金属微粉末を能率良く大川生産し得ることを見出し
た。

また本願発明者等は、金属蒸気をノズルによる自己断熱
膨張により急冷さける方法に於Ｃ１金属蒸気とアルゴン
やヘリウムの如き不活性ガスとを混合し、混合ガスをノ
ズルに通すことにより急冷させれば、不活性ガスがキャ
リヤガスとしてｌ幾ｒｌｔｉし、金属溶湯の液面より発
生した金に、蒸気が不活性ガスによって一層速やかにノ
ズルに導かれ、また金属蒸気同士の集合による成長が抑
制されることにより、より一層粒径の整った金属微粉末
をより一層能率良く製造覆ることができ、更にはノズル
前後の圧力比を容易に制ｏｒ＋することができるので混
合ガスの冷ｌＪ１速１良及び金属微粉末の粒径を容易に
制御し冑ることを見出した。

かくして本願発明者等が行った種々の実験的研究の結果
によれば、粒径数百Ａ以下の金属微粉末を能率良（大川
生産づることができるが、一般に金属は二つ以上の元素
からなる合金どして使用されることが多く、金属微粉末
についても純金属の微粉末よりも合金微粉末が好ましく
、実際の需要も合金微粉末の方がはるかに大きい。第１
図は各種金属の蒸気圧を示しており、この第１図より金
属の蒸気圧は（の種類により大幅に異なることが解る。

例えば１８００℃に於１〕るＡｌ、Ｃｌ、Ｎｉの蒸気圧
（よイれぞれ１２　Ｔｏｒｒ　、、　５　、６　Ｔｏｒ
ｒ、（Ｊ　、　３　ＴＯｒｒである。また金属の沸点も
その種類により大幅に異なる。従って成る組成のＡｌ−
Ｎｉ合金を減圧下にて１８００°Ｃｔ−二加熱りれｔ、
１゛、殆めのうらはアルミニウム蒸気のみが光／１し、
暫くして後に初めてニッケル蒸気が発生づることどイ「
る。

従って所望の組成の合金を加熱することによりそれぞれ
の金属蒸気を発生させてｂ、処理量始時より処１！［！
終了時に至るまで均一な組成の合金微粉末を製造するこ
とは困難であり、肯られる合金微粉末の組成はそれを構
成づ−る金属の蒸気圧の比率により決定され、合金微粉
末の用途に応じて・その組成を所望の比率に設定するこ
とが困難１である。

本願発明者等（よこの点に鑑み種々の実験的研究を行っ
た結果、一つの金属蒸気と不活性ガスとを混合して第一
の混合ガスを形成し、該第−の聞合ガスを第一のノズル
に通して断熱膨張さけることにより急冷させ、これと池
の〜つの金属蒸気とを１１１合して第二の混合ガスを形
成し、該第二の混合ガスを第二のノズルに通して断熱膨
張させることにより急冷させれば、所望の且均−な組成
の合金微粉末を容易に製造し得ることを見出した。

一般に、合金微粉末は微細になればなるほど質量に比し
て表面積が大きくなってその活性が強くなり、合金微粉
末を減圧下より大気中に取出すと常温Ｆに於ても発火り
ることがしばしば観察される。このため従来より合金微
粉末を大気中に取出づ前に制御されｌ〔条件下にて合金
微粉末の表面に酸化皮膜を形成させる後処理が行われて
おり、従って従来の合金微粉末の製造方法に於ては合金
微粉末の品質の低Ｉ；やコストアップが避番）られない
。

本願発明者署はこの点についても種々の実験的研究を行
った結果、ノズルの直下に流動性を有し真空下に於ても
蒸発１社が少ないオイル、例えば真空オイルや電気絶縁
オイルなどよりなるオイル浴を設置し、ノズルより噴出
した噴流をオイルに衝突させれば、ノズルより噴出した
気相一液相混合状態の金属微粒は実質的に集合による粒
成長をすることなくオイル中に分散され、またオイル中
に於て瓦いに孤ｔｔ　＃に態にて存在覆るため、金属微
粒の凝集は殆ど発生せず、従って一層粒径の整った極め
て微細な合金微粉末を製造することかでき、またか＜　
Ｌ　−Ｕ　７Ｉイル中に導かれた合金微粉末はオイルを
構成している物質やそれに含まれている水分などによっ
て安定化されるので、アｔ！ｔ−ン等による脱脂又は真
空蒸留による脱脂が行なわれ／、：　後に人気中に数置
されても引火Ｊる虞れは殆どイ【いことを見出した。

