JPH0123055Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0123055Y2 JPH0123055Y2 JP12231782U JP12231782U JPH0123055Y2 JP H0123055 Y2 JPH0123055 Y2 JP H0123055Y2 JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP 12231782 U JP12231782 U JP 12231782U JP H0123055 Y2 JPH0123055 Y2 JP H0123055Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- hood
- tunnel
- clean tunnel
- hepa filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、良好な作業性、汚染の防止並びに構
造の簡易性を目的とした産業機械用などに供され
るクリーントンネル装置に関する。
造の簡易性を目的とした産業機械用などに供され
るクリーントンネル装置に関する。
本考案は、これらの目的を好適に達成する工業
用クリーントンネルとして、図面に示したよう
に、クリーンルーム１内に、このクリーンルーム
１と連通する開口２を有するクリーントンネル３
を形成した設備であつて、該クリーントンネル３
の天井部にクリーンルーム１用のHEPAフイル
ター４よりもハイクラスのHEPAフイルター５
を水平に配置すると共に前記開口２の上部に垂直
なフード６を設置し、斯くして構成されるクリー
ントンネル３内にその天井部のHEPAフイルタ
ー５から清浄空気を下向きに吹出すようにしたク
リーントンネル装置において、該フード６の垂直
面と平行な垂直面をもつ整流板９を、フード６の
クリーントンネル３側の面にフード６とは間隔を
あけて取付けたことを特徴とするクリーントンネ
ル装置を提供するものである。
用クリーントンネルとして、図面に示したよう
に、クリーンルーム１内に、このクリーンルーム
１と連通する開口２を有するクリーントンネル３
を形成した設備であつて、該クリーントンネル３
の天井部にクリーンルーム１用のHEPAフイル
ター４よりもハイクラスのHEPAフイルター５
を水平に配置すると共に前記開口２の上部に垂直
なフード６を設置し、斯くして構成されるクリー
ントンネル３内にその天井部のHEPAフイルタ
ー５から清浄空気を下向きに吹出すようにしたク
リーントンネル装置において、該フード６の垂直
面と平行な垂直面をもつ整流板９を、フード６の
クリーントンネル３側の面にフード６とは間隔を
あけて取付けたことを特徴とするクリーントンネ
ル装置を提供するものである。
第１図において、１は0.3μ；クラス10000程度
のクリーンルーム（通路）を示しており、このた
めに0.3HEPAフイルター４をその天井面に設置
し、このHEPAフイルター４からクリーンルー
ム１内に清浄空気が供給される。ここで、0.3μ；
クラス10000とは、0.3μ以上の微粒子が累積微粒
子数10000個／ft3以下の清浄度を有することを意
味し、0.3μHEPAフイルターとは、0.3μ以上の微
粒子を実質上通さない高性能フイルターを意味し
ている。このようなクリーンルーム通路１の壁面
に沿つて産業機械あるいは作業台７（以下単に機
械類と呼ぶ）を設置し、この部分の清浄度を例え
ば0.1〜0.3μ；クラス10〜100に維持するためにク
リーントンネル３を形成する。
のクリーンルーム（通路）を示しており、このた
めに0.3HEPAフイルター４をその天井面に設置
し、このHEPAフイルター４からクリーンルー
ム１内に清浄空気が供給される。ここで、0.3μ；
クラス10000とは、0.3μ以上の微粒子が累積微粒
子数10000個／ft3以下の清浄度を有することを意
味し、0.3μHEPAフイルターとは、0.3μ以上の微
粒子を実質上通さない高性能フイルターを意味し
ている。このようなクリーンルーム通路１の壁面
に沿つて産業機械あるいは作業台７（以下単に機
械類と呼ぶ）を設置し、この部分の清浄度を例え
ば0.1〜0.3μ；クラス10〜100に維持するためにク
リーントンネル３を形成する。
このクリーントンネル３は、クリーンルーム通
路１の壁面１０そのものまたはこれに密着した垂
直壁１を１方の側壁とし、クリーンルーム通路１
の天井部１１から垂下するフード６を他方の側壁
として形成される。このフード６（垂直な垂れ
壁）の下縁と床面１２との間には相当な間隔を有
しており、この間隔がクリーンルーム通路１とク
リーントンネル３とを連通する開口２となり、こ
の開口２を通じて機械類７の操作その他が行える
ようにする。図中の１３はクリーントンネル内を
照らすようにフード６の内面に配設された蛍光灯
を示している。
路１の壁面１０そのものまたはこれに密着した垂
直壁１を１方の側壁とし、クリーンルーム通路１
の天井部１１から垂下するフード６を他方の側壁
として形成される。このフード６（垂直な垂れ
壁）の下縁と床面１２との間には相当な間隔を有
しており、この間隔がクリーンルーム通路１とク
リーントンネル３とを連通する開口２となり、こ
の開口２を通じて機械類７の操作その他が行える
ようにする。図中の１３はクリーントンネル内を
照らすようにフード６の内面に配設された蛍光灯
を示している。
クリーントンネル３の天井部には0.1μHEPAフ
イルター５が水平に配置され、クリーントンネル
３の床面近の後壁部に排気口１４が配置されてい
て、HEPAフイルター５からこのクリーントン
ネル３内に設置された機械類７に向けて、クリー
ンルーム通路１の空気とは別系統で清浄空気が吹
