JPS5925883Y2 - 乾式メツキ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は乾式メッキ装置の改良に関するものである。

従来の真空蒸着法を使用した最も一般的な乾式メッキ装
置を第１図により□説明す、ると、ａがガラスまたは金
属材により構成された釣鐘状の真空筒、ｂが台座、Ｃが
前記真空筒ａの端縁に設けた台座装着部ａ１と前記台座
すとの間に介装したシールパツキン、ｄ、 ｄが前記
台座すを貫通して前記真空筒ａ内に突設した電極棒、ｅ
が途中をパケット状に曲成するとともに両端を前記各電
極棒ｄに取付けたフィラメント、ｆが同フィラメントｅ
により支持された蒸着用金属、ｇが前記台座す上に載置
した試料台、ｈが同試料台ｇ上に載置した被メッキ材、
ｉが電源、ｊが前記台座すを貫通して前記真空筒ａ内と
真空源（図示せず）とを連通した配管で、真空筒ａ内の
空気を配管ｊを介し排出して、真空筒ａ内を蒸発用金属
ｆの蒸発が可能な１０−４〜１０ ” ｍｍＨｇ程度の
真空度にしたのち、電源ｉ電極棒ｄ、 ｄを介してフ
ィラメントｅを加熱し、蒸発用金属ｆを蒸発させて（ｆ
１参照）、被メッキ材りの上に付着させることにより、
メッキ膜ｆ２を形成するようになっている。

前記乾式メッキ装置では、被メッキ材りを真空筒ａ内に
入れて、その表面にメッキ膜ｆ２を形成するので、真空
筒ａよりも大きな大形被メッキ材の一部に、補修のため
メッキ膜ｆ２を形成する場合には、真空筒ａに入る大き
さに大形被メッキ材の一部を切り出す必要があった、ま
た大形被メッキ材を入れられる大きさに真空筒ａを形成
しても第２図に示すように大形製品（１０：被メッキ材
）の凸部１０ ａにメッキ膜を形成する場合は、被メッ
キ材の凸部１０ ａが蒸着源に近づきすぎ、メッキ蒸着
粒子が粗くなって、メッキ性能を低下させる不具合があ
った。

さらに第３図に示すように被メッキ材の凹部１０ ｂに
メッキ膜を形成する場合は、被メッキ材の凹部１０が適
正蒸着位置から遠くなりすぎて、蒸着時間を長くすると
いう欠点があった。

本案は前記の問題点に対処するもので、第１の真空筒を
第２の真空筒に上下動可能に装着するとともに同各真空
筒の間にシール装置を介装し、同第１の真空筒の他端部
にシール装置を介して台座を装着するとともに同第２の
真空筒の他端部に被メッキ材との間を閉じるシール装置
を装着したことを特徴とする乾式メッキ装置に係り、そ
の目的とする処は被メッキ材のメッキ膜の一部が剥離し
て不良品とされていた大形製品を、一部の切り出しや真
空筒の大形化を必要とせすに、最適な蒸着条件下で補修
できる改良された乾式メッキ装置を供する点にある。

本案の乾式メッキ装置は前記のように第１の真空筒を第
２の真空筒に上下動可能に装着するとともに同各真空筒
の間にシール装置を介装し、同第１の真空筒の他端部に
シール装置を介して台座を装着するとともに同第２の真
空筒の他端部に被メッキ材との間を閉じるシール装置を
装着したので、被メッキ材の凸部或は凹部上の剥離した
メッキ膜を補修するときには、第１の真空筒を上下動し
て、蒸着用金属が凸部または凹部に対して最適の蒸着位
置にくるように調節する。

次いで第２の真空筒と被メッキ材との間を気密的に閉じ
たのち、メッキ膜を上記剥離部上に形成して、同剥離部
を補修する。

従ってメッキ膜の一部が剥離して不良品とされていた大
形製品を、一部の切り出しや真空筒の大形化を必要とせ
ずに最適蒸着位置での補修ができるものである。

また本案の乾式メッキ装置は前記のように構成されてお
り、真空筒を携帯式にすることが可能で、生産現場にも
適用できるものである。

また従来釣鐘状であった真空筒を製作の容易な円筒状に
することが可能で、この点からも製造コストを大幅に低
減できるものである。

次に本案の乾式メッキ装置を第２図に示す一実施例によ
り説明すると、１がガラス、プラスチックなどの非金属
または金属材により構成された円筒状の第１の真空筒、
２か゛同様に構成された第２の真空筒、１ａが第１の真
空筒１の一端縁に設けた台座装着部、１ｂが同台座装着
部１ａ以外の第１の真空筒１の一側に設けた開口部、１
Ｃが同開口部１ｂの周りの第１の真空筒部分、２ａが第
１の真空筒１のネジ部１ｄと螺合して第１の真空筒１を
上下動可能に支持する第２の真空筒２の台座部、２ｂが
第２の真空筒２の１端に設けた開口部、２Ｃが同開口部
２ｂ周りの第２の真空筒部分、３が台座、４ａが同台座
３と前記台座装着部１ａとの間に介装したシールパツキ
ン、４ｂが前記第１の真空筒部分１Ｃに装着したシール
パツキン、５゜５が前記台座３を貫通して前記真空筒１
内に突設した電極棒、６が途中をバスケット状に曲成す
るとともに両端を゛前記各電極棒５に取付けたフィラメ
ント、７が同フィラメント６により支持された蒸着用金
属、８が電源、９が前記台座３を貫通して前記第１の真
空筒１内と真空源（図示せず）とを連通した配管、１０
が大形の被メッキ材、１０ ａがメッキを施こす凸部で
ある。

