JPS6311380U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6311380U JPS6311380U JP1986105187U JP10518786U JPS6311380U JP S6311380 U JPS6311380 U JP S6311380U JP 1986105187 U JP1986105187 U JP 1986105187U JP 10518786 U JP10518786 U JP 10518786U JP S6311380 U JPS6311380 U JP S6311380U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafers
- stocker
- opening
- main body
- stacking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図ないし第６図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は積層ストツカーの斜視図、第２
図は同正面図、第３図は同側面図、第４図は同平
面図、第５図はウエーハ搬入装置の側面図、第６
図は同平面図である。 １……積層ストツカー、２……ストツカー本体
、９……開口部、１０……傾斜底板、１１，１２
……位置決め背板、Ｗ……ウエーハ。
もので、第１図は積層ストツカーの斜視図、第２
図は同正面図、第３図は同側面図、第４図は同平
面図、第５図はウエーハ搬入装置の側面図、第６
図は同平面図である。 １……積層ストツカー、２……ストツカー本体
、９……開口部、１０……傾斜底板、１１，１２
……位置決め背板、Ｗ……ウエーハ。
Claims (1)
- ウエーハを積重して収納するウエーハの積層ス
トツカーにおいて、ストツカー本体の一側部に、
ウエーハ搬出入用の開口部が形成され、かつ上記
ストツカー本体の底部に、上記開口部から内部に
行くほど下方に所定角度傾斜する傾斜底板が設け
られると共に、上記ストツカー本体の上記開口部
に対向する側部に、上記ウエーハの収納位置を規
制する位置決め背板がハ字状に立設されたことを
特徴とするウエーハの積層ストツカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986105187U JPS6311380U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986105187U JPS6311380U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6311380U true JPS6311380U (ja) | 1988-01-25 |
Family
ID=30979379
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986105187U Pending JPS6311380U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6311380U (ja) |
-
1986
- 1986-07-09 JP JP1986105187U patent/JPS6311380U/ja active Pending
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