JPS5925288A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5925288A JPS5925288A JP13501882A JP13501882A JPS5925288A JP S5925288 A JPS5925288 A JP S5925288A JP 13501882 A JP13501882 A JP 13501882A JP 13501882 A JP13501882 A JP 13501882A JP S5925288 A JPS5925288 A JP S5925288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- heat
- fixed
- cooling block
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims description 12
- 238000002407 reforming Methods 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 244000144992 flock Species 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ装置に関し、特に空冷方式のし〜ザ装置
σに関する。
σに関する。
周知のように、空冷方式のレーザ装置（ｄ構造が簡単で
、かつコンパクトに構成され得るのて比較的小型の装置
によく採用されている。
、かつコンパクトに構成され得るのて比較的小型の装置
によく採用されている。
特に、本発明者によって提案された特許出願昭５６−２
１５５５７号明細書に記載の装置は、従来装置の欠点と
されていた冷却能力の問題を解決し、極めて効率よく放
？＆管の冷却が行えるとともに、堅牢な構造を有するも
のであった。
１５５５７号明細書に記載の装置は、従来装置の欠点と
されていた冷却能力の問題を解決し、極めて効率よく放
？＆管の冷却が行えるとともに、堅牢な構造を有するも
のであった。
すなわち、前記発明の装置は、レーザ放電管と、前記放
電管の両端に配設された一部の反射鏡と、１１ｊ記放電
管に電力を供給する電源部とから構成されるレーザ装置
胤において、前記放電管の管壁周囲に密着して固定され
た高熱伝導性の材料からなる冷却ブロックと、前記冷却
ブロック内に一端部が密着して固定され他端部に放熱フ
ィンが設けられた複数個のヒートパイプと、前記放熱フ
ィンに送風するブロア手段とを具備しており、前記冷却
ブロックが前記放電管に比してその断面積が充分大であ
るように構成さｔｌ、 ｆｃレーザ装置σである。
電管の両端に配設された一部の反射鏡と、１１ｊ記放電
管に電力を供給する電源部とから構成されるレーザ装置
胤において、前記放電管の管壁周囲に密着して固定され
た高熱伝導性の材料からなる冷却ブロックと、前記冷却
ブロック内に一端部が密着して固定され他端部に放熱フ
ィンが設けられた複数個のヒートパイプと、前記放熱フ
ィンに送風するブロア手段とを具備しており、前記冷却
ブロックが前記放電管に比してその断面積が充分大であ
るように構成さｔｌ、 ｆｃレーザ装置σである。
前記冷却ブロックは、レーザ放心管内で発生される熱を
ヒートパイプ１て伝達するだめのものである。ここで、
該冷却ブロックは放心管に比して充分大きな断面積を有
するように形成されているので、熱的安定が保てるとと
もに熱抵抗か小さい。
ヒートパイプ１て伝達するだめのものである。ここで、
該冷却ブロックは放心管に比して充分大きな断面積を有
するように形成されているので、熱的安定が保てるとと
もに熱抵抗か小さい。
従って、該ブロック内の昌度を一様に保てると共に、熱
の移動を迅やかに行うことができる。
の移動を迅やかに行うことができる。
前記ヒートパイプは、冷却ブロック内の熱を外部へ取り
出すだめのもので、この熱に放熱フィンから外気中へ放
散される。尚、ｒｉｉｌ記ファンフロアによる送風が、
レーザ放心管の冷却＋［大きく寄りしていることは言う
才でもない。
出すだめのもので、この熱に放熱フィンから外気中へ放
散される。尚、ｒｉｉｌ記ファンフロアによる送風が、
レーザ放心管の冷却＋［大きく寄りしていることは言う
才でもない。
り上の構成により、極めて冷却能力が高く、かつ堅牢で
ありコンパクトに描成さハ、イ１４る空玲方式のレーザ
装置が実現できるものてあつ／こ。
ありコンパクトに描成さハ、イ１４る空玲方式のレーザ
装置が実現できるものてあつ／こ。
本発明は前記発明装置の改良に関するものて、レーザ放
電管の周囲に設けられだ冷却ブロックに固定される複数
個のピー１パイプの配置、ならびにブロア手段による送
