JPS6096834U - 半導体ウエハ−の収納キヤリア - Google Patents

半導体ウエハ−の収納キヤリア

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Publication number
JPS6096834U
JPS6096834U JP18995683U JP18995683U JPS6096834U JP S6096834 U JPS6096834 U JP S6096834U JP 18995683 U JP18995683 U JP 18995683U JP 18995683 U JP18995683 U JP 18995683U JP S6096834 U JPS6096834 U JP S6096834U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
semiconductor wafer
wafer storage
storage carrier
protrusion
Prior art date
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Pending
Application number
JP18995683U
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English (en)
Inventor
崎山　孝明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18995683U priority Critical patent/JPS6096834U/ja
Publication of JPS6096834U publication Critical patent/JPS6096834U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来技術を示す図であり、第２図〜第６図は本
考案の実施例を示す図である。 尚、図において、ａ・・・・・・位置合せ用突起、ｂ・
・・　　　。 ・・・突起ａの受は穴、ａ’、　ａ”・・・・・・位置
合せ用突起、ｂ’、　ｂ″・・・・・・突起ａ’、　ａ
″を受入れる切込み、Ｃ・・曲キャリアの溝、ｄ、ｄ’
・・・・・・突起部分の平面、ｅ。 ｅ′・・・・・・切込み部分の平面、ｆ・・・・・・キ
ャリアの側面、θ・・・・・・突起及び切込みの有する
平面とキャリア側面との直交からずれる角、Ａ、　Ｂ・
・・・・・キャリアである。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）キャリアの上面側に位置決め突起と該突起を受は
    入れる形状の位置決め切込みが設けられており、該突起
    および切込みにはそれぞれ平担面を有し、これら平担面
    は該キャリア側面に対し直交する方向から所定角度θだ
    けずれるようになっていることを特徴とする半導体ウェ
    ハーの収納キャリア。
  2. （２）位置決め突起決め切込みとは、キャリア上部の中
    央もしくはその近傍に設けられていることを特徴とする
    実用新案登録請求の範囲第（１）項記載の半導体ウェー
    ハの収納キャリア。
  3. （３）位置決め突起と位置決め切込みとは、キャリア上
    部のコーナ一端部もしくはその近傍に設けられているこ
    とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第（１）項記載
    の半導体ウェーハの収納キャリア。
JP18995683U 1983-12-09 1983-12-09 半導体ウエハ−の収納キヤリア Pending JPS6096834U (ja)

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JP18995683U JPS6096834U (ja) 1983-12-09 1983-12-09 半導体ウエハ−の収納キヤリア

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JPS6096834U true JPS6096834U (ja) 1985-07-02

Family

ID=30409420

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JP18995683U Pending JPS6096834U (ja) 1983-12-09 1983-12-09 半導体ウエハ−の収納キヤリア

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