JPS59230660A - 霧化装置 - Google Patents
霧化装置Info
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- JPS59230660A JPS59230660A JP58107040A JP10704083A JPS59230660A JP S59230660 A JPS59230660 A JP S59230660A JP 58107040 A JP58107040 A JP 58107040A JP 10704083 A JP10704083 A JP 10704083A JP S59230660 A JPS59230660 A JP S59230660A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- piezoelectric vibrator
- pressurizing chamber
- cooling
- circulation system
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
- B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
- B05B15/58—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter preventing deposits, drying-out or blockage by recirculating the fluid to be sprayed from upstream of the discharge opening back to the supplying means
Landscapes
- Pressure-Spray And Ultrasonic-Wave- Spray Burners (AREA)
- Special Spraying Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油・軽゛油等の液体燃料、水、薬液などの
液体を微粒化するための霧化装置に関し、さらに詳しく
言−えは、圧電振動子なとの電気的振動子により液体を
加振してノズルより噴射する形式の霧化装置に関するも
のである。
液体を微粒化するための霧化装置に関し、さらに詳しく
言−えは、圧電振動子なとの電気的振動子により液体を
加振してノズルより噴射する形式の霧化装置に関するも
のである。
従来例の構成とその問題点
従来このような形式の霧化装置は、インクジェット記録
装置のインク噴霧装置として主に用いられており、第1
図に示すような構成が代表的である。第1図において、
インク室1の一端にはオリフィス2が設けられ、他端に
は圧電振動子3、振動板4が設けられてボディー5に接
層されている。
装置のインク噴霧装置として主に用いられており、第1
図に示すような構成が代表的である。第1図において、
インク室1の一端にはオリフィス2が設けられ、他端に
は圧電振動子3、振動板4が設けられてボディー5に接
層されている。
インク室1はバイブロにてインクタンク7と図のように
接続されインクが供給されるよう構成されている。
接続されインクが供給されるよう構成されている。
ボディー5はオリフィス2と同軸の開口8を設けられた
ケース9で覆われ、風路10中のファン11による送風
が図の矢印のように導かれる構成となっている。
ケース9で覆われ、風路10中のファン11による送風
が図の矢印のように導かれる構成となっている。
圧電振動子3に対して第2図のような交流電圧か供給さ
れると、圧電振動子3および振動板4は非対称バイモル
フ構造であるので図中の破線のようなたわみ振動を生じ
る。このたわみ振動により生じたインク室1内の圧力波
は、インク室1内のインクを伝搬して昇圧されながらオ
リフィス2に達する。このため、オリフィス2からは図
のようにインク液滴12が噴射される。
れると、圧電振動子3および振動板4は非対称バイモル
フ構造であるので図中の破線のようなたわみ振動を生じ
る。このたわみ振動により生じたインク室1内の圧力波
は、インク室1内のインクを伝搬して昇圧されながらオ
リフィス2に達する。このため、オリフィス2からは図
のようにインク液滴12が噴射される。
送風71ン11による図中の矢印のような気流は、液滴
12の飛窃速度の増大と飛翔方向の安定化を果すもので
ある。
12の飛窃速度の増大と飛翔方向の安定化を果すもので
ある。
しかしながらこのような従来の積比装置は以下のような
欠点を有していた。
欠点を有していた。
すなわち、液体の噴霧量を増大するために圧電振動子の
駆動電力を大きくした場合には、圧電振動子の温度上昇