付けられたあと排気口１４から排気される。この
ために、このクリーントンネル用の送風機１５が
クリーンルーム通路１の系外に設けられている。
イルター５が水平に配置され、クリーントンネル
３の床面近の後壁部に排気口１４が配置されてい
て、HEPAフイルター５からこのクリーントン
ネル３内に設置された機械類７に向けて、クリー
ンルーム通路１の空気とは別系統で清浄空気が吹
付けられたあと排気口１４から排気される。この
ために、このクリーントンネル用の送風機１５が
クリーンルーム通路１の系外に設けられている。
このように構成したクリーントンネルによると
装置構成が簡易であると共に機械類等の作業性も
良好となるが、開口２からの気流の巻込みによる
汚染が問題となる。
装置構成が簡易であると共に機械類等の作業性も
良好となるが、開口２からの気流の巻込みによる
汚染が問題となる。
本考案はこの装置構成の簡易性と作業性を損な
うことなく該開口２からの汚染を効果的に防止す
るものであり、このために整流板９を使用する。
この整流板９は、フード６のクリーントンネル３
側の面にフード６とは間隔をあけて、フード６と
平行に取付けられている。フード６は垂直な面を
有することから、整流板９もこの垂直なフード６
の内面に沿つて垂直に取付けられる。
うことなく該開口２からの汚染を効果的に防止す
るものであり、このために整流板９を使用する。
この整流板９は、フード６のクリーントンネル３
側の面にフード６とは間隔をあけて、フード６と
平行に取付けられている。フード６は垂直な面を
有することから、整流板９もこの垂直なフード６
の内面に沿つて垂直に取付けられる。
第２図は整流板９の取付け状態を示したもので
あり、フード６の内側に、吸盤１７を有した支持
棒１８を用いて、この支持棒１８の距離だけフー
ド６とは間隔をあけてフード６とは平行に取付け
られている。整流板９の材質としては透明アクリ
ル板などを使用するとみばえがよい。この整流板
９の取付けによつて、この整流板９の両側面にお
いて空気流れが整流化される結果、クリーンルー
ム通路１の空気の開口２からの巻込みが効果的に
防止されると共に、機械類７をクリーントンネル
３内の奥の方に設置しなくとも（開口２の近くま
で張り出して設置しても）よくなり、大きな機械
類を収容できると共に、作業性もよくなり、一石
二鳥の効果がある。この場合、床面１２に高さが
それほど高くない遮蔽板２２を垂直に立て、この
遮蔽板２２の裏側に吸込口２３を設けて強制吸引
すると、その整流化作用は一層良好となり、機械
類全体の汚染が完全に防止される。
あり、フード６の内側に、吸盤１７を有した支持
棒１８を用いて、この支持棒１８の距離だけフー
ド６とは間隔をあけてフード６とは平行に取付け
られている。整流板９の材質としては透明アクリ
ル板などを使用するとみばえがよい。この整流板
９の取付けによつて、この整流板９の両側面にお
いて空気流れが整流化される結果、クリーンルー
ム通路１の空気の開口２からの巻込みが効果的に
防止されると共に、機械類７をクリーントンネル
３内の奥の方に設置しなくとも（開口２の近くま
で張り出して設置しても）よくなり、大きな機械
類を収容できると共に、作業性もよくなり、一石
二鳥の効果がある。この場合、床面１２に高さが
それほど高くない遮蔽板２２を垂直に立て、この
遮蔽板２２の裏側に吸込口２３を設けて強制吸引
すると、その整流化作用は一層良好となり、機械
類全体の汚染が完全に防止される。
第３図と第４図は、整流板９を用いない場合と
用いた場合の空気流れを比較したもので、第３図
のように整流板９がない場合は上部からの気流が
機械類７の上面でつき当つたあと、この機械類７
の前面さらには側面で乱流域２５が発生し、通路
側の気流とのコンタミネーシヨンが起こる。これ
に対し、整流板９を設けた第４図の場合は、この
ような乱流域が発生しないので、コンタミネーシ
ヨンが効果的に防止される。
用いた場合の空気流れを比較したもので、第３図
のように整流板９がない場合は上部からの気流が
機械類７の上面でつき当つたあと、この機械類７
の前面さらには側面で乱流域２５が発生し、通路
側の気流とのコンタミネーシヨンが起こる。これ
に対し、整流板９を設けた第４図の場合は、この
ような乱流域が発生しないので、コンタミネーシ
ヨンが効果的に防止される。
第５図は本考案のクリーントンネル装置を通路
１の両サイドに設置する場合の配置例を示した天
井部平面図であり、このような配置を採用するこ
とにより、通路両側で多数の生産機械を高度な清
浄環境で運転できることになり、作業性も良好と
なる。
１の両サイドに設置する場合の配置例を示した天
井部平面図であり、このような配置を採用するこ
とにより、通路両側で多数の生産機械を高度な清
浄環境で運転できることになり、作業性も良好と
なる。
以上のようにして、本考案のクリーントンネル
は構造簡易性と作業性にすぐれると共に、機械類
の作業用開口からのコンタミネーシヨンが防止さ
れ、また機械類のトンネル内への設置融通性も増
大するなど、工業用クリーントンネルとして有益
かつ実用的な効果を有するものである。
は構造簡易性と作業性にすぐれると共に、機械類
の作業用開口からのコンタミネーシヨンが防止さ
れ、また機械類のトンネル内への設置融通性も増
大するなど、工業用クリーントンネルとして有益
かつ実用的な効果を有するものである。
第１図は本考案のクリーントンネルの縦断面
図、第２図は第１図のＡ部拡大図、第３図および
第４図は整流板を有しない場合と有する場合の気
流分布を示した図、第５図は本考案のクリーント
ンネル装置の配置例を示した天井部平面図であ
る。 １……クリーンルーム（通路）、２……開口、
３……クリーントンネル、４……HEPAフイル
