JPS5922104A - ロボツト可動腕の制御方法およびその装置 - Google Patents
ロボツト可動腕の制御方法およびその装置Info
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- JPS5922104A JPS5922104A JP13258982A JP13258982A JPS5922104A JP S5922104 A JPS5922104 A JP S5922104A JP 13258982 A JP13258982 A JP 13258982A JP 13258982 A JP13258982 A JP 13258982A JP S5922104 A JPS5922104 A JP S5922104A
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- Japan
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- movable arm
- robot
- calculated
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/42—Recording and playback systems, i.e. in which the program is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ロボットの可動腕を制御する方法およびその
装置に関し、特に、その可動腕の先端部の位置を検出し
て制御を行なうための方法およびその装置に関する。
装置に関し、特に、その可動腕の先端部の位置を検出し
て制御を行なうための方法およびその装置に関する。
一般に、ロボット可動腕は、その可動腕の先端部が定め
られた位置に移動するように制御され、所要の作業動作
を行なうようになっている。
られた位置に移動するように制御され、所要の作業動作
を行なうようになっている。
ロボット可動腕を正しく制御するためには、可動腕の先
端部の位置を正確に検出する必要があり、その検出のた
めに従来は可動腕の構造にヨリ種々の手段がとられてい
る。
端部の位置を正確に検出する必要があり、その検出のた
めに従来は可動腕の構造にヨリ種々の手段がとられてい
る。
第1図に示すような関節形ロボット可動腕を有する従来
の可動腕制御手段では、支柱aと腕1)を継ぐ第1関節
e、および腕すと腕Cを継ぐ第2関節fの2つの関節e
、fにそれぞれ回転角センサが配設され、その回転角か
ら先端部としての作業部dの位置を検出するようになっ
ている。
の可動腕制御手段では、支柱aと腕1)を継ぐ第1関節
e、および腕すと腕Cを継ぐ第2関節fの2つの関節e
、fにそれぞれ回転角センサが配設され、その回転角か
ら先端部としての作業部dの位置を検出するようになっ
ている。
斗だ、第2図に示すような直交形ロボット可動腕を有す
る従来の可動腕制御手段では、支柱gと腕l】にそれぞ
れリニヤエンコーダi、jカ配設されて、先端部として
の作業部dの位置を検出するようになっている。
る従来の可動腕制御手段では、支柱gと腕l】にそれぞ
れリニヤエンコーダi、jカ配設されて、先端部として
の作業部dの位置を検出するようになっている。
しかしながら、これらの従来の手段では、先端部として
の作業部dから離れたところにセンサがあり、その位置
を検出しているため、例えば作業部dが重量物をもつこ
とによって、センサの位置から作業部dまでの間で撓み
を生じると、先端部の位置を正確に検知することができ
ないという問題点がある。
の作業部dから離れたところにセンサがあり、その位置
を検出しているため、例えば作業部dが重量物をもつこ
とによって、センサの位置から作業部dまでの間で撓み
を生じると、先端部の位置を正確に検知することができ
ないという問題点がある。
これにたいし、可動腕の剛性を強くすることも考えられ
るが、ロボノI・の腕が重くなり、これを支える本体も
重構造にしなければならず、引いてはロボット全体が重
くなってし1うという問題点がある。
るが、ロボノI・の腕が重くなり、これを支える本体も
重構造にしなければならず、引いてはロボット全体が重
くなってし1うという問題点がある。
さらに、これら従来の手段では可動腕の自由振動や先端
部dの保持する負荷による腕の変形などの影響により、
高精度の位置検出および制御ができなくなるという問題
点もある。