が大きくなってしまったり、また高温雰囲気中での使用
を行おうとするとやはり圧電振動子の温度が置くなって
しまうという欠点を有していた。とりわけ電気的振動子
を圧電セラミックなどで構成する場合には、高温条件下
での動作は、分極劣下なとの重大な欠点を生じ、さらに
、接着構造を用いる場合には、その接着強度の低下によ
る特性劣下が生じるなとの不都合があった。
駆動電力を大きくした場合には、圧電振動子の温度上昇
が大きくなってしまったり、また高温雰囲気中での使用
を行おうとするとやはり圧電振動子の温度が置くなって
しまうという欠点を有していた。とりわけ電気的振動子
を圧電セラミックなどで構成する場合には、高温条件下
での動作は、分極劣下なとの重大な欠点を生じ、さらに
、接着構造を用いる場合には、その接着強度の低下によ
る特性劣下が生じるなとの不都合があった。
このため、従来の霧化装置は非常に少ない霧化量で使用
され、圧電振動子の消費電力が著しく小さくてよく、し
かも雰囲気温度がUj<ないインクジェット記録装置な
との用途にのみ用いられており、極めて汎用性に欠ける
ものであった。
され、圧電振動子の消費電力が著しく小さくてよく、し
かも雰囲気温度がUj<ないインクジェット記録装置な
との用途にのみ用いられており、極めて汎用性に欠ける
ものであった。
発明の目的
本発明はこのような従来の欠点を一掃した霧化装置を提
供するものである。
供するものである。
その目的とするところは、高温雰囲気中で使う場合や、
大量噴霧に伴い圧電振動子などの電気的振動子の損失か
大きくなった場合でも、良好な冷却作用により電気的振
動子の温度上昇を防止して安定な性能と高い信頼性を維
持することかでき、従って様々な用途に適用できる汎用
性の高い霧化装置を提供することである。
大量噴霧に伴い圧電振動子などの電気的振動子の損失か
大きくなった場合でも、良好な冷却作用により電気的振
動子の温度上昇を防止して安定な性能と高い信頼性を維
持することかでき、従って様々な用途に適用できる汎用
性の高い霧化装置を提供することである。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するために以下のような構成に
より成るものである。
より成るものである。
すなわち、加圧室を有するボディーと、加圧室に臨んで
設けたノズルと、加圧室の液体を加振して前記ノズルよ
り噴霧する電気的振動子と、前記加圧室に液体を供給す
る液体供給系とを備えると共に、前記ボディーを直接又
は間接的に冷却するための冷却液循環系を設ける構成と
したものであり、この冷却液循環系により、噴霧量を多
くして電気的振動子の損失が増大した場合や、高温雰囲
気中で動作する場合でも、電気的振動子やその接着部分
等のIA度」二昇が低く押えられる。
設けたノズルと、加圧室の液体を加振して前記ノズルよ
り噴霧する電気的振動子と、前記加圧室に液体を供給す
る液体供給系とを備えると共に、前記ボディーを直接又
は間接的に冷却するための冷却液循環系を設ける構成と
したものであり、この冷却液循環系により、噴霧量を多
くして電気的振動子の損失が増大した場合や、高温雰囲
気中で動作する場合でも、電気的振動子やその接着部分
等のIA度」二昇が低く押えられる。
実施例の説明
第3図は本発明の一実施例を示す霧化装置の断面図であ
る。
る。
図に於いて、ボディー13は内部に直径5〜15咽で深
さ1〜5間の円筒形の加圧室14が設けられており、こ
の加圧室14の円形の一面を覆うようにノズル板15が
装着されている。ノズル板15は、厚さが30μm〜1
00μmnの金属板で中央部に直径30 l1m〜10
0μmのノズル16が複数個設けられている。このノズ
ル板15には、直径が5〜16mmで厚さ0.5〜2
mmのリング状圧電振動子17が図の様に装着されてお
り、圧電振動子17の中央部分は開口18が設けられて
いる。従って、この開口18にノズル16が臨む構造ス
なっている。
さ1〜5間の円筒形の加圧室14が設けられており、こ
の加圧室14の円形の一面を覆うようにノズル板15が
装着されている。ノズル板15は、厚さが30μm〜1
00μmnの金属板で中央部に直径30 l1m〜10
0μmのノズル16が複数個設けられている。このノズ
ル板15には、直径が5〜16mmで厚さ0.5〜2
mmのリング状圧電振動子17が図の様に装着されてお
り、圧電振動子17の中央部分は開口18が設けられて
いる。従って、この開口18にノズル16が臨む構造ス
なっている。
噴霧される液体はバイブ19にて外部のタンク等(図示
せず)から液面へを陥一定に維持するレベラー20に送
られ、レベラー20はバイブ21にて加圧室14.に接
続されており、このようにして液体供給系が構成されて
いる。
せず)から液面へを陥一定に維持するレベラー20に送
