JPS5924204A - 厚さ測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体薄板（ウェハ）等の板状物の厚さを測定
する厚さ測定機、特に試料載置面高さを較正できる較正
機構材厚さ測定機に関する。

板状物の厚さ測定においては、従来、台座上に被測定物
であるウェハ等の試料を載置するとともに、この試料上
にダイヤルゲージの触針の先端を接触させ、ゲージの指
示針の変化によって試料の厚さを測定している。

ところで、前記台座の試料を載置する載置面は平面ある
いは球面となっているが、いずれも測定点が一点のため
、載置面が磨耗すると試料の寸法精度不良を起す。この
ため、台座を交換しガければならないが、この交換には
手間が掛る難点がある。

したがって１本発明の目的は試料を載置する台座の試料
載置面の高さを常に一定に維持できる厚さ測定機を提供
することにある。

以下、実施例によシ本発明を説明する。

図面は本発明の一実施例による厚さ測定機の要部を示す
一部を断面とする正面図である。

この実施例の厚さ測定機は、ゲージスタンド１の上面に
カバーブロック２をゲージスタンド１の下面中央部分に
挿し込んだ複数の取付ボルト３で固定した構造となって
いる。また、カバーブロック２の中央には逆円錐形状か
らなる台座挿入孔４が設けられていて、この台座挿入孔
４には球体からなる台座５が挿入されている。台座５、
すなわち球体の上部は台座挿入孔４を外み出して、カバ
ーブロック２の上面から突出している。しかし、台座挿
入孔４が円錐孔であシ、かつカバーブロック上面での台
座挿入孔の直径よシも台座５の直径が大きいことから上
方には抜は出ないようになっている。また、ゲージスタ
ンド１の中央部には調整ポルト６が下方から螺合されて
いる。この調整ポルト６の先端（上端）はゲージスタン
ドｌを貫通して台座５にストッパー７を介して臨んでい
る。

ストッパー７は円錐形の窪みをその上面に有し。

この窪み部分で台座５を支えている。そして、調整ボル
ト６の締め付けによって固定され、緩み動作によって緩
む。この結果、調整ポルト６を緩めた状態では球体であ
る台座５はゲージスタンド１の上面に突出する部分を擦
するようにすれば１球体である台座５はストッパー７上
で回転する。

一方、台座５Ｃ球心の真上にはダイヤルゲージ８の触針
９の先端が臨んでいる。このダイヤルゲージ８は図示し
々いコラム等を介してゲージスタンド１に固定されてい
る。

このような厚さ測定機にあっては、台座５と触針９との
間にウェハを挿し込み、ダイヤルゲージ８の指示針１０
の変化によってウェハの厚さを測定する。そして、繰返
して行なう測定操作により（３） て台座が磨耗して来たら、一時的に調整ボルト６を緩め
、台座５である球体をわずかに回転させる。

この結果、磨耗しない新な球面が触針９の先端に臨むた
め、試料載置面の高さの較正が簡単にできる。

なお、本発明は前記実施例に限定されない。すなわち、
台座の固定機構は他の構造でもよい。また５台座は金属
の表面に硬質クロムメッキを施したもの、あるいは耐磨
耗性の樹脂等で形成してもよい。

以上のように１本発明の厚さ測定機によれば、試料を載
置する台座を回動調整自在の球体としているため、較正
が容易にな如、常に高精度の厚さ測定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例による厚さ測定機の要部を示す
一部断面正面図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、試料を載置する台座と、この台座の真上に触針の先
   端を臨ませるダイヤルゲージと、を有する厚さ測定機に
   おいては、前記台座は着脱自在かつ回転調整可能な球体
   からなっていることを特徴とする厚さ測定機。