部dの保持する負荷による腕の変形などの影響により、
高精度の位置検出および制御ができなくなるという問題
点もある。
そこで精度を向」ニさせる手段として、ロボット外部に
位置信号の発信源を多数設置し、ロボットの先端部に設
けられたセンサがこの位置信号を検出して高精度の位置
検出を行なう従来手段も開発されているが、このような
手段はロボット本来の自由度を失うものであり、使用す
る上でも制約が多くなるという問題点がある。
位置信号の発信源を多数設置し、ロボットの先端部に設
けられたセンサがこの位置信号を検出して高精度の位置
検出を行なう従来手段も開発されているが、このような
手段はロボット本来の自由度を失うものであり、使用す
る上でも制約が多くなるという問題点がある。
本発明は、これらの問題点を解決しようとするもので、
ロボット可動腕の先端部で検出される加速度から先端部
の速度および変位を計算することにより、正確な可動腕
先端部の位置検出を行なえるようにするとともに、その
速度および変位が瞬間的かつ連続的に得られることによ
り、実時間のロボット可動腕の制御を自動的に行なえる
ようにしだ、ロボット可動腕の制御方法およびその装置
を提供することを目的とする。
ロボット可動腕の先端部で検出される加速度から先端部
の速度および変位を計算することにより、正確な可動腕
先端部の位置検出を行なえるようにするとともに、その
速度および変位が瞬間的かつ連続的に得られることによ
り、実時間のロボット可動腕の制御を自動的に行なえる
ようにしだ、ロボット可動腕の制御方法およびその装置
を提供することを目的とする。
このだめ1本発明のロボット可動腕の制御方法は、可動
腕の先端部を駆動制御するに際し、まず」二連先端部の
加速度を検出し、ついでこの検出された加速度を連続的
な時間の関数として計算処理し、上記先端部の速度およ
び変位を演算し、この算出された速度および変位とあら
かじめ設定された速度および位置にそれぞれ対応する値
とを比較し、その比較結果に基づいて上記先端部を」―
記の設定された位置へ駆動すべく制御することを特徴と
している。
腕の先端部を駆動制御するに際し、まず」二連先端部の
加速度を検出し、ついでこの検出された加速度を連続的
な時間の関数として計算処理し、上記先端部の速度およ
び変位を演算し、この算出された速度および変位とあら
かじめ設定された速度および位置にそれぞれ対応する値
とを比較し、その比較結果に基づいて上記先端部を」―
記の設定された位置へ駆動すべく制御することを特徴と
している。
また、本発明のロボット可動腕の制御装置は、可動腕の
先端部を駆動するだめの駆動源と、」二連可動腕の先端
部の加速度を検出する加速度計を持った検出器と、同検
出器で検出された加速度を時間の関数として計算処理し
て上記先端部の速度および変位を計算し、且つ、」二連
先端部の位置を割算する演算器と、上記可動腕の先端部
の位置を設定する設定器と、」二連演算器で演算された
位置を」二連設定器に設定された位置と比較して上記可
動腕の先端部を」二連の設定された位置へ駆動すべく制
御信号を」−配座動源へ送るように結線された比較器と
をそなえ、」二連検出器が上記可動腕の先端部に設けら
れたことを特徴としている。
先端部を駆動するだめの駆動源と、」二連可動腕の先端
部の加速度を検出する加速度計を持った検出器と、同検
出器で検出された加速度を時間の関数として計算処理し
て上記先端部の速度および変位を計算し、且つ、」二連
先端部の位置を割算する演算器と、上記可動腕の先端部
の位置を設定する設定器と、」二連演算器で演算された
位置を」二連設定器に設定された位置と比較して上記可
動腕の先端部を」二連の設定された位置へ駆動すべく制
御信号を」−配座動源へ送るように結線された比較器と
をそなえ、」二連検出器が上記可動腕の先端部に設けら
れたことを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としてのロボット可
動腕の制御方法およびその装置について説明する。
動腕の制御方法およびその装置について説明する。
第3〜5図は本発明によるロボット可動腕の制御装置を
示すもので、第3図はその全体構成図、第4図はその可
動腕先端部の検出器を示す説明図、第5図はその制御装
置のブロック図である。
示すもので、第3図はその全体構成図、第4図はその可
動腕先端部の検出器を示す説明図、第5図はその制御装
置のブロック図である。
第3図に示すように、ロボットの支柱1と可動腕2とd
:関節6で自由に運動できるように接続されており、可
