JPS5926525U - クリ−ントンネル装置 - Google Patents

クリ−ントンネル装置

Info

Publication number
JPS5926525U
JPS5926525U JP12231782U JP12231782U JPS5926525U JP S5926525 U JPS5926525 U JP S5926525U JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP S5926525 U JPS5926525 U JP S5926525U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
clean
clean tunnel
tunnel device
opening
vertical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP12231782U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0123055Y2 (ja
Inventor
安藤　敏博
北迫　鐵雄
上島　「あ」也
雅之 高田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Original Assignee
Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Takasago Thermal Engineering Co Ltd filed Critical Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Priority to JP12231782U priority Critical patent/JPS5926525U/ja
Publication of JPS5926525U publication Critical patent/JPS5926525U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0123055Y2 publication Critical patent/JPH0123055Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Incineration Of Waste (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のクリーントンネルの縦断面図、第２図
は本考案のクリーントンネルの他の例を示す縦断面図、
第３図はＡ部拡大図、第４図はＢ部拡大図、第５図およ
び第６図は整流板を有しない場合と有する場合の気流分
布を示した図、第７図は本考案のクリーントンネル装置
の配置例を示した天井部平面図である゛。 １・・・クリーンルーム（通路）、２・・・開口、３・
・・クリーントンネル、４・・・ＨＥＰＡフィルター、
５・・・ＨＥＰＡフィルター、６・・・フード、７・・
・ｍ械類、９゜９′・・・整流板、１４・・・排気口、
１７・・・吸盤、１８・・・支持棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリーンルーム１内に、このクリーンルーム１と連通す
    る開口２を有するクリーントンネル３を′形成した設備
    において、該クリーントンネル３の天井部にクリーンル
    ーム１用のＨＥＰＡフィルタ４よりもハイクラスのＨＥ
    ＰＡフィルター５を水平に配置すると共に前記開口２の
    上部に垂直なフード６を設置し、このクリーントンネル
    １内に設置される機械または作業台７の開口２に面する
    垂直面８と前記フード６の内面に沿った垂直面との間に
    これらの垂直面と平行な整流板９を取付けたことを特徴
    とするクリーントンネル装置。
JP12231782U 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置 Granted JPS5926525U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12231782U JPS5926525U (ja) 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12231782U JPS5926525U (ja) 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5926525U true JPS5926525U (ja) 1984-02-18
JPH0123055Y2 JPH0123055Y2 (ja) 1989-07-14

Family

ID=30279632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP12231782U Granted JPS5926525U (ja) 1982-08-13 1982-08-13 クリ−ントンネル装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5926525U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60245533A (ja) * 1984-05-22 1985-12-05 Shinwa Tec Kk プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス
JP2019090576A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 株式会社桜アーク 清浄ユニット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60245533A (ja) * 1984-05-22 1985-12-05 Shinwa Tec Kk プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス
JP2019090576A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 株式会社桜アーク 清浄ユニット

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0123055Y2 (ja) 1989-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0262340U (ja)
JPS594694U (ja) 屋外設置装置用の電気品箱
JPS5820129U (ja) 空気調和機
JPS58130198U (ja) ボンベボツクス
JPS59161415U (ja) 調理用排気装置
JPS58126228U (ja) 燃料タンクのエアブリ−ザ
JPS59193514U (ja) 自動搬送設備における空気清浄装置
JPS5857628U (ja) 換気扇の取付装置
JPS59105920U (ja) 小屋裏を利用する空調装置
JPS5916631U (ja) ベビ−ベツド
JPS58103193U (ja) 電気機器室の整風装置
JPS5918769U (ja) エレベ−タの機械室
JPS5938618U (ja) 空気調和機用ダクトケ−シング
JPS5911238U (ja) ダクト用換気扇
JPS59128019U (ja) 空気調和機用ドレンパン
JPS60138451U (ja) 扁平背面什器の架台構造
JPS5839306U (ja) 自動車用空気清浄器
JPS59178520U (ja) 空気調和機
JPS5913983U (ja) オ−プンシヨ−ケ−スの冷気回収装置
JPS5867297U (ja) 電気炉用包囲体
JPS5948910U (ja) 床材
JPS5962417U (ja) 天井埋込型空気調和機
JPS5824643U (ja) 温気循環筒
JPS6028318U (ja) 天井吊型空気調和機
JPS5895270U (ja) 塗装ブ−ス