本発明は、上述の如き本願発明台等が１ｊ−）Ｉこ種々
の実験的研究の結果得られた知見に暴き、粒径の整った
極めて微細な合金微粉末を能率良く低回に人聞生産する
ことのできる合金微粉末の製造方法を提供することを目
的としている。

かかる目的は、本発明によれば、一つの金属蒸気と不活
性ガスとを混合して第一の混合ガスを形成し、該第−の
混合ガスを第一のノズルに通しく断熱膨張さぼることに
より急冷させ、これと他の一つの金属蒸気とを混合して
第二の混合ガスを形成し、該第二の混合ガスを第二のノ
ズルに通して断熱膨張させることにより急冷さけること
を含む合金微粉末の製造方法、及び一つの金属蒸気と不
活性ガスとを混合して第一の混合ガスを形成し、該第−
の混合ガスを、第一のノズルに通して断熱膨張させるこ
とにより急冷さ１１これど他の一つの金属蒸気とを混合
して第二の混合ガスを形成し、該第二の混合ガスを第二
のノズルに通して断熱膨張させること（二より急冷させ
、前記第二のノズルより噴出し７ｊ前記第二の’ｄ？合
ガスをオイル中に導くことを含む合金微わ）末の製造方
法によって達成される。

本発明によれば、不？ｉ’ｉ性ガスにより金属蒸気が集
合によって粒成長りることが抑制され、金属蒸気はノズ
ルによる断熱膨張により急冷され、不活性ガスにより金
属蒸気（ま速やかに且連続的にノズルに導かれ、また二
種又はそれ以１−の金属蒸気を任意の比率にて混合Ｊる
ことが可能であるので、数百Ａ以下の粒径の揃った微細
な合金微粉末であって任ｆＸ　■均一組成の合金微粉末
を能率良く低廉に天吊生産づることがｅさる。特にノズ
ルにより急冷され！、：混合ガスをオイル中に導く方法
によれば、ノズルより噴出した後に於ける金属微粒の集
合成長による粒径の増大が効果的に抑制され、また合金
微粉末が安定化されるので、より一層微細でより一層粒
径の整った安定な合金微粉末をより一層能率良く低回に
天吊生産することができる。

また本発明によれば、金属蒸気と不活性ガスとの混合ガ
スがノズルに通されるので、不活性ガスの流量を制御丈
ることによりノズル前接の混合ガスの圧力比を比較的容
易に制御づることがでさ、これにより混合ガスの冷却速
度及び合金微粉末の粒径を容易に制御することができる
。

尚本発明に於て使用される冷７Ｊ１１用のノズルは末広
ノズル又は先細ノズルの何れＣあってもよいが、ノズル
を通過りるｆｌｆｉ合ガスの流速をできるだ（〕速くす
ることにより混合ガスの冷却速度をできるだ【ノ大きく
し、これにより微細で粒径の整った＾品質の合金微粉末
を能率良く製造づるためには、末広ノズルが使用される
ことが好ましい。

今冷却用ノズルより上流側の混合ガスの圧力、温度をそ
れぞれＰ＋　　（Ｔｏｒｒ　〉、Ｔ＋　　（’　Ｋ）ど
し、ノズルより下流側の圧力、温度をそれぞれＰ２　（
ＴＯ目’　＞、Ｔｐ　　（’　Ｋ）と覆”ると、ノズル
が末広ノズルの場合には、圧力比ＰＩ／Ｐ２≧２゜１の
場合に末広ノズルを通過づる混合ガスの流速は超音速と
なる。１しかし圧力比が上述の範囲であってもぞの値が
比較的小さい（例えばＰＩ／Ｐ２＝２．５）ＪＷ合には
、末広ノズルを通過した後のガス体の温）良「２は比較
的高くなり、合金微粉末をオイル浴中に捕集づる場合に
は、使用されるオイルの種類や淘ｆ良によってはその一
部が燃焼又は蒸発ηることがあるので、オイルの液面に
衝突づ−る直前に於番ノるガス１木の温度がメイルの引
火点以下の温度になるよう、圧力比ＰＩ／Ｐ２が４．０
以上、特に５．０以上、更には１０以上に設定されるこ
とが好ましい。尚温度Ｔ２については下記の式によりそ
の概略値を推定することができる。