動腕2と可動腕3とは関節7に」こつて同様に接続され
ている。
:関節6で自由に運動できるように接続されており、可
動腕2と可動腕3とは関節7に」こつて同様に接続され
ている。
寸だ、腕3の先端部である作業部4の近傍には検出器5
が配設されている。
が配設されている。
そして検出器5は、第4図に示すように、それぞれX、
Y、7.軸方向の加速度x、y、z を測定する加速度
計8.9.10と、それぞれX。
Y、7.軸方向の加速度x、y、z を測定する加速度
計8.9.10と、それぞれX。
Y、Zil1寸わりの角加速度0X、θY、θZを検出
する角加速度計11.12.13とで構成さノ1.でい
る。
する角加速度計11.12.13とで構成さノ1.でい
る。
この検出器5からの出力は、演算器14に供給され、こ
の演算器14の出力は、比較器15を経由してロボット
可動腕の、駆動σ)21Gに供給される。
1さら゛に、演算器14には
基準時間設定器17からの出力である設定時間tが供給
されており、比較器15には目標座標設定器18からの
出力である作業位置X。+Vn+Znおよび作業時間t
oが供給されている。
の演算器14の出力は、比較器15を経由してロボット
可動腕の、駆動σ)21Gに供給される。
1さら゛に、演算器14には
基準時間設定器17からの出力である設定時間tが供給
されており、比較器15には目標座標設定器18からの
出力である作業位置X。+Vn+Znおよび作業時間t
oが供給されている。
!/こ、目標座標設定器18かもあらかじめ設定されて
いる作業姿勢(回転角)も供給される。
いる作業姿勢(回転角)も供給される。
ところで、ここで用いられる位置とd:、空間の座標系
(X、Y、Z)によって定寸る−・定点であり、変位と
は、2つの位置(XI + V I + Z 1)およ
び(X2+ )’2+ 22 )におけるずれ((X2
X+ )、 (ys−y+ )、 (
22y、1 )l −である。
(X、Y、Z)によって定寸る−・定点であり、変位と
は、2つの位置(XI + V I + Z 1)およ
び(X2+ )’2+ 22 )におけるずれ((X2
X+ )、 (ys−y+ )、 (
22y、1 )l −である。
丑だ、姿勢とは、X軸、Y軛+、ZIll+まわりの回
転角(θX、θY、θZ)てあり、角変位と11.2つ
の姿勢(θXI+ θYI+θ、1 )および(θX2
1θY2+07.2)におけるずれ((θX、−〇X1
)。
転角(θX、θY、θZ)てあり、角変位と11.2つ
の姿勢(θXI+ θYI+θ、1 )および(θX2
1θY2+07.2)におけるずれ((θX、−〇X1
)。
(θY2 ’Yl )、 (θZ、−θZ、))
の角度である。
の角度である。
本発明のロボット可動腕の制御装置は上述のごとく構成
されているので、可動腕2,3の先端部としての作業部
4が移動すると、その加速度X、y、Zと角加速度θX
+ OY +θZとが、検出器5としての加速度計8
.9.10および角加速度側11,12.13により検
出される。
されているので、可動腕2,3の先端部としての作業部
4が移動すると、その加速度X、y、Zと角加速度θX
+ OY +θZとが、検出器5としての加速度計8
.9.10および角加速度側11,12.13により検
出される。
そして、この瞬間値としての加速度X’+3’+Z゛お
よび角加速度OX+ ’Y+θ、の検113イ言号カ、
、演算器14に供給される。
よび角加速度OX+ ’Y+θ、の検113イ言号カ、
、演算器14に供給される。
演算器14では、この加速度X+ Y+ Zと角加
速度θX+ i”Y、θlを所要の基準時間を内で2階
積分して現在の先端部としての作業部4の検出位置X+
:V+ Zおよび検出姿勢(回転角)を算出する。
速度θX+ i”Y、θlを所要の基準時間を内で2階
積分して現在の先端部としての作業部4の検出位置X+
:V+ Zおよび検出姿勢(回転角)を算出する。
この作業部4の検出位置X+3’+ Zは比較器15
へ送られ、比較器15では、この検出位置X+V+”と
、目標座標決定器18に記憶されている時刻t。に作業
部4が到達すべき作業位置”+ynIZn とを比較し
、偏差(x−8゜)。
へ送られ、比較器15では、この検出位置X+V+”と
、目標座標決定器18に記憶されている時刻t。に作業
部4が到達すべき作業位置”+ynIZn とを比較し
、偏差(x−8゜)。
(y yn )、(Z z、)および時刻1oに
したがって偏差信号△X、Δy、△Zを駆動源16へ送
る。
