JPS59220320A - 超音波振動子エレメントの製造装置 - Google Patents
超音波振動子エレメントの製造装置Info
- Publication number
- JPS59220320A JPS59220320A JP9480483A JP9480483A JPS59220320A JP S59220320 A JPS59220320 A JP S59220320A JP 9480483 A JP9480483 A JP 9480483A JP 9480483 A JP9480483 A JP 9480483A JP S59220320 A JPS59220320 A JP S59220320A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum chuck
- slider
- injection mold
- vibrator
- chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
- B29C70/68—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts by incorporating or moulding on preformed parts, e.g. inserts or layers, e.g. foam blocks
- B29C70/82—Forcing wires, nets or the like partially or completely into the surface of an article, e.g. by cutting and pressing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C2791/00—Shaping characteristics in general
- B29C2791/004—Shaping under special conditions
- B29C2791/008—Using vibrations during moulding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は超音波振動子エレメントの製造に係シ、特に超
音波振動子のマツチング層を注型によって一定厚みに成
形する超音波振動子エレメントの製造装置に関する。
音波振動子のマツチング層を注型によって一定厚みに成
形する超音波振動子エレメントの製造装置に関する。
従来のマツチング層形成法は、密度Ｐ１弾性率Ｅなる材
質で、かつ、この材質中を超音波が伝播するときの波長
λに対して２／４の厚さとなるようなプラスチックフィ
ルムまたはガラスなどを振動子面に接着する方法、ある
いは、振動子面にペースト状の接着剤をほぼ一定の厚さ
にコーティングした後硬化してから、研摩によって２／
４の厚さにする方法などがある。
質で、かつ、この材質中を超音波が伝播するときの波長
λに対して２／４の厚さとなるようなプラスチックフィ
ルムまたはガラスなどを振動子面に接着する方法、ある
いは、振動子面にペースト状の接着剤をほぼ一定の厚さ
にコーティングした後硬化してから、研摩によって２／
４の厚さにする方法などがある。
（１）プラスチックフィルムまたはガラスを貼り合わせ
る方法は貼り合わせる接着剤層が振動子とマツチング層
との間に介在することになり、マツチング機能を低下さ
せる。
る方法は貼り合わせる接着剤層が振動子とマツチング層
との間に介在することになり、マツチング機能を低下さ
せる。
（２）ペースト状接着剤をコートしてから研摩する方法
は、工数がかかシすぎる。また、研摩し過ぎによる性能
低下が生じやすい。
は、工数がかかシすぎる。また、研摩し過ぎによる性能
低下が生じやすい。
本発明の目的は超音波振動子に厚さが１／４のマツチン
グ層を容易に形成する製造装置を提供することにある。
グ層を容易に形成する製造装置を提供することにある。
超音波振動子を真空チャックに吸着保持し、この真空チ
ャックおよび対向して設置される注型型の相方にテーパ
面からなる位置ぎめ部を形成するとともに、上記注型型
を球面座を介して設置し、上記真空チャックと注型型と
を相対的に接近させて上記注型型中に満たしたモールド
剤中に超音波振動子を挿入し、所要の厚さのマツチング
層を容易に成形できるようにした。
ャックおよび対向して設置される注型型の相方にテーパ
面からなる位置ぎめ部を形成するとともに、上記注型型
を球面座を介して設置し、上記真空チャックと注型型と
を相対的に接近させて上記注型型中に満たしたモールド
剤中に超音波振動子を挿入し、所要の厚さのマツチング
層を容易に成形できるようにした。
第１図は超音波振動子ニレ、メントの図でアって、（Ｃ
）は超音波振動子、 （ｍ）はその一端面を残して取囲
むマツチング層である。このマツチング層（ｍ）の厚さ
は伝播する波長λの１／４であることは前述のとおシで
ある。
）は超音波振動子、 （ｍ）はその一端面を残して取囲
むマツチング層である。このマツチング層（ｍ）の厚さ
は伝播する波長λの１／４であることは前述のとおシで
ある。
つぎに、このマツチング層（ｍ）を形成する本発明の一
実施例を説明する。
実施例を説明する。