−７ に ’Ｔ’２＝　Ｔ’＋　Ｘ　（Ｐ２　／　Ｐ＋　＞（に−
ガス体の比熱比） また冷却用ノズルが先細ノズルである場合には、圧力比
ＰＩ／Ｐ２を２．１以上に設定すれば、先細ノズル通過
的のガス体の流速は音速となる。先細ノズルの場合には
混合ガスの流速をｔ）速以１−に上げることはできない
が、この先■１ノスルにＪ、る場合にも従来のガス蒸発
法などに於（）る冷７Ｊｌ　ｉｍ　！ｊｌよりも（まる
かに速い冷却速邸を＜ｆＩることがＣさる。

以下に添付の図を参照して本光明を実施例について詳細
に説明Ｊる。

久１」」− 第２図はこの実施例１に於て使用された合金微粉末製造
装置を示１Ｊ概略構成図である。図に於て、１は実質的
に密閑の容器をなづ炉殻を示しており、該炉殻１内には
第一のるつぼ２が配置されている。

るつぼ２はガス導入ボート３をイＩＪるガス予熱？１′
４と、該ガス予熱室と連通づる第一の金属蒸気室５とを
有している。るつぼ２の周りにはガス予熱室４及び金属
蒸気室５内を所定の温１食王１に維持するヒータ７が配
置されており、このヒータ７によりるつぼ２内に装入さ
れた金属が溶融されて金属溶湯８とされ、更には金属蒸
気として蒸発化されるようになっている。

るつば２の底壁９には金属蒸気？５をるつぼ２の外部と
連通ηる導管１０が固定されており、該導管＋ＳＬるつ
ば２の下方に配置された第二のるつは１１を豹通して下
方へ延在しており、またその下端には末広ノズル１２が
設けられている。るつぼ１１はガス導入ボート１３を有
１−る第二の金属蒸気室１４を郭定している。るつぼ１
１の周りには金属蒸気Ｔｉ　１　／ｌ内を所定の温ａ　
Ｔ’　２に維持するヒータ１５が配置されており、この
ヒータ１５によりるつば１１内に装入された金属が溶融
されて金属溶湯１６とされ、更には金属蒸気どして蒸発
化されるようになっている。第一のるつぼ２と第二のる
つぼ１１との間に（ユ断熱材１７が配置されており、こ
れにＪ、り第一の金属蒸気室５内の温度及び第二の金属
蒸気室１４内の温度を互いに独立して任意の温度に設定
し９７るようになっている。

また第二のるつは１１の底壁１９には第二の金属蒸気室
１７１ど炉殻１内の回収ゾーン２０とを連通接Ｉｆ１づ
る導管２１が固定されてＪ３す、該導管の下端には第二
の末広ノズル２２が段重〕られている。

導管１０の下端は導管２１の上端内に受入れられており
、これにより末広ノズル１２及び２２（ま！４いに共働
してＴジＪクタノズルを構成している、。

第一の末広ノズル１２の下端と第一の末広ノズル２２の
のど部２３との間には空間２７′Ｉが郭定されている。

回収ゾーン２０には第一二の末広ノズル２２の先端より
隔置さねた位置にて水冷銅？＆　Ｊ、リイする収着板２
５が配置されており、該収６仮には第二の末広ノズル２
２より噴出した噴流２６が衝突づることにより、収着板
２５の表面に合金微粉末２７が回収されるようになって
いる。、ｊ：／、：回収ゾーン２０は導管２８により開
閉弁２９を介して真空ポンプ３０に接続されており、こ
の真空ポンプにより回収ゾーン２０　’を空間２４、第
二の金属蒸気室１１１、及び第一の金属蒸気室５内が減
Ｌ［され（れぞれＰ４　’ｔ　Ｐ８’ｔ　Ｐｇ　’ｔ　
Ｐτの所定圧力に維持されるようになっている。