したがって偏差信号△X、Δy、△Zを駆動源16へ送
る。
この偏差信号△X、Δy、△Zの大きさや正負の符号に
より1、駆動源16は駆動力1.’X、 I’Y・p
zを発生し、ロボット可動腕2,3の作業部4を目標と
なる作業位置へ到達させるように、可動腕2,3を駆動
させる。
より1、駆動源16は駆動力1.’X、 I’Y・p
zを発生し、ロボット可動腕2,3の作業部4を目標と
なる作業位置へ到達させるように、可動腕2,3を駆動
させる。
まだ、検出姿勢と作業姿勢との偏差も駆動源16によっ
て補正しうるようになっている。
て補正しうるようになっている。
ところで、本発明のロボット可動腕の制御方法では、加
速度や角加速度の積分による検出変位と実際の変位との
誤差が累積しないように、所要の時間間隔tで、可動腕
2,3の作業部4の作業を中断させ、可動腕2.3の先
端部をあらかじめ定められた原点(例えば、作業位置か
ら離れだ定点)に復帰させる。
速度や角加速度の積分による検出変位と実際の変位との
誤差が累積しないように、所要の時間間隔tで、可動腕
2,3の作業部4の作業を中断させ、可動腕2.3の先
端部をあらかじめ定められた原点(例えば、作業位置か
ら離れだ定点)に復帰させる。
この原点に対応する位置は、あらかじめメモリ等(図示
せず)に記憶しておき、この設定位置と復帰時点での検
出変位に対応する位置とを比較し、この検出変位を較正
するようになっている。
せず)に記憶しておき、この設定位置と復帰時点での検
出変位に対応する位置とを比較し、この検出変位を較正
するようになっている。
ま/ζ、この較正を行なった後、可動腕2,3の先端部
は作業中断以前の作業位置に戻され、中断していた作業
動作が再開されるのである。
は作業中断以前の作業位置に戻され、中断していた作業
動作が再開されるのである。
さらに、検出器5で検出される加速度X+3’+バ°角
加速度”’ X t 心+θZおよび演算器14でこれ
らを積分して得られる速度や角速度を較正するには、ま
ず可動腕2,30作業を中断させ−て、その先端部をあ
らかじめ設定された2定点(例えば、作業位置から離れ
た2定点)を所定の動きで通過させる。
加速度”’ X t 心+θZおよび演算器14でこれ
らを積分して得られる速度や角速度を較正するには、ま
ず可動腕2,30作業を中断させ−て、その先端部をあ
らかじめ設定された2定点(例えば、作業位置から離れ
た2定点)を所定の動きで通過させる。
このとき、検出され、且つ、積分により求められる速度
、角速度、変位および角変位と、あらかじめ設定されて
いる正確な速度、角速度、変位および角変位とを比較し
、誤差−や計器8〜13の感度を較正する。
、角速度、変位および角変位と、あらかじめ設定されて
いる正確な速度、角速度、変位および角変位とを比較し
、誤差−や計器8〜13の感度を較正する。
1だ、この較正した後、可動腕2,3の先端glは作業
中断以前の作業位置に戻され、中断していた作業動作は
再開されるのである。
中断以前の作業位置に戻され、中断していた作業動作は
再開されるのである。
このような較正を所要の時間間隔tで自動的に行なうこ
とにより、長時間のロボット可動腕の制御を行なった場
合でも誤差が累積せず、また位置の較正だけでなく計器
8〜13の感度も較正できるため、高精度のロボット可
動腕の制御を行なうことができる。
とにより、長時間のロボット可動腕の制御を行なった場
合でも誤差が累積せず、また位置の較正だけでなく計器
8〜13の感度も較正できるため、高精度のロボット可
動腕の制御を行なうことができる。
なお、角加速度側11,12.13としては、高応答の
レートジャイロを用いてもよい。
レートジャイロを用いてもよい。
以上詳述したように、本発明のロボット可動腕のI制御
装置によれば、位置制御を必要とする可動腕の先端部の
位置を、この先端部に設けられた加速度計および角加速
度計により直接検出することができ、可動腕の撓みが生
じても先端部の位置を正確に検出できるので、可動腕を
軽量化することができる利点があり、この可動腕を支持
するロボット本体も小型化され、かつ軽量化されて、可
動腕先端部の自由振動や重昂物を保持した場合の腕の変
形による変位の影響も無くなり、高精度の位置制御が可
能となるのである。
装置によれば、位置制御を必要とする可動腕の先端部の
位置を、この先端部に設けられた加速度計および角加速
度計により直接検出することができ、可動腕の撓みが生
じても先端部の位置を正確に検出できるので、可動腕を
軽量化することができる利点があり、この可動腕を支持
