JPS59228155A - ヒ−タ−付き感ガスセンサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、感ガスセンサー、詳しくは感ガスセンサーの
感ガス素子を加熱するヒーター付きの感ガスセンサーに
関するものである。

［従来技術］ 一般に、感ガスセンサーとしては、半導体式と接触燃焼
式の二つに大別される。

半導体式の感ガスセンサーは半導体にガスが接触した場
合、半導体の電気抵抗が変化するといった性質を利用し
てガスの存在、あるいはその１ｌｉ１度を検知するもの
である。

一方、接触燃焼式の感ガスレン勺−は、白金線上に触媒
を配し、その触媒にガスを接触させＩζ結果生ずる反応
（燃焼）熱にＪ：る温度」二昇を白金線の電気抵抗変化
を利用して捉え、ガスの存在、あるいはその１１１度を
検出覆るものである。

また、５ｎＯｚ、２１１０、−ｒｉｏ２、ｃｏｏ等の酸
化物半導体を用いた感ガスセンサーは、その使用される
温度条件、担持触媒の種類を選択することにより、特定
のガスの検出対象とする感ガスセンサー、例えばプロパ
ンガスセン１ノ゛−１ＣＯセンザー、０２センサーある
いは湿度センサーと１ノで利用される。

そして、このような感ガスセンサーには、しばしばヒー
ターを付与されることが多い１．ぞの理由としては、付
着した汚れを焼き切ったり、汚れがつきにククシたり、
あるいは感ガス素子の活性を高める為に使われる。

感ガス素子の抵抗変化を検知する為には、外部電源より
既知の電圧を印加し、流れる電流を比較抵抗の電圧変化
とし゛Ｃ検知することが便利である。

従来、この感ガス素子に印加される電源電圧と、ヒータ
ー用に使われる電源電圧は必ずしも一致せず、２種の電
源を必要とすることが多く、それだけ装置のコストを高
くする問題があっｌ〔。

例えば、自動車排ガス用０２センυ−においては、］川
用２、Ｃ００，５ｎＯｚ等の酸化物ト）０体の抵抗変化
を知ることにより、’４１Ｆガス絹成が理論空燃比より
高いか又は低いかを知ることができ、センサー出力（電
気信号）をエンジンシステムヘフィードバックすること
により、排ガス組成を理論空燃比付近の狭い範囲にコン
トロールすることを可能とし、三元触媒を効率よく働か
せる排ガス状態に空燃比をコント［コールし、エンジン
排ガスをよりクリーンに保つことを可能にしている。こ
の場合、０２センサーは、エンジン冷間時等の排ガス温
度が４００℃以下では安定した作動を行なわないことか
ら、０２センサーにヒーターをつけるのが望ましいとさ
れている。しかるにヒーター用電源としてはバッテリー
電源（１２■又は２４Ｖ）を流用づるのが便利であり、
且つヒーター設削上望ましい。一方、０２　ｔン］ノ゛
−用ガス感応素子の抵抗検出用電源は、素子の耐久性上
１〜５Ｖが望ましく、この場合２種の電源が必要であっ
た。

更に、以上のような抵抗変化を検出する感ガス素子を使
う場合のもう一つの問題として、感ガス素子自身の抵抗
値に湿度依存性を有する点が挙げられる。即ち、測定さ
れた抵抗値にはガス濃度にＪ：るものと、温度によるも
のとが混在しており、広い渇匪範囲で使用する場合、セ
ンサーの検出精度を悪くする。この為、ガス感応素子に
加えて温度補償素子を使用し、湿度依存性を小さくづる
ことがなされているが、おのずとセンサー出力１−は高
くなる。

［発明の目的コ 本発明の第１の目的は、本発明者等が間発し、先に開示
した、セラミック碍管中にメタライズ技術を応用したセ
ラミックヒータ−を感ガス素子に応用することにより低
温活性のよい感ガスはンサー、即ち特願１１１５１−８
６８６８号にて、フルミナセラミック碍管の表面に、公
知の厚膜メタライズ法によりタングステンを主体とし１
＝ヒーターパターンを印刷したアルミナグリーンラーー
プ（アルミナと有機樹脂とを混合して作ったフレー１シ
ブルテープ）を貼り合わせ、高温還元雰■１気下で焼結
したセラミックヒータ−を用いた感ガスレン（Ｊ−に、
当該セラミックヒータ−のヒーターパターンに並列に電
圧分割用抵抗パターンを設け、これにより、センサー用
の電圧を取り出すようにし、−一電源で使用を可能にし
たヒーターイマ１き感がスレンサーを提供づることにあ
る。