尚図示の合金微粉木製＠装蓚に於て（よ、第一の末広ノ
ズル１２の先端は第一の金属蒸気室１／ｌ内にてＳ管２
１の上輪より隔置されＣもよく、Ｊ、たガス導入ボート
１３は省略されてもよいが、合金微粉木製＠装置を図示
の如く構成すれば、第二の金属蒸気室１／Ｉ内の温度及
び圧力と空間２４内の温度及び圧力をそれぞれ互いに独
立して任意に制御することができ、また第−及び第二の
末広ノズル前後の圧力比を容易に制御することかできる
。

かくして構成された合金微粉末製造装置を用いて以下の
要領にてＮｉ−Ｃｕの微粉末を製造した。

まず３０りの金属銅（９９，９％Ｃ１、残部不純物）を
第一の金属蒸気室５内に装入し、アルゴンガスをガス導
入ボー［・３よりガス予熱室４を経て金属蒸気室５内へ
導入し、ヒータ７によりるっぽ２を急速加熱しく金属蒸
気室５内の温度Ｔ１を約１７００℃どじ、これにより金
属銅を溶融させて銅溶湯８を形成し、該銅溶湯より銅蒸
気を発生さＶた。まｔｃ　３０　ｇの金属ニッケル（９
９，８％Ｎｉ、残部不純物）を第二の金属蒸気室１４内
に装入し、アルゴンガスをガス導入ボート１３より金属
蒸気室１４内へ導入し、ヒータ１５により第二のるつぽ
１１を急速加熱して金属蒸気室１４内の温度］−２を約
２１００℃とし、これにより金属ニッケルを溶融させて
ニッケル溶湯１６を形成し、該ニッケル溶湯よりニッケ
ル蒸気を発生さＵだ。

更に真空ポンプ３０を作動させ、ガス導入ボート３及び
１３よりのアルゴンガス導人員を制御することにより、
第一の金属蒸気室す内の圧力１）１　、第二の金属蒸気
室１４内の圧力ｐ　ｐ、空間２４の圧力Ｐ３、及び回収
ゾーン２０内の圧力１つ４をそれぞれ約１０Ｔｏｒｒ　
、６−７−ｒ−ｏｒｒ　、　４＝５　ｆｏｒｒ、１〜２
ｌ−ｏｒｒに設定し、また末広ノズル２２の先端と収着
板２５との間の距１Ｉ１１１を約１０ｃｍに設定した。

この場合銅溶湯８Ｊ、り発生した銅蒸気（３１り）　の
金属蒸気室５内に於−（アルゴンガスと混合されて第一
の混合ガスとなり、該第−の混合ガスは第一の末広ノズ
ル１２による自己断熱膨張により温度ＴＯ＝１１００〜
１２００℃（推定）程度にまで急冷され、その急冷途中
に於（銅蒸気は液相の微粒となり、空間２４内に於て第
一の金属蒸気室１４より供給されたニッケル蒸気と混合
されて銅の微粒とニッケル蒸気とが結合づることにＪ、
り銅どニッケルどよりなる複合微粒となり、該複合微粒
はガス導入ボート１３より導入されたアルゴンがスと混
合されて第二の混合ガスどなり、該混合がスは第：の末
広ノズル２２による自己断熱膨張により温度−１４＝　
７００”８００℃（推定）程度にまで急冷され、その急
冷途中に於てＮｉ−Ｃ１」微粉末どなり、アルゴンガス
と共に収着板２５に衝突づることににす、Ｎ１−ＣＬＩ
微粉末２７が収着板２５」−に回収された。

全ての金＠５　＆Ｂ］及び金属ニッケルを処１！Ｉ！り
るに要した時間は約１３分であり、製造されたＮｉ　−
ＣＵ微粉末の粒径の範囲は８０〜３００　Ａであり、甲
均粒径蕎１１５０Ａであった。

Ｊ、た導管１０の下端に段ｔＪられたノズル及び導管２
１の下端に設けられＩこノズルをそれぞれ第４図及び第
５図に示されでいる如き先細ノズル１２ａ及び２２ａ←
こ変更して上述の実施例１と同様の条件にてＮ１−（：
、ｕ微粉末を製造しｋどころ、製造された微粉末の粒径
の範囲は１３０〜３５０△であり、平均粒径は１９０△
であり、粒径のばらつき及び平均粒径共に上＋Ｊｉの実
施例′１の揚台に比して若干人きく、また処理時間も約
２２分であり生産性が多少低下した。