ター、５……HEPAフイルター、６……フード、
７……機械類、９……整流板、１４……排気口、
１７……吸盤、１８……支持棒。
図、第２図は第１図のＡ部拡大図、第３図および
第４図は整流板を有しない場合と有する場合の気
流分布を示した図、第５図は本考案のクリーント
ンネル装置の配置例を示した天井部平面図であ
る。 １……クリーンルーム（通路）、２……開口、
３……クリーントンネル、４……HEPAフイル
ター、５……HEPAフイルター、６……フード、
７……機械類、９……整流板、１４……排気口、
１７……吸盤、１８……支持棒。
Claims (1)
- クリーンルーム１内に、このクリーンルーム１
と連通する開口２を有するクリーントンネル３を
形成した設備であつて、該クリーントンネル３の
天井部にクリーンルーム１用のHEPAフイルタ
ー４よりもハイクラスのHEPAフイルター５を
水平に配置すると共に前記開口２の上部に垂直な
フード６を設置し、斯くして構成されるクリーン
トンネル３内にその天井部の該HEPAフイルタ
ー５から清浄空気を下向きに吹出すようにしたク
リーントンネル装置において、該フード６の垂直
面と平行な垂直面をもつ整流板９を、フード６の
クリーントンネル３側の面にフード６とは間隔を
あけて取付けたことを特徴とするクリーントンネ
ル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12231782U JPS5926525U (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | クリ−ントンネル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12231782U JPS5926525U (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | クリ−ントンネル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5926525U JPS5926525U (ja) | 1984-02-18 |
| JPH0123055Y2 true JPH0123055Y2 (ja) | 1989-07-14 |
Family
ID=30279632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12231782U Granted JPS5926525U (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | クリ−ントンネル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5926525U (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60245533A (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-05 | Shinwa Tec Kk | プラスチツク射出成形機用クリ−ンブ−ス |
| JP2019090576A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | 株式会社桜アーク | 清浄ユニット |
-
1982
- 1982-08-13 JP JP12231782U patent/JPS5926525U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5926525U (ja) | 1984-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI289645B (en) | Clean bench | |
| US5417610A (en) | Method and device for reducing vortices at a cleanroom ceiling | |
| ES2055579T3 (es) | Casa elevada. | |
| JPH0123055Y2 (ja) | ||
| JP2014176787A (ja) | 除塵ブース | |
| JPH035807Y2 (ja) | ||
| US20090176447A1 (en) | Air shower room | |
| CN103879782A (zh) | 一种羽绒收集车 | |
| JP3566073B2 (ja) | 循環気流式集塵装置 | |
| JP2005048971A (ja) | クリーンベンチ | |
| CN211561230U (zh) | 一种内科临床用挂式空气消毒器 | |
| CN204445694U (zh) | 具有双进风口的风动地刷 | |
| JPH07127889A (ja) | クリーンブース装置 | |
| JPH0328248Y2 (ja) | ||
| JPH0311650Y2 (ja) | ||
| JPH0532168Y2 (ja) | ||
| JPS6034279Y2 (ja) | 無塵室装置 | |
| CN220561525U (zh) | 一种建筑工具储放架 | |
| JPH0510913U (ja) | 空気調和機 | |
| JPH0587426U (ja) | 空気調和機の取付装置 | |
| JPS6349218A (ja) | 空気清浄装置 | |
| CN215777729U (zh) | 一种多功能除尘机器人 | |
| JP2555685Y2 (ja) | クリーンルーム内の物品保管設備 | |
| JPH0570051B2 (ja) | ||
| JPS6340744Y2 (ja) |