JPS5926251U - 半導体装置用治具 - Google Patents
半導体装置用治具Info
- Publication number
- JPS5926251U JPS5926251U JP12152182U JP12152182U JPS5926251U JP S5926251 U JPS5926251 U JP S5926251U JP 12152182 U JP12152182 U JP 12152182U JP 12152182 U JP12152182 U JP 12152182U JP S5926251 U JPS5926251 U JP S5926251U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- semiconductor devices
- shaft
- rollers
- abstract
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
゛ 第１図は従来のコロ付ボートの断面図、第２図は本
考案の実施例の断面図。 なお図において、１・・・用コロ、２・・・・・・軸、
３・・・・・・ストッパー、４・・・・・・炉芯管、５
・・曲コロと一体の軸、６・・・・・・軸受、７・・・
・・・球である。
考案の実施例の断面図。 なお図において、１・・・用コロ、２・・・・・・軸、
３・・・・・・ストッパー、４・・・・・・炉芯管、５
・・曲コロと一体の軸、６・・・・・・軸受、７・・・
・・・球である。
Claims (1)
- 炉芯管タイプの炉内で半導体ウェハーを運搬するコロ付
ボートにおいて、コロと軸が１体となっておりこの軸と
軸受との接触部に球を用いたことを特徴とする半導体装
置用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12152182U JPS5926251U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | 半導体装置用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12152182U JPS5926251U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | 半導体装置用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5926251U true JPS5926251U (ja) | 1984-02-18 |
Family
ID=30278097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12152182U Pending JPS5926251U (ja) | 1982-08-10 | 1982-08-10 | 半導体装置用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5926251U (ja) |
-
1982
- 1982-08-10 JP JP12152182U patent/JPS5926251U/ja active Pending
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