更に、第２の目的は、前記電圧分割用抵抗パターンの電
圧分割点とヒーター用抵抗パターンのレイアウトを変え
両者の間に温度差を設けると、タングステンメタライズ
は正の抵抗一温度係数を有する為、分割された電圧を温
度により変えることができ、この出カ一温度特性に感ガ
ス素子の固有の温度−出力特性と相反する傾向を持たせ
ることにより、感ガス素子の湿度依存性を減じることを
可能にしたヒーター付き感ガスセンサーを提供すること
にある。

［発明の構成１ かかる目的を達成するための第１の発明の構成は、 ガス成分およびその温度によって電気抵抗値の変化づる
感ガス素子と、 該感ガス素子を保持するセラミック担体と該セラミック
担体に、該感ガス素子を加熱するヒーター用抵抗と、該
ヒーター用抵抗に印加される春雷ｍ電圧を分割する電圧
分割用抵抗とを備えたことを特徴と１゛るヒーター付き
感ガスセンサーを要旨とし又いる。

更に、第２の発明の構成は、」：記第１の発明において
、 電圧分割用抵抗と直列に正の温１９特牲をイＪ”ｌる温
度補償用抵抗を備え、 該ヒーター用抵抗と、該温度補償用抵抗との間に温度差
が生ずるよう、両者を所定長隔離しく設けたことを特徴
とするヒーター付き感ガスセン勺−を要旨としでいる。

［実施例］ 以下に本発明を、実施例を挙げて図面とＪしに説明する
。

まず、第１図は、本発明の実施例に用いられるヒーター
用抵抗と電圧分割用抵抗のプリントパターン１を表わし
ている。

図において、３はアルミナ粉末と１チラール樹脂とを混
合した３００μ厚のグリーンテープ、５はグリーンテー
プ３上タングステン粉末をエチルセルロース樹脂に混合
したメタライズベースＩ−により印刷されたヒーター用
抵抗、７はタングステン粉末若しくはタングステン粉末
にモリブデン又はアルミナを加えたエチルセルロース樹
脂のメタライズペーストににっで印刷された電圧分割用
抵抗を表わしている。イして９ａ　、９ｂ　１９ｃは同
じくメタライズペーストにて印刷された電極、１１は電
極９Ｃからのリード線パターンが接続される電圧分割用
抵抗７の分割点を表わしている。尚１、　第２図の回路
図において、前述の電ｌ１ｊ９ａ　、　９ｃはそれぞれ
ヒーター用抵抗５のパターンに接続される電源供給用の
端子Ａ、Ｃを、電極９ｂは分割された電圧の出力用の端
子Ｂを、分割点１１は接続点Ｅを表わし、ヒーター用抵
抗５の抵抗値はＲ１、電極９ａ−９ｂ間の抵抗値はＲ２
、電極９ｂ−９ａ間の抵抗値はＲ３、そしてヒーター用
抵抗５の発熱部分を特にＧとしで表わしている。

そしてこの様に構成された、各抵抗、電極パターンをプ
リントされたグリーンテープ３は、第３図および第４図
で示す如き外径ｌ＋（５Φ）内部に１２　（０，８Φ）
の４ケの孔１３を有し、アルミナ粉末とブチラール樹脂
によつ゛（成形されたレラミツク担体としての碍管１５
上に巻き付は加湿水素ガス中にて１５００℃にて焼成し
、グリーンテープ３と碍管１５と完全に一体に焼結され
る。

また、本実施例においては酸化物産イト体を用いた感ガ
ス素子としては、本願発明者等によって開発され開示さ
れた、特開昭５６−３５０７１１Ｂ号公報の如き、チタ
ニアを用いた感ガス素子、即１う、第５図で示す比表面
積０．５１τｒ／ｇ以上のルチル型チタニア粉末に比表
面積１　＠／ｇ以」−の白金ブラックを混合し、２本の
電極線１７ａ、１７ｂを挿入してペレット状に成形し、
６００〜１１００℃の酸化雰囲気で焼成し、ついで不活
性ガス雰囲気中で焼成したチタニア素子１９が用いられ
ていいる。