するロボット本体も小型化され、かつ軽量化されて、可
動腕先端部の自由振動や重昂物を保持した場合の腕の変
形による変位の影響も無くなり、高精度の位置制御が可
能となるのである。
また、本発明のロボット可動腕の制御方法によれば、所
定の時間間隔で原点あるいは2点間を通過さぜるたけで
、位置の誤差や計器の感度の較正ができ、高精度の位置
制御が可能となる利点がある。
定の時間間隔で原点あるいは2点間を通過さぜるたけで
、位置の誤差や計器の感度の較正ができ、高精度の位置
制御が可能となる利点がある。
第1,2図はそれぞれ従来の関節形および直交形ロボッ
ト可動腕の立面図であり、第3〜5図は本発明の一実施
例と1〜てのロボット可動腕の制御方法を実施するだめ
の装置を示すもので、第3図はその全体構成図、第4図
はその可動腕先端部の検出器を示す説明図、第5図はそ
の制御装置の7672図である。 ■・・支柱、2,3・・可動腕、4・・先端部としての
作業部、5・・検出器、6.7・・関節、8,9.10
・・x、y、z方向加速度計、11,12.13・・x
、y、z軸まわυ角加速度計、14・・演算器、15・
・比較器、16・・駆動源、17・・基準時間設定器、
18・・目標座標設定器。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦
ト可動腕の立面図であり、第3〜5図は本発明の一実施
例と1〜てのロボット可動腕の制御方法を実施するだめ
の装置を示すもので、第3図はその全体構成図、第4図
はその可動腕先端部の検出器を示す説明図、第5図はそ
の制御装置の7672図である。 ■・・支柱、2,3・・可動腕、4・・先端部としての
作業部、5・・検出器、6.7・・関節、8,9.10
・・x、y、z方向加速度計、11,12.13・・x
、y、z軸まわυ角加速度計、14・・演算器、15・
・比較器、16・・駆動源、17・・基準時間設定器、
18・・目標座標設定器。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) 先端部を駆動源によって駆動制御される可動
腕を持ったロボットにおいて、上記先端部を駆動制御す
るに際し、まず上記先端部の加速度を検出し、ついでこ
の検出された加速度を連続的な時間の関数として計算処
理し、」二連先端部の速度および変位を演算し、この算
出された速度および変位とあらかじめ設定さ力また速度
および位置にそれぞれ対応する値とを比較し、その比較
結果に基づいて」二連先端部を上記の設定された位置へ
駆動すべく制御することを特徴とする、ロボット可動腕
の制御方法。 (2)上記先端部の角加速度を検出し、ついでこの検出
された角速度を連続的な時間の関数として計算処理する
ことにより上記先端部の角変位を演算し、この演算され
た角変位とあらかじめ設定されている姿勢に対応する値
とを比較し、その比較結果に基づいて」二連先端部を上
記の設定された姿勢へ駆動すべく制御する、特許請求の
範囲第1項に記載のロボット可動腕の制御方法。 ゛ (8) l記演算された変位と実際の変位との誤差ヲ
ナくスべく、上記ロボットの作業動作中において、所要
の時間間隔ごとに上記可動腕の先端部をあらかじめ定め
られた原点へ移動させて、この原点の実際の位置に基づ
き、上記演算された変位を較正してから、上記ロボット
を上記作業動作に復帰させる、特許請求の範囲第1項捷
たは第2項に記載のロボット可動腕の制御方法。 (4)上記検出された加速度、その時間の関数としての
計算処理による速度および変位と実際の加速度、速度お
よび変位とのそれぞれの誤差をなくすべく、」二連ロボ
ットの作業動作中において、所要の時間間隔ごとに上記
可動腕の先端部を、あらかじめ定められた2定点を通過
するように移動させて、上記2定点間における実際の瞬
間値における加速度、速度および変位に基づき、演算さ
れた加速度を較正し、さらにこの演算された加速度の時
間の関数としての計算処理による速度および変位を較正
してから、」二連ロボッI・を」−記作業動作に復帰さ
せる、特許請求の範囲第1項ないし第3項゛のいずれか
に記載のロボット可動腕の制御方法。 (5)先端部を駆動制御される可動腕を持ったロボット
において、同可動腕の先端部を駆動するだめの駆動源と
、上記可動腕の先端部の加速度を検出する加速度計を持
った検出器と、同検出器で検出された加速度を時間の関
数として計算処理して上記先端部の速度および変位を計
算し、且つ、上記先端部の位置を削算する演算器と、」