第２図において、（１）はホルダベースであシ、このホ
ルダベース（１）にはホルダ支柱（２）が立設されてい
る。しかして、このホルダ支柱（２）の−側面には、逆
り字形のスライダ（３）が取付けられ、上記ホルダ支柱
（２）に設けられたつまみ（４）その他からなる駆動機
構によυ、上記ホルダ支柱（２）の−側面に沿って上下
動できるようＫなっている。この逆り字形のスライダ（
３）の先端部には、上記ホルダベース（１）に対向して
超音波振動子（Ｃ）を吸着保持する真空チャック（５）
が取付けられている。
ルダベース（１）にはホルダ支柱（２）が立設されてい
る。しかして、このホルダ支柱（２）の−側面には、逆
り字形のスライダ（３）が取付けられ、上記ホルダ支柱
（２）に設けられたつまみ（４）その他からなる駆動機
構によυ、上記ホルダ支柱（２）の−側面に沿って上下
動できるようＫなっている。この逆り字形のスライダ（
３）の先端部には、上記ホルダベース（１）に対向して
超音波振動子（Ｃ）を吸着保持する真空チャック（５）
が取付けられている。
また、上記ホルダベース（１）には凹孔が形成され、こ
の凹孔内にはマグネットチャック（６）が設置され、ホ
ルダベース（１）の側面に取付けられたＸ方向およびＹ
方向ｖＩ４整ねじ（７Ｘ）、 （７Ｙ）によって、その
位置を移動ＦＡ整できるよう釦なっている。しかして、
このマグネットチャック（６）上に凹球面を有する球面
座（８）が設置され、この球面座（８）上に上記真空チ
ャック（４）と対向して注型型（９）が設置されている
。
の凹孔内にはマグネットチャック（６）が設置され、ホ
ルダベース（１）の側面に取付けられたＸ方向およびＹ
方向ｖＩ４整ねじ（７Ｘ）、 （７Ｙ）によって、その
位置を移動ＦＡ整できるよう釦なっている。しかして、
このマグネットチャック（６）上に凹球面を有する球面
座（８）が設置され、この球面座（８）上に上記真空チ
ャック（４）と対向して注型型（９）が設置されている
。
すなわち、この注型型（９）は底部に形成された凸球面
が上記球面座（８）の凹球面と嵌合して揺動自在に設置
される。
が上記球面座（８）の凹球面と嵌合して揺動自在に設置
される。
上記真空チャック（５）と注型型＜９）とは、互に対向
する面に対応形状の凸型（５ａ）と有底凹孔からなる雌
ｍ（９ａ）とを有する。すなわち、上記雌型（９りの開
口部には、凸型（５ａ）を雌型（９ｂ）内に挿入したと
き、凸型（５ａ）の基部のテーパー面（５ｂ）と密接す
るテーパ面（９ｂ）をもつ開口部が形成され、この開口
部に隣接して、上記両テーパ部（５ｂ）、 （９ｂ）が
密接したときに凸型（５ａ）の先端に保持された超音波
振動子（Ｃ）の端面および外側面との間に一定間隔の空
隙ができる凹孔が形成されている。
する面に対応形状の凸型（５ａ）と有底凹孔からなる雌
ｍ（９ａ）とを有する。すなわち、上記雌型（９りの開
口部には、凸型（５ａ）を雌型（９ｂ）内に挿入したと
き、凸型（５ａ）の基部のテーパー面（５ｂ）と密接す
るテーパ面（９ｂ）をもつ開口部が形成され、この開口
部に隣接して、上記両テーパ部（５ｂ）、 （９ｂ）が
密接したときに凸型（５ａ）の先端に保持された超音波
振動子（Ｃ）の端面および外側面との間に一定間隔の空
隙ができる凹孔が形成されている。
つぎに、上記装置を用いて超音波振動子エレメントを製
作する方法を述べる。
作する方法を述べる。
スライダ（３）に真空チャック（５）を取シつけ、つま
み（４）を廻転して真空チャック（５）と注型型（９）
とをすり合わせる。そのときテーパ面（５ｂ）、 （９
ｂ）が両者の芯出しの作用をする。位置出しはホルダベ
ース（１）の調整ねじ（７Ｘ）、 （７Ｙ）によって調
節する。上記真空チャック（５）と注型型（９）との位
置出しが得られたらマグネットチャック（６）で注型型
（９）の位置を固定する。つぎに、スライダー（３）を
上方に上げ、注型型（９）の雌型（９ｂ）内にモールド
剤を注入し、振動子（Ｃ）を真空チャック（５）にとシ
つけたのち、スライダー（３）を下げで振動子（Ｃ）の
端面と雌型底面との間が２／４の間隔になるようにつま
み（４）で微調節する。その状態で一定時間保持してモ
・−ルド剤を常温で硬化させたのち、スライダー（３）
を上げて離型する。
み（４）を廻転して真空チャック（５）と注型型（９）
とをすり合わせる。そのときテーパ面（５ｂ）、 （９
ｂ）が両者の芯出しの作用をする。位置出しはホルダベ
ース（１）の調整ねじ（７Ｘ）、 （７Ｙ）によって調
節する。上記真空チャック（５）と注型型（９）との位
置出しが得られたらマグネットチャック（６）で注型型
（９）の位置を固定する。つぎに、スライダー（３）を
上方に上げ、注型型（９）の雌型（９ｂ）内にモールド
剤を注入し、振動子（Ｃ）を真空チャック（５）にとシ
つけたのち、スライダー（３）を下げで振動子（Ｃ）の
端面と雌型底面との間が２／４の間隔になるようにつま
み（４）で微調節する。その状態で一定時間保持してモ
・−ルド剤を常温で硬化させたのち、スライダー（３）
を上げて離型する。
上述のように装置を用いることより、
（１）マツチング層の厚さを平行度±３μｍｎの精度で
調節することができた。
調節することができた。
（２）マツチング層の厚さのばらつきを±５μｍの精度
で調節することができた。
で調節することができた。