又、本実施例においてはチタニア素子１９出力電圧の湿
度補償を行なう為に、同様に本願発明名等の開発し、既
に開示した、特開昭５６−３７２６９号公報の如きサー
ミスタ、即ち第６図で示す（Ｘ）　Ｃｒ　２０ｇ　−（
Ｙ）　Ｖ２０５−　（Ｚ）　１−ｉＯ２で表わされる三
成分系組成図において、Ｘ＝９９．５　　Ｙ＝０．５　
　Ｚ＝Ｏの点α１Ｘ＝７０　　Ｙ＝３０　　Ｚ＝Ｏの点
α２Ｘ＝０．５　　Ｙ＝３０　　Ｚ＝６９．５（７）点
α３Ｘ＝０．５　　Ｙ＝０．５　　Ｚ＝９９．０の点α
４を結ぶ線分によって形成されＩこ四角形α１、α２、
α３、α４の面栢内の組成の粉末成形物又は該組成物１
００１吊部とＡｉｚＯａ、Ｓｔ　０２、ＣａＯ１Ｂａ　
Ｏ，ＭｇＯ及びＭｎ０ｚの中から選ばれた１種以上が２
０重印部以下とよりなる粉末を、第７図に示１ように、
２本の電極線２１ａ、２１ｂを平行に挿入しペレッ１〜
状に成形し、該成形物を１６００℃以下の不活性ガス雰
囲気で焼成したサーミスタが用いられている。

次に、第８図は本実施例のヒーター付き感ガスセンザー
（以下、中にセンサーとも呼ぶ）２５の全体の構成を表
わし、図において、２７は金属製のチューブよりなる外
側ケース、２９は外側ケース２７内に嵌着もしくは螺合
される金属製の継手、３コは継手２９の一端に嵌着され
、図示せぬ被測定装置にレンツ−２５を固定する為のね
じ３３が刻設された主金具、３５は主金具３１に′ＴＩ
嵌されたガスケツｌ−１３７はステンレス等でつくられ
、ガス尋入孔３９を有し、主金具３５に嵌楕されたセン
サ−２５先端部保護用のカバー、４１ｉ１　’Ｊいし４
１ｃはリード線を表わし、リード線４１　ａ　ＬＪ：４
３で示１部分にて二本のニッケル線にろうイ］りされ、
その内の一本のニッケルＦ＋！４．５は３つの穴を有す
る絶縁性のプレー１−４６の穴を通って電極９ａに、他
の一本のニッケル線４７は同様にプレー１〜４６を介し
て、第９図に示づように、Ｉｒ’、Ｉ管１５内の孔１３
に挿通され、碍管１５先端にチタニア素子１９と平行に
耐熱性のセメン１〜にて固定されたサーミスタ２３の一
つの電極線２１ａにろう付けされている。また、リード
１４１ｂは＝１９’ｒ示１部分′ｃ＝本のニッケル線４
９．５１にろうイ・］けされ、同ニッケル線４９．５１
は、プレー１−４６を介し−Ｃ夫々碍管１５内の孔１３
に挿通されチタニア素子１９の一方の電極線１７ａとυ
−ミスタ２３の一方の電極線２１ｂとにろう付けされ、
リード線４１０は５３で示１部分にてニッケル線５５に
ろう付けされ、ニッケル線５５は電極９Ｃにろう付けさ
れている。またプリントパターン１の電４ａｉ９　ｂに
鵠ニッケル線５７がろう付けされ、ニッケル線５７はプ
レート４６を介して、碍管１５の孔１３に挿通され、チ
タニア素子１９の電極線１７ｂにろう付けされている。

尚、第９図は各ニッケル線とチタニア素子１９、サーミ
スタ２３との接続状態を模式的に示した斜視図を表わし
ている。

更にニッケル線４５．４７、／１．９．５１及び５７の
挿通された碍管１５は主金具３１の軸芯に嵌挿され、継
手２９内に耐熱性のセメント５９にて固定され、リード
ａ　４１　ａないし４１ｃは、電気的絶縁性を右するシ
リコン樹脂６１にて外側ケース２７内で相互に絶縁され
固定されている。そしてリード１１４１ａ、４１ｃにバ
ッテリー（１２Ｖ）より電源が供給されセンサー２５出
力はリード線４１ｂにより外部に導かれる。

したがって、使用状態に４３ける結線図は第１０図のよ
うになり、この場合抵抗ＩＬ＋、Ｒｚ　、　Ｒａの値は
各々６．５，６５Ωどされ（いる。

以上のように４ｖ成されたセンサー２５を用いた場合の
実験結果を以下に述べる。

まず、センサー２５を２立のＥＦＩ（電子式燃料噴射）
制御のエンジンの０２１！ンリー−によるフィードバッ
クシステム中に装着した。

（非ガス温Ｉ６２５０℃のとぎ、チタニア素子１９は４
２０℃に保温され安定なフィードバックが可能であった
。このとき第２図中Ｂ−Δ間には１ｖの出力が出ており
、その結果！’！１０図中センサー出力Ｖｏは排ガスが
リッチ（空燃比Δ／　Ｆ　＜　１４　。