られ、レベラー20はバイブ21にて加圧室14.に接
続されており、このようにして液体供給系が構成されて
いる。
従って、パイプ21内の液面Bは、レベラー20の液面
制御作用により、動作停止時は図のように液面Aと同じ
高さにある。
制御作用により、動作停止時は図のように液面Aと同じ
高さにある。
動作時は、ますモータ22により送風ファン23か起動
され、空気がオリフィス24を通って図の矢印のように
送られ旋回器25にて旋回気流となる。
され、空気がオリフィス24を通って図の矢印のように
送られ旋回器25にて旋回気流となる。
この送風ファン23により、オリフィス24の下流の負
圧発生部26には、例えは30〜40+n+nAq程度
の負圧力が尭生じ、この負圧力が排気パイプ27、およ
び加圧室14を介して液面Bに印加される。従って、液
面Bは上昇して液面Cの高さとなって図のような状態と
なり、加圧室14内に液体か満たされる。
圧発生部26には、例えは30〜40+n+nAq程度
の負圧力が尭生じ、この負圧力が排気パイプ27、およ
び加圧室14を介して液面Bに印加される。従って、液
面Bは上昇して液面Cの高さとなって図のような状態と
なり、加圧室14内に液体か満たされる。
このような状態に達してから圧電振動子17に第4図(
a)、(ハ)、又は(C)のような交流電圧が必要な噴
霧量に応じて供給される。
a)、(ハ)、又は(C)のような交流電圧が必要な噴
霧量に応じて供給される。
圧電振動子17のノズル板15との接合面と、この面に
対向する面には図示していないが電極が設けられており
厚み方向に分極されている。圧電振動子17は上記交流
電圧が電極間に供給されるとその極性に応じてその直径
方向に伸縮歪を生じる。
対向する面には図示していないが電極が設けられており
厚み方向に分極されている。圧電振動子17は上記交流
電圧が電極間に供給されるとその極性に応じてその直径
方向に伸縮歪を生じる。
この伸縮歪によりノズル板15と圧電振動子17とは、
非対称バイモルフ振動体として図の破線のようなたわみ
振動を生じ、この結果ノズル16は図の左右方向に振動
し、加圧室14内の液体が加振されてノズル16より#
1F42Bとして噴霧される。
非対称バイモルフ振動体として図の破線のようなたわみ
振動を生じ、この結果ノズル16は図の左右方向に振動
し、加圧室14内の液体が加振されてノズル16より#
1F42Bとして噴霧される。
このようにして圧電振動子17に交流電圧を加えるのみ
でレベラー20から液体を吸い上げながら9tlNする
ことができる。この液体の吸い上は作用はノズル16に
生じる液体の表面張力により生じるものである。
でレベラー20から液体を吸い上げながら9tlNする
ことができる。この液体の吸い上は作用はノズル16に
生じる液体の表面張力により生じるものである。
圧電振動子17に前述のような交流電圧を加えることに
より圧電振動子17は電力損失による温度上昇を生じ、
この温度上昇は噴霧量を大きくする程大きくなっていく
。
より圧電振動子17は電力損失による温度上昇を生じ、
この温度上昇は噴霧量を大きくする程大きくなっていく
。
周知の如く圧電振動子17は高温下での動作はその電気
機械変換効率の低下や劣下が生じ、極端な場合には破損
に至るなどその信頼性低下が著しい。
機械変換効率の低下や劣下が生じ、極端な場合には破損
に至るなどその信頼性低下が著しい。
そこで放熱タンク29、循環ポンプ30、熱交換部31
、パイプ32.33より成る冷却液循環系が設けられて
いる。
、パイプ32.33より成る冷却液循環系が設けられて
いる。
冷却数は循環ポンプ30により図の矢印のように循環さ
れるのでボディー13は良好に冷却される。
れるのでボディー13は良好に冷却される。
このため、圧電振動子17の損失熱がボデ(−13を介
して放熱されることとなり、圧電振動子の温度」−昇が
小さく押えられ、その特性変化や性能劣下等の不都合を
防止することができ、自由に大QFJ RZ 童を得ら
れ、しかもコンノ々クト性の高い霧化装置とすることが
できる。
して放熱されることとなり、圧電振動子の温度」−昇が
小さく押えられ、その特性変化や性能劣下等の不都合を
防止することができ、自由に大QFJ RZ 童を得ら
れ、しかもコンノ々クト性の高い霧化装置とすることが
できる。
また、このような冷却液循環系を設けることにより尚温
雰囲気中においても圧電振動子17の温度を低い温度に
維持することができ、筒温中に直かれることによる特性
変化や性能劣化を生じることなく高温雰囲気中でも動作
させることが可能となる。
雰囲気中においても圧電振動子17の温度を低い温度に
維持することができ、筒温中に直かれることによる特性
変化や性能劣化を生じることなく高温雰囲気中でも動作
