JPS5923737U - カセツト - Google Patents
カセツトInfo
- Publication number
- JPS5923737U JPS5923737U JP12004482U JP12004482U JPS5923737U JP S5923737 U JPS5923737 U JP S5923737U JP 12004482 U JP12004482 U JP 12004482U JP 12004482 U JP12004482 U JP 12004482U JP S5923737 U JPS5923737 U JP S5923737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- side plate
- end plate
- aligner
- facet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のカセットの斜視面である。第２図は本考
案の一実施例のカセットの斜視図である。 なお図中、１，２は側板、３，４は端板、５は溝、７，
８は側板、４，９は端板、１ｏ〜１２は切り欠きである
。
案の一実施例のカセットの斜視図である。 なお図中、１，２は側板、３，４は端板、５は溝、７，
８は側板、４，９は端板、１ｏ〜１２は切り欠きである
。
Claims (1)
- 内側に相対向して半導体ウェハを収納する溝を有した側
板と、この側板と直角な位置に設けられた端板と、この
端板にファセットアライナの軸を通す切欠を設けたこと
を特徴とするカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12004482U JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12004482U JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923737U true JPS5923737U (ja) | 1984-02-14 |
Family
ID=30275266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12004482U Pending JPS5923737U (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923737U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54984A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | Nec Corp | Containing tool for semiconductor wafer |
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 | ||
| JPS5761831B2 (ja) * | 1980-07-08 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp |
-
1982
- 1982-08-05 JP JP12004482U patent/JPS5923737U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54984A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-06 | Nec Corp | Containing tool for semiconductor wafer |
| JPS5717143B2 (ja) * | 1977-09-13 | 1982-04-09 | ||
| JPS5761831B2 (ja) * | 1980-07-08 | 1982-12-27 | Nippon Steel Corp |
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