６）の場合的１ｖ、リーン（Δ／Ｆ＞１４．６）の場合
的ＯＶと通常のフィードバックシステムにとって都合の
良い出力変化が得られた。そして、フィードバック系の
発振周波数は アイドリンク時、排ガス温２５０℃のとき０゜３　Ｈｚ
、そして２００Ｏｒ、ｐ、ｍ、、ｆＪｌガス調４５０℃
のとき１．６Ｈｚ と良好な制御が行なわれた。（周波数が高い稈、制御が
安定となる。）尚、比較量として用いたヒーターのない
センサ゛−ではアイドリング時の２５０℃ではセン→ノ
ー２５の活性が不足しフィードバック制御が不可能であ
った。このように本実施例のセンサー２５は、低温から
高温領域に至るまで安定した制御が可能であり、外部電
源も一種類で良く、センサー２５のリード線も従来のヒ
ーター句ぎセンサーが５本であったのを３本に減らずこ
とが可能となっ７００以上の実験値をプロワ！〜したグ
ラフを第１１図に本実施例を実線で、比較量を破線で示
す。

次に本発明の第２実施例について説明づる。

本実施例においては、前述実施例のサーミスタ２３を省
き、代りに５０にΩの抵抗Ｒｅを設Ｃノで第１２図の如
ぎ結線図に示す構成にされている。

その他の構成は前述実施例と同様である。

本実施例を第１実施例と同様の条件下でテストを行なっ
た結果、排ガス温２５０℃のとき、排ガスがリッチの場
合は約０．８Ｖ、リーンの場合約ＯＶとほぼ満足の得ら
れる結果が１４られた。また、排ガス湿度が高くなると
、リッヂの場合′の出力は約０．９Ｖと向上するものの
り一ンの場合の出力が上昇し、排ガス湿度８００℃で約
０．４Ｖとなり、作動範囲が第１実施例に比べやや狭く
イするものの実用には耐えられる。尚、以上の実験ｂＴ
ｊを第１１図中に一点鎖線にで示す。

本実施例の如くサーミスタを固定抵抗Ｒｃに安えると、
排ガスが高温のときリーン時の出力がａ％くなる。この
理由を説明する為に、第１３図としてヂタニ）′素子の
リッチ・リーン時の内部抵抗（センサー抵抗）を示Ｊ０ 排ガス高温時には、リーンの場合のセンリ゛−低抗（第
１３図中破線で示す。）が固定抵抗Ｒｃ５０　ＫΩ〈実
線）に比べ低い。しかし、センサー−出力は比較抵抗（
固定抵抗ＲＣ）とセンサー抵抗との比（比較抵抗／全抵
抗）で決まる為、リーン時の出力が高くなる。低温時に
は、リッチの場合のセンサー抵抗は破線のように急激に
高くなる。これは素子の感ガス特性が急におちる為であ
る。、従って第１実施例中、比較量として示したヒータ
ーのないセンサーのリッチ時の出力は２５０℃では急激
に落ちる。

以上、第１実施例、第２実施例にて説明したようにヒー
ターをつりだ場合、ヒーターの熱により低温時の感ガス
特性は悪くならず、排ガス低温時にリッチ時のセン１ノ
ー−抵抗の上昇が抑制されることが理解できる。

次に、前述実施例のプリントパターン１を変えた第２の
発明に対づる実施例を第３実施例、第４実施例として説
明する。

第１４図は、第３実施例のプリントパターン１−１を表
わし、第１実施例と比べ、電圧分割用抵抗７の電極９ａ
、、９ｃへの接続を、ヒーター用抵抗５の幅広部分の中
程の点、即ち６３ａ　、６３ｂで示す接続点で行ない、
更に分割点を６４で示す位置に変更した場合を示してい
る。

また第１５図は、第４実施例のプリントパターン１−２
を表わし、第１実施例と比べ、電圧分割用抵抗７の電極
９ａ　、９ｃへの接続を、ヒーター用抵抗５の発熱部分
Ｇ近くに、即ち６５ａ　、６５ｂで示す接続点で行ない
、更に分割点を６４で示す位置に変更した場合を示して
いる。