風方向を工夫し、冷却能力の向上を画ると々もに冷却ブ
ロック内の温度を一様に保つことのてきるレーザ装置の
提供を目的とするものである。
電管の周囲に設けられだ冷却ブロックに固定される複数
個のピー１パイプの配置、ならびにブロア手段による送
風方向を工夫し、冷却能力の向上を画ると々もに冷却ブ
ロック内の温度を一様に保つことのてきるレーザ装置の
提供を目的とするものである。
以下ては本発明について、添伺の図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
！Ａ１図は本発明の一実施例を示す説明図である。
図示されるように、レーザ放電管１の周囲には冷却ブロ
ック１０が固定される。冷却ブロック１０は、例えばＭ
ｌいしはＣｕ等の１鳥熱伝導性で機械的強度に（分れた
情オー）からなっており、後述するように４個のブロッ
クＡ 、 Ｂ 、 Ｃ、Ｉ）から構成されている。
ック１０が固定される。冷却ブロック１０は、例えばＭ
ｌいしはＣｕ等の１鳥熱伝導性で機械的強度に（分れた
情オー）からなっており、後述するように４個のブロッ
クＡ 、 Ｂ 、 Ｃ、Ｉ）から構成されている。
図中、４，４′は全反射ミラー及び出力ミラーであり、
２，３はそれぞれ陰極及び陽極を示す。
２，３はそれぞれ陰極及び陽極を示す。
ＣＯ□レーザの場合、前記放電管１内にＣＯ２混合ガス
が充満されており、高圧電亦９より高電圧を印加するこ
とによりレーザ発振を生起する。
が充満されており、高圧電亦９より高電圧を印加するこ
とによりレーザ発振を生起する。
本発明でに、前記のように配設された冷却ノロツク１０
に以ドに示すようにヒートパイプか固定される。
に以ドに示すようにヒートパイプか固定される。
冷却ブロック１０には、放電管１の両（１１１１＆と縦
列１／（複数個の開ロア、７′が等間隔に穿設され、開
１−１７にはヒートパイプ５の中央部か、そして開し＋
７’にはヒートパイプ５′の中央部か各々挿ω；固定さ
れる。
列１／（複数個の開ロア、７′が等間隔に穿設され、開
１−１７にはヒートパイプ５の中央部か、そして開し＋
７’にはヒートパイプ５′の中央部か各々挿ω；固定さ
れる。
すなわち、複数個のヒートパイプ５，５′が、レーザ放
電管１の両側に等間隔で縦列に・くラノス型に配置固定
されている。（ここでｕ１放電管長手方向に垂直な面内
で放電管からヒート・【イブ先端訃てがほぼ等距離にな
るような配置冒を・２う／ス型と称する。）尚、図中に
おいて、放心管１の手＋ｉｉｌ側に設けられた開口が７
′であり、後方側に設けられた開１コが７である。
電管１の両側に等間隔で縦列に・くラノス型に配置固定
されている。（ここでｕ１放電管長手方向に垂直な面内
で放電管からヒート・【イブ先端訃てがほぼ等距離にな
るような配置冒を・２う／ス型と称する。）尚、図中に
おいて、放心管１の手＋ｉｉｌ側に設けられた開口が７
′であり、後方側に設けられた開１コが７である。
言うまでもなく、前記ヒートノζイブ５の」一端ならび
に下端部には、複数枚からなる放熱フイ／６゜６Ｂが固
定される。同様に、ヒート・くイブ５′の上端ならびに
下端部には、複数枚からなる放熱フィン６’、６Ｂ’が
固定される。
に下端部には、複数枚からなる放熱フイ／６゜６Ｂが固
定される。同様に、ヒート・くイブ５′の上端ならびに
下端部には、複数枚からなる放熱フィン６’、６Ｂ’が
固定される。
尚、図示はしてないが、該実施例位置を示す紙面の垂直
上方位置にｄノア／ブロア８が設けられており、紙面に
７１ して垂直方向に送風が行われる。
上方位置にｄノア／ブロア８が設けられており、紙面に
７１ して垂直方向に送風が行われる。
次に、第１図のＡ−ＡＭ断面図を示す第２図にもとづい
て説明する。図示されるように、前記冷却ブロック１０
は、ブロックＡ、ブロックＢ、ブロックＣ９ならびにブ
ロックＤから構成されている。
て説明する。図示されるように、前記冷却ブロック１０
は、ブロックＡ、ブロックＢ、ブロックＣ９ならびにブ
ロックＤから構成されている。
ここて、ヒートパイプ５は、ブロックＡおよびブロック
Ｂの壁面にヒートパイプ５の中央部の壁面かｎ着するよ
うに、すなわち、両者の間で充分な熱的接触が保たｔす
るように、強固に締めつけられ固定さねでいる。尚、ブ
［コックＡとブロックＢとは、ネジ（図示せず）等の手
段により強固に固定されている。
Ｂの壁面にヒートパイプ５の中央部の壁面かｎ着するよ
うに、すなわち、両者の間で充分な熱的接触が保たｔす
るように、強固に締めつけられ固定さねでいる。尚、ブ
［コックＡとブロックＢとは、ネジ（図示せず）等の手
段により強固に固定されている。
同麻に、ヒートパイプ５′は、ブロックＣおよびフロッ
クＤの壁面にヒートパイプ５′の中央部の壁面が密着す
るように、すなわち、両者の間で充分な熱的接触が保／