（３） ｆｆツチング層の形成が簡単となり、工数を大
幅に低下することができた。
幅に低下することができた。
（４）本発明によって製作した超音波振動子エレメント
を使った検出器プローブは分解能が大幅に向上した。
を使った検出器プローブは分解能が大幅に向上した。
第１図（Ａ）および（Ｂ）図は超音波振動子エレメント
の平面図および断面図、第２図は本発明の一実施例であ
る装置の図である。 （１）：ホルダベース （２）：ホルダ支柱（３
）ニスライダ （５）：真空チャック（８）二
球面座 （９）：注型型代理人 弁理士 則
近 憲 佑 （ほか１名）
の平面図および断面図、第２図は本発明の一実施例であ
る装置の図である。 （１）：ホルダベース （２）：ホルダ支柱（３
）ニスライダ （５）：真空チャック（８）二
球面座 （９）：注型型代理人 弁理士 則
近 憲 佑 （ほか１名）
Claims (1)
- ホルダ支柱が立設されたホルダベースと、上記ホルダ支
柱に沿って上下動するスライダと、このスライダに取付
けられ、振動子を吸着する真空チャックと、この真空チ
ャックに対向して上記ホルダベース上に設置される注型
型とを具備し、上記真空チャックおよび上記注型型には
テーパ面からなる位置ぎめ部が形成され、上記注型型は
球面座を介−して上記ホルダベース上に設置されること
を特徴とする超音波振動子エレメントの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9480483A JPS59220320A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波振動子エレメントの製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9480483A JPS59220320A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波振動子エレメントの製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59220320A true JPS59220320A (ja) | 1984-12-11 |
Family
ID=14120242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9480483A Pending JPS59220320A (ja) | 1983-05-31 | 1983-05-31 | 超音波振動子エレメントの製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59220320A (ja) |
-
1983
- 1983-05-31 JP JP9480483A patent/JPS59220320A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5613139A (en) | Manufacture of plastic polarizing lens | |
| JPS61241115A (ja) | 圧縮加圧成形可能な樹脂成形用金型 | |
| JPS61258718A (ja) | プラスチツク光学装置 | |
| JPS59220320A (ja) | 超音波振動子エレメントの製造装置 | |
| US4528446A (en) | Optoelectronic lens array with an integrated circuit | |
| JPH08201672A (ja) | 光学部材の固定構造 | |
| JPH04148906A (ja) | プラスチックレンズの成形方法 | |
| CN108422624A (zh) | 镜片制造模具及镜片制造方法 | |
| JPH0552481B2 (ja) | ||
| JP2893231B2 (ja) | 光コネクタ用フェルールとその製造方法 | |
| JP2664143B2 (ja) | 磁気ヘッド用コアの加工方法 | |
| JPH0521000Y2 (ja) | ||
| JP2000301572A (ja) | インサートモールド成形法 | |
| JP3529755B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
| JPH0373137A (ja) | 超音波振動子の製造方法 | |
| JP4037991B2 (ja) | 光コネクタフェルールの製造方法及び成形用金型 | |
| JPS63266614A (ja) | 磁気ヘツドコアの製造方法 | |
| JPS599017A (ja) | 複合成形部材 | |
| JPS63255884A (ja) | 光デイスク用中心金具 | |
| JP2000301541A (ja) | インサートモールド成形法 | |
| JPS63299910A (ja) | 樹脂円板の製造方法 | |
| JPH0478080B2 (ja) | ||
| JPS60182037A (ja) | 磁気センサの製造方法 | |
| JPS6087447A (ja) | 光ビ−ム記憶用プラスチツク基板の製造方法 | |
| JPH11198170A (ja) | フレーム付樹脂成形体の製造方法 |