させることが可能となる。
このように、大噴霧量を得る場合に生じる圧電振動子1
7の自己発熱によりひき起こされる圧電振動子17自身
の特性変化や性能劣下、および接合層の熱応力による劣
化等を防止すると共に、高温雰囲気中での動作時も圧電
振動子17等を良好に冷却して高い信頼性の保証を行う
ことができるので、非常に汎用性の旨い霧化装置を実現
することができる。
7の自己発熱によりひき起こされる圧電振動子17自身
の特性変化や性能劣下、および接合層の熱応力による劣
化等を防止すると共に、高温雰囲気中での動作時も圧電
振動子17等を良好に冷却して高い信頼性の保証を行う
ことができるので、非常に汎用性の旨い霧化装置を実現
することができる。
第5図は本発明の他の実施例を示す霧化装置Δの断面図
であり、第3図と同符号のものは相当する構造体であり
説明を省略する。
であり、第3図と同符号のものは相当する構造体であり
説明を省略する。
第5図において、冷却液は噴霧されるべき液体と兼用さ
れており、液体は、放熱タンクを兼ねたタンク29′か
らパイプ33を経て循環ポンプ30にて図の矢印のよう
に流される。そして、リターンパイプ32の入口34よ
りタンク29′にオーバーフローしてもどる構成となっ
ている。このため、ケース35内の液面Aは陥一定に維
持されると共に、パイプ21、およびケース35を介し
てボテイー13か間接的に循環液にて冷却されるように
構成されている。
れており、液体は、放熱タンクを兼ねたタンク29′か
らパイプ33を経て循環ポンプ30にて図の矢印のよう
に流される。そして、リターンパイプ32の入口34よ
りタンク29′にオーバーフローしてもどる構成となっ
ている。このため、ケース35内の液面Aは陥一定に維
持されると共に、パイプ21、およびケース35を介し
てボテイー13か間接的に循環液にて冷却されるように
構成されている。
このような構成は、第3図の実施例のものと比へると冷
却効果が少し減少するけれども、装置全体の構成が簡単
で、しかも、圧電振動子17の自己発熱による高温化、
および高温雰囲気中での動作に伴って生じる特性変化あ
るいは劣下の問題を解消し、筒信顆性と高い汎用性を実
現することができる。
却効果が少し減少するけれども、装置全体の構成が簡単
で、しかも、圧電振動子17の自己発熱による高温化、
および高温雰囲気中での動作に伴って生じる特性変化あ
るいは劣下の問題を解消し、筒信顆性と高い汎用性を実
現することができる。
第6図は本発明のさらに他の実施例であり、第5図と同
符号は相当する構造体であり説明を省略する。
符号は相当する構造体であり説明を省略する。
第6図において、ボディーの冷却は、パイプ21および
ケース35と共に、放熱体36を介して行われる構成と
なっている。また、図のように圧電振動子17の前面を
覆うように構成することによって前方から圧電振動子に
向って放射される輻射熱を阻止する作用を持たせること
も可能であり、噴霧液滴28を高温場に向って噴霧させ
るような用途の場合には非常に有効である。
ケース35と共に、放熱体36を介して行われる構成と
なっている。また、図のように圧電振動子17の前面を
覆うように構成することによって前方から圧電振動子に
向って放射される輻射熱を阻止する作用を持たせること
も可能であり、噴霧液滴28を高温場に向って噴霧させ
るような用途の場合には非常に有効である。
第7図は、第5図の霧化装置を適用した燃焼装置の構成
を示す断面図で第5図と同符号は相当する構造体である
。
を示す断面図で第5図と同符号は相当する構造体である
。
第7図において、灯油はカートリッジタンク36から放
熱タンクを兼用したタンク29′に送られる。
熱タンクを兼用したタンク29′に送られる。
そして循環ポンプ30にてケース35とタンク29′の
間で循環し、ケース35内のボディーを冷却するよう構
成されている。
間で循環し、ケース35内のボディーを冷却するよう構
成されている。
燃焼ファン23と送風ファン(負圧発生用ファン)23
′とがモータ22で駆動され、灯油の液面は図のCの位
置に吸い上げられ、その後ケース35内の圧電振動子が
駆動される。
′とがモータ22で駆動され、灯油の液面は図のCの位
置に吸い上げられ、その後ケース35内の圧電振動子が
駆動される。
従って、灯油の微小液滴28が図のように噴霧され、ヒ
ータ37にて飛翔1月こ気化し、燃焼空気と共にバーナ
38に送られて燃焼する。39は点火器、40は火炎、
41はフレームロッド、42は対流ファンである。
ータ37にて飛翔1月こ気化し、燃焼空気と共にバーナ
38に送られて燃焼する。39は点火器、40は火炎、
41はフレームロッド、42は対流ファンである。
燃焼量は、第4図(a)、(ロ)および(C)に示すよ
うに圧電振動子の駆動電圧を調節すると共に、電磁的な