実施例２ 第３図はこの実施例２に於て使用さｆｔ　／こ合金微粉
末製造装置を示す第２図と同様の慨略４ｔ４成図Ｃある
。尚この第３図に於て、第２図に示された部分と実質的
に同一の部分には同一の符号がイζ１されている。

この実施例に於て使用された合金微粉末ＴｊｌＪ造装置
は、その回収ゾーン２０に収着仮に代えでＡイル貯容タ
ンク３１が配置されている点を除き、」述の実施例１に
於て使用されｌ、：合金微粉末１Ｊ造装置と同様に構成
されている。

かくして構成された合金微粉末製造装置を用いて以下の
要領にてＮ１−ｃｕ微粉末を製造し１．：、。

まずオイル貯容タンク３１内に初期温度２０゛Ｃ２５０
０ｃｃの真空オイル（松村石油株式会社製ネＡバック　
ＭＲ−２００＞３２を注ぎ、次いで」−述の実施例１に
於て使用されｌこ金属銅及び金属ニックルと同一組成の
金属銅及び金属ニッケルを各３０ｇ金属蒸気蒸気室び１
４内に装入し、上述の実施例１の場合と同様の要領にて
第一の金属蒸気室５内の温麿Ｔ＋、第二の金属蒸気室１
／Ｉ内の温度１−２、空間２／Ｉの温度Ｔ３　、回収ゾ
ーン２０内の温度Ｔ４をそれぞれ１７００℃、２１００
℃、１１００〜１２００℃、３０　＝−５０℃に維持し
、また第一の金属蒸気室５内の圧力Ｐ１、第二の金属蒸
気室１４内の圧力１〕２、空間２４内の圧力Ｐ９、回収
ゾーン２０内の圧力Ｐ４をそれぞれ約１０Ｔｏｒｒ　　
、６〜７−［旧゛］゛　、４〜５１−ｏｒｒ　　、１〜
２−「Ｏｒｌ・に維持し、末広ノズル２２の先端と真空
オイル３２の液面どの間の距離を約１５ｃｍとし、第二
の末広ノズル２２より噴出した噴流２６を真空オーイル
３２の液面に衝突させてＮｉ−Ｃｕ微粉末を真空オイル
中に導くことにより、Ｎｉ−Ｃｕ微粉末を　製　造　し
　ノこ　。

この実施例に於て全ての金属銅及び金属ニッケルを処理
Ｊるに要した時間は約１３分であり、製造されたＮｉ−
Ｃｕ微粉末の粒径の範囲は５０〜２０　ＯＡであり、平
均粒径は９０△（あり、回収されたＮｉ−Ｃｕ微粉末の
凝集（よ上述の実施例１の場合よりも少ないことが認め
られた、１また導管１０及び２１の下端←二股（］られ
たノズルをそれぞれ第４図及び第５図に７Ｊζされ−（
いイ）如き先細ノズル１２ａ及び２２８に変更して−Ｌ
ｉホの実施例２と同一の条件にて鉄の微粉末を製ｍ　Ｌ
／たところ、製造されたＮｉ−Ｃ１微Ｖ）末の粒径の範
囲は９０〜Ｓｏｏ人であり、平均粒径は１５０Δであり
、粒径のばらつき及び平均粒径バに上）本の実施例２の
場合よりも人さく、Ｊ、た処理時間も約２２分であり、
生産性が多少低十した。

実施例３ −［述の実施例１及び２と同様の要領により、３３０ｇ
の金属ニッケル（９９，８％Ｎｉ、残部不純物）を第一
のるつぼ２の金属蒸気室５内に装入し、３０ｏの金属ア
ルミニウム（９９，９％ＡＩ、残部不純物）を第二のる
つぼ１１の金属蒸気室１４内に装入し、末広ノズルを用
いて下記の条件に（ＡＩ−Ｎｉの微粉末を製造した。

温度Ｔ＋：　　　２１００℃ １−２：　　　１６００℃ Ｔ３：　　　１５００〜１６００℃ １−４　：　　　６００・−１０００℃圧力Ｐ買　：　
　１０Ｔｏｒｒ Ｐ２　　：　　　５〜６−ｒｏｒｒ Ｐ３　　：　　　４〜５Ｔｏｒｒ Ｐ４　　：　　　１〜２Ｔ’ｏｒｒ この実施例に於て全ての金属ニッケル及び金属アルミニ
ウムを処理するに１した時間は約１５分であり、収着板
上に回収されたＡＩ−Ｎｔの微粉末の粒径の範囲は８０
・・−２５０人であり、平均粒径は１２０人であり、真
空オイル中に導くことにより回収されたＡｌ−Ｎｉの微
粉末の粒径の範囲は６０〜１８０人であり、平均粒径は
１００Ａであった。

