JPS5931247B2 - スイシヨウシンドウシ - Google Patents
スイシヨウシンドウシInfo
- Publication number
- JPS5931247B2 JPS5931247B2 JP13784175A JP13784175A JPS5931247B2 JP S5931247 B2 JPS5931247 B2 JP S5931247B2 JP 13784175 A JP13784175 A JP 13784175A JP 13784175 A JP13784175 A JP 13784175A JP S5931247 B2 JPS5931247 B2 JP S5931247B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- arm
- suishiyo
- shindoushi
- crystal resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄型水晶振動子の形状に関する。
本発明の目的はエツチング技術を用いて製造される薄型
の水晶振動子の作業性を向上するために、新たに引出し
電極と位置決め、ツマミ用のアームを設けた事である。
の水晶振動子の作業性を向上するために、新たに引出し
電極と位置決め、ツマミ用のアームを設けた事である。
最近小型水晶振動子の進歩は数十ミクロンの薄い水晶ウ
ェハの加工とエツチング及び写真技術の進歩にともなっ
て急速に進み、時計等の基準振動体としてその生産量も
増加して来ている。
ェハの加工とエツチング及び写真技術の進歩にともなっ
て急速に進み、時計等の基準振動体としてその生産量も
増加して来ている。
その形状は音叉形が製造の面からも、性能の面でも最も
理想的な形とされている。
理想的な形とされている。
しかしながら、この種の振動子は形状が単純であるにも
か又わらず、取り扱いの面では極めて注意を要するもの
である。
か又わらず、取り扱いの面では極めて注意を要するもの
である。
即ち、振動体全体に電極が形成されており、振動子をつ
まむ事は好ましくなく、互いに接触する事も避けなげれ
ばならない。
まむ事は好ましくなく、互いに接触する事も避けなげれ
ばならない。
従って振動子を枠から取りはずすことも、測定端子を振
動子に当てる事も大変難かしい作業技術を要するのであ
る。
動子に当てる事も大変難かしい作業技術を要するのであ
る。
本発明はか〜る問題点を解決するために、将来振動子と
して働く一切の部分には絶対に触れることなく、振動子
の調整ないしは取りはずし搬送を行えるようにした事で
ある。
して働く一切の部分には絶対に触れることなく、振動子
の調整ないしは取りはずし搬送を行えるようにした事で
ある。
以下本発明の実施例について図面に従って詳しく説明す
る。
る。
第１図は従来からのエツチングによる複数個の振動子を
とり出すパターンの平面図で、薄い水晶板１に多数の振
動子２が形成され、連結部３で支持されている。
とり出すパターンの平面図で、薄い水晶板１に多数の振
動子２が形成され、連結部３で支持されている。
第２図は本発明の一実施例を示す部分拡大図で薄い水晶
板１１に多数の振動子１９がエツチングで形成され、各
々の振動子１９にはマウンティングの際の位置決め兼ツ
マミ用のアーム１２が設けられ、該アーム１２の両側に
該アーム１２より強度的に弱い２本のブリッジアーム１
３，１４が形成されている。
板１１に多数の振動子１９がエツチングで形成され、各
々の振動子１９にはマウンティングの際の位置決め兼ツ
マミ用のアーム１２が設けられ、該アーム１２の両側に
該アーム１２より強度的に弱い２本のブリッジアーム１
３，１４が形成されている。
２本のブリッジアーム１３，１４上に（′Ｌ、振動子の
蒸着電極１５，１６と同極の引出し電極が蒸着されてお
り、水晶板の枠上の電極ターミナル１７，１Ｂと導通さ
せている。
蒸着電極１５，１６と同極の引出し電極が蒸着されてお
り、水晶板の枠上の電極ターミナル１７，１Ｂと導通さ
せている。
この状態で振動子１９は電極ターミナル１７゜１Ｂを使
って周波数の調整や特性のチェックが行われ、次工程の
振動子のパッケージの工程に移される。
って周波数の調整や特性のチェックが行われ、次工程の
振動子のパッケージの工程に移される。
第３図はこの時の振動子とりはすしの様子を示している
。
。
即ち前記のブリッジアーム１３，１４は搬送部材のチッ
プ２１，２２の矢印の方向の動きで簡単に折り取られ、
同時にツマミアーム１２を搬送部材チップ２Ｌ２２で挾
まれ、次工程ステーションに移され、位置決めされる。
プ２１，２２の矢印の方向の動きで簡単に折り取られ、
同時にツマミアーム１２を搬送部材チップ２Ｌ２２で挾
まれ、次工程ステーションに移され、位置決めされる。
かくして振動子に何ら触れることな（、測定及び調整が
なされ、不用になると、折り取られ、つまみをもって次
工程に移されるというワンタッチ方式で自動組立等も可
能になり、その効果は極めて大なるものがある。
なされ、不用になると、折り取られ、つまみをもって次
工程に移されるというワンタッチ方式で自動組立等も可
能になり、その効果は極めて大なるものがある。
枠部の電極１８は勿論複数個分が共通した電極方式をと
っている。
っている。
（図省略）
第１図は従来の薄型水晶振動子パターンを示す平面図、
第２図は本発明による薄型水晶振動子の形状と電極を示
す部分拡大図、第３図は本発明の説明をするための略図
である。 １．１１・・・・・・薄い水晶板、２，１９・・・・・
・水晶振動子、３・・・・・・連結部、４・・・・・・
折れた連結部、１２・・・・・・位置決め兼ツマミアー