第３実施例、第４実施例のプリン１−パターン１−１．
１−２を第２図同様に回路図で示づ之、第１６図の如く
なる。

即ち、電極９ａ　、９ｃへの接続を変更した為に、第２
図に比べ、Ｒａ、Ｒ５で示づよう新たな抵抗が加わった
ことになる。

この様な第１６図で示す回路図のＡＣ間にバッテリー電
圧１１Ｖを印加した場合、電圧分割用抵抗７の抵抗値が
以下の表１の如く変わり、また排ガス湿度の変化により
、チタニア累：ｊ’　１９へ印加される［３−Ａ間電圧
は第１７図に示づように変わる。尚、比較の為、表１及
び第１７図中には第１実施例の場合も共に示している。

［表１］ −ＲＲＲＲＲｔ 第１実施例　６．０ｒＬ５．０ｒＬ６５ｔＬＯｎ　　　
Ｏｎ。

第３実施１１ｉ！Ｉ　　６．０　３．０　　Ｂ５　０．
２５　　０．２５７４・・　　ＩＩ６．０　　１．２　
６５　　０．５　　　　０．５（ただし、常温時） 即ち、第１実施例に比べ、第３実施例、第４実施例のＢ
−ＡＩ圧が第１７図のように変わるのは次の埋山による
。

タングステンメタライズは抵抗の温度係数が約＋０．４
０％／℃と正の値を有する。第２図のＡＣ間にはバラｊ
り一電圧を印加づるとＲ１はヒーター作用をし、発熱し
てそれ自身の抵抗値も高くなる。このとき、第１４図、
第１５図でＲ１に相当するＧと、抵抗Ｒ４，１（５とは
パターンの位置かはなれているのでＲ１の発熱の影響を
あまり受けず、抵抗変化はＲ１はと大きくは変わらない
。

２５０から８００℃になるときＲ１は約２倍高くなるの
に対し、Ｒａ　、Ｒ５は１．３倍程度の変化であった。

またＢ−Ａ間の電圧Ｖいは以下の式で表わされ、 Ｖ％Ａ＝　Ｉ　Ｒａ　＋　Ｉ　２　Ｘ　Ｒ２Ｉ：全電流 １２　：Ｒ２、Ｒａを流れる電流 １犬１が温度により大きく変化することから、ｌもｆｉ
ｌｌにより大きく変化りる。

この為、Ｒ４、Ｒ６のく特にＲ４がＢ　−Ａ　１Ｍ＋電
圧に大きく関与する。）大きなパターンはど、即ち第４
実施例のようにＶ８＾の温度係数が大ぎくなることから
、温度補償用抵抗として作用し、第１７図の如き電圧が
出力されることとなる。

上述用３、第４実施例のプリン１〜パターンを第２実施
例と同様に碍管１５にサーミスタを用いずに接続し実験
を行なったところ、第１８図の如きセンサー出力が得ら
れｌこ。図中一点ｔＪＡ線は第２実施例、実線は第３実
施例、破線はＩ（４実施例を表わしている。

したがって、第３実施例、第４実施例のように、タング
ステンメタライズのヒーターと、ヒータ、−用抵抗５の
一部を利用し電圧分割用抵抗７に直列に設けた温度補償
用抵抗との温度差を利用し１＝場合は、濡度補償用ザー
ミスタを使わなくとも広い範囲の温度領域で作動させる
ことができ、安価な信頼性の良い０２センリ”−を提供
することができるようになる。

尚、Ｒぢ＝Ｏ１即ち接続点６３ｔ）、６５ｂに直線電極
９Ｃをつなぐようにしてもよい。また前述実施例におい
てプリンｌ−パターンを碍管表面に貼着したが、碍管中
に設けてもよく、またセラミック担体としては管状のも
のでなく、平板状のものであっても良い。

［発明の効果］ 以上詳述したにうに本発明ヒーター付き感ガスセンサ−
は、第１に感ガス素子に供給する電源を従来にり感ガス
素子活性化の為に用いてい１＝ヒーターの電源より抵抗
にて電圧分割し工取り出すようにしている。

この為、本発明によれば、ヒーター付ぎ感ガスセンサー
の電源は、ヒーター用の電源のみの一種類でよく、また
、センサーへのリード線の数を減らずことが可能となる
。

第２に本発明のヒーター付き感ガスセンサーは、前記電
圧分割を行なう抵抗と、直列に温度補償用抵抗を設け、
該温度補償用抵抗とヒーター用抵抗との間を温度差が生
じるＪ：うに隔姻している。