比例制御弁43によりオリフィス24の開度を調節して
行われる。
うに圧電振動子の駆動電圧を調節すると共に、電磁的な
比例制御弁43によりオリフィス24の開度を調節して
行われる。
このように本発明の霧化装置は、ヒータ37や、バーナ
38の発熱に基づく高温雰囲気条件下においてもその有
効な冷却作用により圧電振動子の温度上昇を抑制して、
安定な動作と高信頼性を保証することができ、コンパク
トで制御性が良い燃焼装置を実現することができる。
38の発熱に基づく高温雰囲気条件下においてもその有
効な冷却作用により圧電振動子の温度上昇を抑制して、
安定な動作と高信頼性を保証することができ、コンパク
トで制御性が良い燃焼装置を実現することができる。
発明の効果
以上に述べたように本発明によれば、ボディーに設けた
加圧室にノズルを臨ませ電気的振動子により加圧室の液
体を加振するよう構成すると共に、冷却液循環系を設け
、ボディーを直接又は間接的に冷却する構成としたので
、非常にコンパクトな構造でも大量の噴霧を行うことが
でき、しかも大量噴霧を行う場合に特に著しい電気的振
動子の自己発熱による温度上昇を抑制し、それによる特
性変化あるいは劣化等の問題を解決することができる。
加圧室にノズルを臨ませ電気的振動子により加圧室の液
体を加振するよう構成すると共に、冷却液循環系を設け
、ボディーを直接又は間接的に冷却する構成としたので
、非常にコンパクトな構造でも大量の噴霧を行うことが
でき、しかも大量噴霧を行う場合に特に著しい電気的振
動子の自己発熱による温度上昇を抑制し、それによる特
性変化あるいは劣化等の問題を解決することができる。
さらに高温雰囲気下に於る1す1作時に生じる同様の問
題をも解消することができ、大量噴霧時あるいは高温雰
囲気中の動作時に於ても、非常に安定な性能と高信頼性
を保証することができるものである。従って極めて汎用
性が高く、かつ、コンパクトな霧化装置を実現すること
ができ、その工業的価値は非常に太きいものである。
題をも解消することができ、大量噴霧時あるいは高温雰
囲気中の動作時に於ても、非常に安定な性能と高信頼性
を保証することができるものである。従って極めて汎用
性が高く、かつ、コンパクトな霧化装置を実現すること
ができ、その工業的価値は非常に太きいものである。
第1図は従来の霧化装置の断面図、第2図は同装置の圧
電振動子駆動電圧波形図、第3図は本発明の一実施例の
霧化装置の断面図、第4図(a)、(ハ)、(C)は同
装置の噴霧量に応じた圧電振動子の駆動電圧波形図、第
5図は本発明の他の実施例を示す霧化装置の断面図、第
6図は同さらに他の実施例を示す霧化装置の断面図、第
7図は第5図の霧化装置を適用した燃焼装置の断面図で
ある。 13 ・・・ボディー、14・・・・加圧室、16・−
・・・ノズル、17 ・・電気的振動子(圧電振動子)
、19〜21 ・・・液体供給系(19,21・・・パ
イプ、20・・・・・レベラー)、29〜33 冷却
液循環系(29・・・放熱タンク、30・・・循環ポン
プ、31 ・熱交換部、32.33 ・パイプ)。
電振動子駆動電圧波形図、第3図は本発明の一実施例の
霧化装置の断面図、第4図(a)、(ハ)、(C)は同
装置の噴霧量に応じた圧電振動子の駆動電圧波形図、第
5図は本発明の他の実施例を示す霧化装置の断面図、第
6図は同さらに他の実施例を示す霧化装置の断面図、第
7図は第5図の霧化装置を適用した燃焼装置の断面図で
ある。 13 ・・・ボディー、14・・・・加圧室、16・−
・・・ノズル、17 ・・電気的振動子(圧電振動子)
、19〜21 ・・・液体供給系(19,21・・・パ
イプ、20・・・・・レベラー)、29〜33 冷却
液循環系(29・・・放熱タンク、30・・・循環ポン
プ、31 ・熱交換部、32.33 ・パイプ)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)加圧室を有するボディーと、前記加圧室に臨んで
設けられたノズルと、前記加圧室の液体を加振して前記
ノズルより噴霧させる電気的振動子と、前記加圧室に液
体を供給する液体供給系とを備えると共に、前記ボディ
ーを冷却する冷却液循環系を設けた霧化装置。 (21液体供給系に液体循環系を設け、前記液体循環系
により冷却液循環系を兼用する構成とし、噴霧される液
体を冷却液として循環するよう構成した特許請求の範囲
第1項記載の霧化装置。 (3冷却液循環系を、一定の液面高さでオーバーフロー
する定液面器と、前記定液面器に冷却液を供給する循環
用ポンプとを含んで構成すると共に、前記定液面器にボ
ディーを装着して冷却する構成とした特許請求の範囲第
1項又は第2項記載の霧化装置。 (4)循環する冷却液にボディーが直接浸される構成と
した特許請求の範囲第1項、第2項又は第3項記載の転
