JPS5931238U - 半導体ウエハ−の収納容器 - Google Patents
半導体ウエハ−の収納容器Info
- Publication number
- JPS5931238U JPS5931238U JP12755782U JP12755782U JPS5931238U JP S5931238 U JPS5931238 U JP S5931238U JP 12755782 U JP12755782 U JP 12755782U JP 12755782 U JP12755782 U JP 12755782U JP S5931238 U JPS5931238 U JP S5931238U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- storage container
- lid
- semiconductor wafer
- wafer storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面はこの考案の一実施例の横断面図である。
１・・・・・・容器本体、６・・・・・・蓋、８・・・
・・・ウェハー押さえシート、Ｗ、Ｗ′・・・・・・ウ
ェハー、Ｃ・・・・・・中心線。
・・・ウェハー押さえシート、Ｗ、Ｗ′・・・・・・ウ
ェハー、Ｃ・・・・・・中心線。
Claims (1)
- 上面が開口され、その開口部分が蓋により気密的に覆わ
れ、内部に各ウェハーが立てた状態で平行に並べて収納
される半導体ウエハニの収納容器において、前記蓋の内
面には、収納すべきウェハーの並び方向にのびる２本の
平行なウェハー押さえシートが蓋と一体にかつ蓋の内面
と垂直に形成され、しかもこれらシートは、蓋の内面か
らウェハーの中心に垂直に引いた中心線から両側にそれ
ぞれ０−５ｒ〜０．９ｒ（但しｒはウェハーの半径）の
範囲に位置されるとともに一１先端が薄い方形状をなし
かつその先端が収納されるウェハーの上縁に達する長さ
とされていることを特徴とする半導体ウェハーの収納容
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12755782U JPS5931238U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12755782U JPS5931238U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5931238U true JPS5931238U (ja) | 1984-02-27 |
Family
ID=30289666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12755782U Pending JPS5931238U (ja) | 1982-08-24 | 1982-08-24 | 半導体ウエハ−の収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931238U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61287584A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-12-17 | デイナミ−ト・ノ−ベル・シリコン・ソチエタ・ペル・アチオ−ニ | 珪素プレートを貯蔵及び搬送するための容器及びカセット |
| JPH01163338U (ja) * | 1989-05-02 | 1989-11-14 |
-
1982
- 1982-08-24 JP JP12755782U patent/JPS5931238U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61287584A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-12-17 | デイナミ−ト・ノ−ベル・シリコン・ソチエタ・ペル・アチオ−ニ | 珪素プレートを貯蔵及び搬送するための容器及びカセット |
| JPH01163338U (ja) * | 1989-05-02 | 1989-11-14 |
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