JPS5926247U - 半導体材料の計測装置 - Google Patents

半導体材料の計測装置

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JPS5926247U
JPS5926247U JP12107482U JP12107482U JPS5926247U JP S5926247 U JPS5926247 U JP S5926247U JP 12107482 U JP12107482 U JP 12107482U JP 12107482 U JP12107482 U JP 12107482U JP S5926247 U JPS5926247 U JP S5926247U
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JP
Japan
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semiconductor material
measurement equipment
material measurement
spreading resistance
semiconductor substrate
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JP12107482U
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望月　康博
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の拡がり抵抗測定用サンプルの作成状態図
、第２図は本考案による拡がり抵抗測定用サンプルの作
成状態図、第３図ａ　＝　ｄは本考案による半導体の抵
抗率分布測定例を示す図である。 Ｄ・・・研磨に用いる円筒の直径。 第３図（ａ） １ｐ１定舟、（Δχミ５／ｌ＃１） 第３図（ｂ）− ！ 巾１未市りゝ５ｔ）尿ξ（μす ０　１−２３４　５Ｇ　　’７．．ｇｑｔ。 ４４昔（【面つ５のｉ「さ　（戸ｍ］

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基体中の表面から深さ方向の拡がり抵抗分布の測
    定装置において、前記半導体基体の表面を一定曲率の円
    筒面で研磨し、その研磨面内の前記拡がり抵抗分布を測
    定するように構成したことを特徴とする半導体材料の計
    測装置。
JP12107482U 1982-08-11 1982-08-11 半導体材料の計測装置 Pending JPS5926247U (ja)

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JPS5926247U true JPS5926247U (ja) 1984-02-18

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