これるように、強固に締めつけられ固定されている。前
記同様に、ブロックＣとブロックＤとが、ネジ（図示せ
ず）等の手段により強固に固定されている。
クＤの壁面にヒートパイプ５′の中央部の壁面が密着す
るように、すなわち、両者の間で充分な熱的接触が保／
これるように、強固に締めつけられ固定されている。前
記同様に、ブロックＣとブロックＤとが、ネジ（図示せ
ず）等の手段により強固に固定されている。
捷だ、レーザ放電管１は、ブロック■３およびブロック
Ｃの壁面に管壁が密着するように、すなわち両者の間で
充分な熱的接触が保たれるように、強固に締めつけられ
固定されている。ここで、ブロックＢとブロックＣとが
、イ、ジ（図示せず）等の手段により強固に固定されて
いることは言う寸でもない。
Ｃの壁面に管壁が密着するように、すなわち両者の間で
充分な熱的接触が保たれるように、強固に締めつけられ
固定されている。ここで、ブロックＢとブロックＣとが
、イ、ジ（図示せず）等の手段により強固に固定されて
いることは言う寸でもない。
これら、ブロックＡ、ブロックＢ、ブロックＣ７およ０
・ブロックＤから構成される冷却ブロック１０（４，熱
谷最を大きくする必要から、その断面ＪＪｉを大きくす
ることが勘要である。すなわち、放電量１に比して充分
大きな断面積を有するように形成き７１でいる。
・ブロックＤから構成される冷却ブロック１０（４，熱
谷最を大きくする必要から、その断面ＪＪｉを大きくす
ることが勘要である。すなわち、放電量１に比して充分
大きな断面積を有するように形成き７１でいる。
尚、Ａ！Ｉ記放電管１ならびにヒートパイプ５．５′等
は、ブロックＡ〜Ｄに密着させ効率よく熱の移動を行う
意味で、熱伝導グリス等を介して冷却ブロック１０に固
定されることが望ましい。
は、ブロックＡ〜Ｄに密着させ効率よく熱の移動を行う
意味で、熱伝導グリス等を介して冷却ブロック１０に固
定されることが望ましい。
言う丑でもなく、図中の６は、ヒートパイプブ５の上端
部に設けられた複数枚の放熱フィンを示している。捷だ
、６Ｂは、ヒートパイプ５の下端部に設けられた複数枚
の放熱フィンを示している。これら放熱フィン６，６Ｂ
等は、放熱効果を上げるだめフィンを大きくしであるの
で、同図に示す状態では放熱フィン６’ 、 ６Ｂ’等
は、後方に隠れている。
部に設けられた複数枚の放熱フィンを示している。捷だ
、６Ｂは、ヒートパイプ５の下端部に設けられた複数枚
の放熱フィンを示している。これら放熱フィン６，６Ｂ
等は、放熱効果を上げるだめフィンを大きくしであるの
で、同図に示す状態では放熱フィン６’ 、 ６Ｂ’等
は、後方に隠れている。
１だ、図中の８は、前記のように配設された放熱フイ：
／６．６Ｂならびに６’ 、 ６Ｂ’に送風するだめの
ファンブロアである。図示してないが、本発明装置では
放電管長手方向に添って複数台のブロアを配置し、送風
を行うのがよい。
／６．６Ｂならびに６’ 、 ６Ｂ’に送風するだめの
ファンブロアである。図示してないが、本発明装置では
放電管長手方向に添って複数台のブロアを配置し、送風
を行うのがよい。
このＪ、うに構成することにより、放電管内で発生され
た熱は、冷却ブロック１０を介してヒートパイプ５，５
′により外部に取り出される。そして放熱フィンにより
外気中へ放散される。
た熱は、冷却ブロック１０を介してヒートパイプ５，５
′により外部に取り出される。そして放熱フィンにより
外気中へ放散される。
以上詳述したように、本発明ではレーザ放電管の周囲に
密着同定した冷却ブロックに、端部に放熱フィンを具備
した複数個のヒートパイプをバランス型に配置固定し、
放電管長手方向に対し垂直な方向から前記放熱フィンに
送風を行うことを特徴とするものである。
密着同定した冷却ブロックに、端部に放熱フィンを具備
した複数個のヒートパイプをバランス型に配置固定し、
放電管長手方向に対し垂直な方向から前記放熱フィンに
送風を行うことを特徴とするものである。
従って、本発明ては冷却ブロックの」−トー両方に放熱
フィンを配置させることができ、放熱［ｍ積の拡大化を
画れる。１だ、放電管長手方向に対し垂直な方向から送
風を行っているのて放熱フィン断面積が大きくなり、そ
の風量を大きく設定することがてきる。空冷の冷却器に
おいて＋は、その冷却能力は放熱フィンの面積と放熱フ
ィン断面を通過する風量に依存しているので、本発明に
従えば冷却能力を大幅に向」ニさせることができるもの
である。
フィンを配置させることができ、放熱［ｍ積の拡大化を
画れる。１だ、放電管長手方向に対し垂直な方向から送
風を行っているのて放熱フィン断面積が大きくなり、そ
の風量を大きく設定することがてきる。空冷の冷却器に
おいて＋は、その冷却能力は放熱フィンの面積と放熱フ