ム、１３，１４・・・・・・ブリッジアーム、１５，１
６・・・・・・電極、１７，１８・・・・・・電極ター
ミナル、２１，２２・・・・・・搬送部材チップ。
第２図は本発明による薄型水晶振動子の形状と電極を示
す部分拡大図、第３図は本発明の説明をするための略図
である。 １．１１・・・・・・薄い水晶板、２，１９・・・・・
・水晶振動子、３・・・・・・連結部、４・・・・・・
折れた連結部、１２・・・・・・位置決め兼ツマミアー
ム、１３，１４・・・・・・ブリッジアーム、１５，１
６・・・・・・電極、１７，１８・・・・・・電極ター
ミナル、２１，２２・・・・・・搬送部材チップ。
Claims (1)
- １ 薄形音叉型水晶振動子の支持部につまみ用アーム及
び該アームの両側に該アームより強度的に弱い２本の電
極ブリッジを設けたことを特徴とする水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784175A JPS5931247B2 (ja) | 1975-11-18 | 1975-11-18 | スイシヨウシンドウシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13784175A JPS5931247B2 (ja) | 1975-11-18 | 1975-11-18 | スイシヨウシンドウシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5261986A JPS5261986A (en) | 1977-05-21 |
| JPS5931247B2 true JPS5931247B2 (ja) | 1984-08-01 |
Family
ID=15208061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13784175A Expired JPS5931247B2 (ja) | 1975-11-18 | 1975-11-18 | スイシヨウシンドウシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5931247B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2464595A1 (fr) * | 1979-08-31 | 1981-03-06 | Ebauches Sa | Procede de detection d'asymetrie de resonateurs a cristal piezoelectrique en forme de diapason et resonateurs pour sa mise en oeuvre |
| JP4877796B2 (ja) * | 2007-02-13 | 2012-02-15 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉型水晶振動子の製造装置 |
| JP4877797B2 (ja) * | 2007-02-15 | 2012-02-15 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉型水晶振動子の製造装置 |
| JP5055593B2 (ja) * | 2007-02-16 | 2012-10-24 | セイコーインスツル株式会社 | 音叉型水晶振動子の製造装置 |
| JP2009194629A (ja) * | 2008-02-14 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、ウエハ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
| JP5138407B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2013-02-06 | セイコーインスツル株式会社 | ウエハ及びウエハ研磨方法 |
| JP5185650B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2013-04-17 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片の製造方法及びウエハ |
| JP5184142B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2013-04-17 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
| JP6525788B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2019-06-05 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子集合ウエハ |
| JP6525789B2 (ja) * | 2015-07-27 | 2019-06-05 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子集合ウエハ |
-
1975
- 1975-11-18 JP JP13784175A patent/JPS5931247B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5261986A (en) | 1977-05-21 |
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