また導管１０及び２１の下端に設（〕られたノズルをそ
れぞれ第４図及び第５図に示されている如き先細ノズル
１２ａ及び２２ａに変更して上述の実施例３と同一の条
件にてＡｌ−Ｎｉの微粉末を製造したところ、収着板上
に回収された△ｌ−，Ｎｉの微粉末の粒径の範囲は１ａ
ｏ−３ｏｏ八であり、平均粒径は１７０人であり、真空
オイル中に導くことにより回収されＩこΔ１−Ｎ１の微
わ）末の粒径の範囲は９０〜２３０人であり、平均粒径
は１３０Ａであり、粒径のばらつき及び平均粒径共に上
述の実施例３の場合Ｊ、りも大きく、また処理時間も約
１９分であり、生産性が多少低下した。

以上に於ては本発明を幾つかの実施例について詳細に説
明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能である
ことは当ＩＪ、者にとって明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は各種金属の蒸気圧と温度との関係を示Ｊグラフ
、第２図及び第３図は（れぞれ本発明による合金微粉末
の製造方法を実施づるに好適な合金微））末製造装置を
示す概略構成図、第４図及び第５図は先細ノズルを示を
縦断面図ぐある。 １・・・炉殻、２・・・第一のρつぼ、３・・・ガス導
入ポ−ｔ−，４・・・ガス予熱室、５・・・第一の金属
蒸気室。 ７・・・ヒータ、８・・・金属溶湯、９・・・底壁、１
０・・・導管、１１・・・第二のるつぼ、１２・・・第
一の末広ノズル、１２ａ・・・先細ノズル、１３・・・
ガス導入ポート。 １４・・・第二の金属蒸気室、１５・・・ヒータ、１６
・・・金属溶湯、１７・・・１Ｉ７ｉ熱材、１９・・・
底壁、２０・・・回収ゾーン、２１・・・導管、２２・
・・第二の末広ノズル。 ２２ａ・・・先細ノズル、２３−・・のど部、２４・・
・空間。 ２５・・・収着板、２Ｇ・・・噴流、２７・・・合金微
粉末。 ２８・・・導管、２９・・・開閉弁、３０・−・真空ポ
ンプ。 ３１・・・Ａイル貯容タンク、３２・・・真空オイル特
　訂　出　願　人　　トヨタ自動車株式会社代　　　理
　　　人　　弁理士　　明石　昌毅第２図 Ａｒ 第　３　図 Ａｒ ＜ｉｊ　　式）（自　発） １、事件の表示　昭和５８年持重［願第０８１５３７号
２、発明の名称 合金微粉末の’Ｆ！ｌ造方法 ３、補正をする者 事（’＋どの関係　　特Ｙ［出願人 任　所　　愛知県豊田市トヨタ町１番地名　称　　（３
２０）　Ｉ〜ヨタ自動車株式会社４、代理人 居　所　　＠１０４東京都中央区新川１丁目５番１９号
６、補正の対象　　図面

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）一つの金属蒸気と不活性ガスとを混合して第一の
   混合ガスを形成し、該第−の混合ガスを第一のノズルに
   通して断熱膨張させることにより急冷させ、これと他の
   一つの金属蒸気とを混合して第二の混合ガスを形成し、
   該第二の混合ガスを第二のノズルに通して断熱膨張させ
   ることにより急冷させることを含む合金微粉末の製造方
   法。
2. （２）一つの金属蒸気と不活性ガスとを混合して第一の
   混合ガスを形成し、該第−の混合ガスを第一のノズルに
   通しＣ断熱膨張さけ“ることにより急冷さｕｌこれと伯
   の一つの金属蒸気とを混合して第二の混合ガスを形成し
   、該第二の混合ガスを第二のノズルに通（）て断熱膨張
   さぼることにより急冷させ、前記第二のノズルより噴出
   した前記第二の混合ガスをオイル中に導くことを含む合
   金微粉末の製造方法。