ィン断面を通過する風量に依存しているので、本発明に
従えば冷却能力を大幅に向」ニさせることができるもの
である。
１／こ、本発明では冷却ブロックに同定される複数個の
ヒートパイプは、レーザ放電管の両側の位置に該放電管
の長手方向に添って等間隔て縦列にしかもバランス型に
配置されることを第２の％徴としている。従って、複数
個のヒートパイプｉＪ： １ｉｉ１記放電管の周囲に対
称性良く配置されることになり、冷却ブロック内での任
意の位置について高度勾配が発生し難くなる。すなわち
、冷却グロック全体を一様な温度に保つことが極めて容
易になるものである。
ヒートパイプは、レーザ放電管の両側の位置に該放電管
の長手方向に添って等間隔て縦列にしかもバランス型に
配置されることを第２の％徴としている。従って、複数
個のヒートパイプｉＪ： １ｉｉ１記放電管の周囲に対
称性良く配置されることになり、冷却ブロック内での任
意の位置について高度勾配が発生し難くなる。すなわち
、冷却グロック全体を一様な温度に保つことが極めて容
易になるものである。
尚、本発明は前記した実施例にのみ限定されるものでは
ない。例えば、前記実施例に示した１本のヒートバイブ
プを、２本のヒートバイブプの先端同志を対向して配置
することて代替してもよい。寸だ、放電管の両側で各ヒ
ートパイプが対をなすように、２列の縦列配置にしても
構わない。
ない。例えば、前記実施例に示した１本のヒートバイブ
プを、２本のヒートバイブプの先端同志を対向して配置
することて代替してもよい。寸だ、放電管の両側で各ヒ
ートパイプが対をなすように、２列の縦列配置にしても
構わない。
第１図は本発明の一実施例の説明図を、壕だ第２図はそ
のＡ−Ａ線断面図を示している。図中に符し７だ記号は
、 ｌ レーザ放電管、４，４′ 反射鏡、５．５′・ヒ
ートパイプ、６ 、６Ｂ 、 ６’ 、 ６Ｂ’ ・
放熱フイ／、８・・ファンブロア、９・・・電源、 を示す。 特許出願人 日本赤外線工業株式会社 代表者 末 永 徳 博
のＡ−Ａ線断面図を示している。図中に符し７だ記号は
、 ｌ レーザ放電管、４，４′ 反射鏡、５．５′・ヒ
ートパイプ、６ 、６Ｂ 、 ６’ 、 ６Ｂ’ ・
放熱フイ／、８・・ファンブロア、９・・・電源、 を示す。 特許出願人 日本赤外線工業株式会社 代表者 末 永 徳 博
Claims (2)
- （１）レーザ放電管と、レーザ放電管に具備された一部
の反射鏡と、前記放電管の管壁周囲に密着固定され高熱
伝導性の利料からなり放電管に比し断面積の充分大きい
冷却ブロックと、前記冷却ブロック内に一部が密着して
固定された複数個のし−１パイプと、前記ヒートパイプ
に設けられた複数枚の放熱フィンと 、ＨｉＪ記放熱放
熱フィン風するブロア手段とから構成されるレー→ノ装
置において、−イエ記放熱フイノを具ｆ＋ｆｉｉ した
ヒートバイブは放電管の長手方向に添って縦列にハラメ
ス型に配置固定され、ブロア手段に」、り放電管長手方
向にＺ−１シて垂直な方向から放〃（フィンに送風を行
うことを特徴とするレーザ装置。 - （２）前記第１項記載の装置において、前記ヒー［パイ
プがレーザ放電管の両側にほぼ等間隔で縦列に配置′べ
されることを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13501882A JPS5925288A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13501882A JPS5925288A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5925288A true JPS5925288A (ja) | 1984-02-09 |
Family
ID=15142004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13501882A Pending JPS5925288A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5925288A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190164U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP13501882A patent/JPS5925288A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61190164U (ja) * | 1985-05-20 | 1986-11-27 |
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