−記可動腕の先端部の位置を設定する設定器と、上記演
算器で演算された位置を上記設定器に設定された位置と
比較して」二連可動腕の先端部を上記の設定された位置
へ1駆動すべく制御信号を」二連駆動源へ送るように結
線された比較器とをそなえ、上記検出器が上記可動腕の
先端部に設けられたことを特徴とする、ロボット可動腕
の制御装置。 (6)−に記検出器に上記可動腕の先端部の角加速度を
検出する角加速度計が併設されて、この角加速度計で検
出された角加速度を時間の関数として計算処理して上記
先端部の角変位を計算し、且つ、」−配光端部の姿勢を
計算する演算器と、上記可動腕の先端部の姿勢を設定す
る設定器と、上記演算器で計算された姿勢を」−配設定
器に設定された姿勢と比較して上記可動腕の先端部を」
−記の設定された姿勢へ駆動すべく制御信号を上記駆動
源へ送るように接続された比較器とが設けられた、特許
請求の範囲第5項に記載のロボット可動腕の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13258982A JPS5922104A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | ロボツト可動腕の制御方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13258982A JPS5922104A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | ロボツト可動腕の制御方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5922104A true JPS5922104A (ja) | 1984-02-04 |
Family
ID=15084871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13258982A Pending JPS5922104A (ja) | 1982-07-29 | 1982-07-29 | ロボツト可動腕の制御方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5922104A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5969280A (ja) * | 1982-10-09 | 1984-04-19 | 株式会社安川電機 | 産業用ロボツト |
| JPS60141493A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-26 | 株式会社アマダ | 産業用ロボツト |
| JPS61281638A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-12 | Fujitsu Denso Ltd | 小容量pcmに於ける分岐中継装置 |
| JP2014196993A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-10-16 | アイシン精機株式会社 | センサユニット、および内面形状検査装置 |
-
1982
- 1982-07-29 JP JP13258982A patent/JPS5922104A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5969280A (ja) * | 1982-10-09 | 1984-04-19 | 株式会社安川電機 | 産業用ロボツト |
| JPS60141493A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-26 | 株式会社アマダ | 産業用ロボツト |
| JPS61281638A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-12 | Fujitsu Denso Ltd | 小容量pcmに於ける分岐中継装置 |
| JP2014196993A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-10-16 | アイシン精機株式会社 | センサユニット、および内面形状検査装置 |
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