この為、本発明によれば、従来のヒーター化き感ガスセ
ンサーのように、温度補償用の勺−ミスタを感ガス素子
近傍に設けなくても、広い動作温度範囲にて使用するこ
とが可能どなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に用いられるヒーター用抵
抗、電圧分割用抵抗をプリントしたグリーンテープのプ
リントパターンを表わす平面図、第２図は同プリントパ
ターンの回路図、第３図は第１実施例の碍管を示す断面
図、第４図は第３図Ｘ−Ｘ線における断面図、第５　Ｉ
ｌｌ　ｔよ第１実施例に用いられるチタニア素子を示す
斜視図、第６図は第１実施例に用いられるサーミスタの
組成を表わす三成分系組成図、第７図は同じく勺−ミス
、夕を示す斜視図、第８図は第１実施例のヒーター付さ
感ガスセンサーの全体を表わす断面図、第９図はその一
部を模式的に示した斜視図、第１０図は第１実施例の使
用状態における結線部、第１１図は第１実施例、第２実
施例の実験結果を示すグラフ、第１２図は第２実施例の
使用状態にお【ノる結線図、第１３図はセンサー抵抗の
変化を示すグラフ、第１４図は第３実施例のプリン１−
パターンを示す平面図、第１５図は第４実施例のプリン
トパターンを示覆一平面図、第１６図は第３実施例おに
び第４実施例のプリントパターンの回路図、第１７図は
第１実施例、第３実施例および第４実施例の端子Ｂ−Ａ
ＩＪＩ電圧を比較覆るグラフ、第１８図は第２実施例な
いし第４実施例のセンサー出力を示すグラフを表わして
いる。 １．１−１．１−２・・・プリントパターン５・・・ヒ
ーター用抵抗（Ｒ１〉 ７・・・電圧分割用抵抗（Ｒｚ、Ｒａ）９ａ　、　９ｂ
　、、　９ｃ　−・・￥ａ４４１５・・・碍管 １９・・・チタニア素子（＠ガス素子）２５・・・ヒー
ター付き感ガスセンサーーＲ４・・・温度補償用抵抗 代理人　弁理士　定立　勉 はか１名 第１図 第２図 第３図 第４図 ３ ３ 第５図 ９ （ １７ａ　　１７ｂ 第６図 一一一□−−”ＴｉＯ２／Ｚノ 第７図 ｉｔａ　　　ｉｔｂ 第９図 第１０図 旧トカ゛ス羞度

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　ガス成分およびその濃度によって電気抵抗値の変化
   する感ガス素子と、 該感ガス素子を保持づるセラミック担体と該セラミック
   担体に、該感ガス素子を加熱覆るヒーター用抵抗と、該
   ヒーター用抵抗に印加される電源電圧を分割する電圧分
   割用抵抗とを備えたことを特徴とするヒーター付き感ガ
   スセンυ−０２ヒーター用抵抗、電圧分割用抵抗がタン
   グステンおよび／またはモリブデンを含むセラミックス
   よりなる特許請求の範囲第１項に記載のヒーター付き感
   ガスセンサー。 ３　感ガス素子が酸化物半導体からなる特許請求の範囲
   第１項または第２項に記載のヒーター付き感ガスセンサ
   ー。 ４　酸化物半導体がヂタニアを含み、ペレット状にされ
   た特許請求の範囲第３項に記載のヒーター付き感ガスセ
   ンサー。 ５　セラミック担体が、感ガス素子リード線挿通用の孔
   を有Ｊる碍管よりなり、ｈｉＪ管に該感カス素子をセメ
   ント付けしてなる特許請求の範囲第１項ないし第３項の
   いずれかに記載のヒーターイ」さ感ガスセンサー。 ６　ガス成分およびその濃度によって電気抵抗値の変化
   する感ガス素子と、 該感ガス素子を保持するセラミック担体と、該セラミッ
   ク担体に、該感ガス素子を加熱覆るヒーター用抵抗と、
   該ヒーター用抵抗に印加される電源電圧を分割する電圧
   分割用抵抗とを備えたヒーター付き感ガスセンサーにお
   いて、該電圧分割用抵抗と直列に正の温度特性を有づる
   温度補償用抵抗を備え、 該ヒーター用抵抗と、該温度補償用抵抗との間に温度差
   が生ずるよう、両者を所定艮隔１ｉｌｌ　ｌノＣ設置プ
   たことを特徴とするヒーター付き感ガスはンリー　〇