なお図中の符号１１は、大形製品１０の表面に凹凸があ
ってシールパツキン４Ｃだけでは第１と第２の真空筒１
，２内に充分な真空度が得られない場合に大形製品１０
との接合部の外側に充填する粘土等のパツキン材である
。

次に前記乾式メッキ装置の作用を説明する。

大形製品１０の表面に形成したメッキ膜のうち、凸部１
０ ａで剥離したメッキ膜を補修するときには、第１の
真空筒１を上下動して、蒸着用金属７が凸部１０ ａに
対して最適蒸着位置にくるように調節する。

次いで第２の真空筒部分２Ｃと被メッキ材１０との間を
気密的に閉じたのち、第１と第２の真空筒１，２内の空
気を配管９を介し排出して、第１と第２の真空筒１，２
内を所定の真空度にし、次いで電源８電極棒５，５を介
してフィラメント６を加熱し、蒸発用金属７を蒸発させ
て、（７ａ参照）、被メッキ材１０の上に付着させるこ
とにより、メッキ膜７ｂを形成する。

なお被メッキ材１０が円筒状や波形の場合には、開口部
２ｂの周りの第２の真空筒部分２Ｃ及びシールパツキン
４Ｃを同形状に形成して、気密性を保持するようにする
。

なお第１、第２の真空筒１，２は、被メッキ材１０の形
状に適合した他の形状の真空筒に取り換えることもでき
る。

次に本案の乾式メッキ装置を第３に示す他の実施例によ
り説明すると、本実施例装置は乾式メッキ法の一種であ
るイオンメッキ法に適用したもので、台座３が陽極側台
座３ａと陰極側台座３ｂとにより構成され、メッキ用金
属片６が同陰極側台座３ｂに装着され、アルゴンガス注
入管１２に連通したアルゴンガス注入孔１３が上記陽極
側台座３ａに設けられている以外は、前記第２図の実施
例装置と同様に構成されている。

次に前記乾式メッキ装置の作用を説明する。

被メッキ材１０の表面に形成したメッキ膜のうち、凹部
１０ｂで剥離したメッキ膜を補修するときには、第１の
真空筒１を上下動して、メッキ用金属すが最適蒸着位置
にくるように調節する。

次いで第２の真空筒部分２Ｃと被メッキ材１０との間を
気密的に閉じたのち、第１と第２の真空筒１，２内の空
気を配管９を介し排出して、真空筒１，２を所定の真空
度にし、次いでアルゴンガスを注入管１２注入孔１３を
経て真空筒１，２内へ注入する一方、陽極側台座３ａと
陰極側台座３ｂとの間に電圧を印加し、アルゴンガス１
４をプラスイオンｅ＋（１４ａ参照）にして、メッキ用
金属片６に衝突させ、同メッキ用金属片６例えば金Ａｕ
を飛散させて（７ａ参照）、被メッキ材１０の上に付着
させることにより、最適のメッキ膜７ｂを形成する。

【図面の簡単な説明】 第１図は従来の乾式メッキ装置を示す縦断側面図、第２
図は本案に係る乾式メッキ装置の一実施例を示す縦断面
図、第３図は本案に係る乾式メッキ装置の他の実施例を
示す縦断側面図である。 １・・・・・・第１の真空筒、２・・・・・・第２の真
空筒、１ａ・・・・・・台座装着部、２ａ・・・・・・
台座部、ｌｂ、２ｂ・・・・・・開口部、３・・・・・
・台座、ＩＣ，２Ｃ・・・・・・開口部ｌｂ、２ｂの周
りの第１と第２の真空筒部分、４ａ、 ４ｂ、 ４
Ｃ・・・・・・シール・パツキン、１０・・・・・・被
メッキ材、１０ ａ・・・・・・被メッキ材の凸部、１
０ ｂ・・・・・・被メッキ材の凹部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 第１の真空筒を第２の真空筒に上下動可能に装着すると
   ともに同各真空筒の間にシール装置を介装し、同第１の
   真空筒の他端部にシール装置を介して台座を装着すると
   ともに同第２の真空筒の他端部に被メッキ材との間を閉
   じるシール装置を装着したことを特徴とする乾式メッキ
   装置。