化装置。 (5)ボディーに放熱部を設け、前記放熱部か冷却液に
浸される構成とした特許請求の範囲第1項、第2項、又
は第3項記載の霧化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58107040A JPS59230660A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 霧化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58107040A JPS59230660A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 霧化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230660A true JPS59230660A (ja) | 1984-12-25 |
| JPS647832B2 JPS647832B2 (ja) | 1989-02-10 |
Family
ID=14448992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58107040A Granted JPS59230660A (ja) | 1983-06-15 | 1983-06-15 | 霧化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230660A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105764616A (zh) * | 2013-09-09 | 2016-07-13 | 奥姆纽斯特有限责任公司 | 喷雾装置 |
| EP3059016A4 (en) * | 2013-10-17 | 2017-06-14 | Peptron, Inc. | Ultrasonic automizer for aseptic process |
| EP3059017A4 (en) * | 2013-10-17 | 2017-06-14 | Peptron Inc. | Ultrasonic atomizer for aseptic process |
| WO2022209549A1 (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | 混合流体送出装置 |
-
1983
- 1983-06-15 JP JP58107040A patent/JPS59230660A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105764616A (zh) * | 2013-09-09 | 2016-07-13 | 奥姆纽斯特有限责任公司 | 喷雾装置 |
| EP3043927A4 (en) * | 2013-09-09 | 2017-08-30 | Omnimist Ltd. | Atomizing spray apparatus |
| EP3059016A4 (en) * | 2013-10-17 | 2017-06-14 | Peptron, Inc. | Ultrasonic automizer for aseptic process |
| EP3059017A4 (en) * | 2013-10-17 | 2017-06-14 | Peptron Inc. | Ultrasonic atomizer for aseptic process |
| US9757757B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-09-12 | Peptron, Inc. | Ultrasonic atomizer for aseptic process |
| US9776201B2 (en) | 2013-10-17 | 2017-10-03 | Peptron, Inc. | Ultrasonic atomizer for aseptic process |
| WO2022209549A1 (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-06 | 株式会社村田製作所 | 混合流体送出装置 |
| JPWO2022209549A1 (ja) * | 2021-03-29 | 2022-10-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS647832B2 (ja) | 1989-02-10 |
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