JPS5932401B2 - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
- Publication number
- JPS5932401B2 JPS5932401B2 JP52149582A JP14958277A JPS5932401B2 JP S5932401 B2 JPS5932401 B2 JP S5932401B2 JP 52149582 A JP52149582 A JP 52149582A JP 14958277 A JP14958277 A JP 14958277A JP S5932401 B2 JPS5932401 B2 JP S5932401B2
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- JP
- Japan
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- ozone
- adsorption
- desorption
- oxygen
- desorption device
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- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は安全でかつ低コストで高濃度のオゾン水等を
製造するのに適したオゾン発生装置に関するものである
。
製造するのに適したオゾン発生装置に関するものである
。
オゾンは周知の通り、実用的な物質では弗素に次ぐ酸化
力を有しており、かつ反応後の生成物が無害な酸素であ
るために酸化剤、漂白剤などとしてその用途は極めて広
い。
力を有しており、かつ反応後の生成物が無害な酸素であ
るために酸化剤、漂白剤などとしてその用途は極めて広
い。
特に高濃度オゾン水は反応速度が速く、パルプの漂白な
ど化学プラントに於いて選択的な酸化反応を目的とする
酸化剤としてその効果ははかり知えない。
ど化学プラントに於いて選択的な酸化反応を目的とする
酸化剤としてその効果ははかり知えない。
このようなオゾンを製造する装置として従来知られてい
るものを以下図について説明する。
るものを以下図について説明する。
第1図に示されるものは比較的高濃度のオゾン水を製造
するのに適した酸素リサイクルオゾン発生装置の構成図
である。
するのに適した酸素リサイクルオゾン発生装置の構成図
である。
図において、1は原料酸素源、2はオゾン発生機、3は
ブロア、4−1 、4−2はオゾン吸着剤を充填したオ
ゾン吸脱着装置。
ブロア、4−1 、4−2はオゾン吸着剤を充填したオ
ゾン吸脱着装置。
5は熱交換器、6はオゾン脱着気体源、7は気体冷却器
である。
である。
次に動作について説明する。
ブロア3より、送入された酸素はオゾン発生機2内を通
過時に無声放電により一部がオゾンに変換されオゾン化
酸素となる。
過時に無声放電により一部がオゾンに変換されオゾン化
酸素となる。
オゾン発生機2を出たオゾン化酸素は熱交換器5にて吸
脱着装置4−1より出た冷却酸素と熱交換し、冷却され
、さらに気体冷却器7にて所定の温度まで冷却されて切
換弁8−1を経てオゾン吸脱着装置4−1に入る。
脱着装置4−1より出た冷却酸素と熱交換し、冷却され
、さらに気体冷却器7にて所定の温度まで冷却されて切
換弁8−1を経てオゾン吸脱着装置4−1に入る。
オゾン吸脱着装置4−1内の吸着剤はオゾンを選択的に
吸着し、残りの酸素は切換弁8−3を介してブロア3に
返送される。
吸着し、残りの酸素は切換弁8−3を介してブロア3に
返送される。
オゾンとして消費された酸素は原料酸素源1より補充さ
れる。
れる。
吸脱着装置4−1がオゾンの吸着動作を行なっている間
に吸脱着装置4−2は、オゾン脱着気体源6よりオゾン
脱着気体が切換弁8−8を経て導入され、前の動作にて
吸着していたオゾンを脱着しオゾン化気体として取り出
すオゾン脱着動作を行なっている。
に吸脱着装置4−2は、オゾン脱着気体源6よりオゾン
脱着気体が切換弁8−8を経て導入され、前の動作にて
吸着していたオゾンを脱着しオゾン化気体として取り出
すオゾン脱着動作を行なっている。
脱着したオゾンはオゾン脱着気体と共に切換弁8−6を
経て気液接触装置9に導入されオゾンを水中に溶解せし
めオゾン水として使用箇所に送られる。
経て気液接触装置9に導入されオゾンを水中に溶解せし
めオゾン水として使用箇所に送られる。
オゾン吸脱着装置4−1内の吸着剤がオゾンを飽和近く
まで吸着すると切換弁8−1.8−6.8−8が閉じ、
切換弁12.8−4 、[5,8−7が開き吸脱着装置
4−1が上記オゾン脱着動作を、吸脱着装置4−2が上
記オゾン吸着動作を行なう。
まで吸着すると切換弁8−1.8−6.8−8が閉じ、
切換弁12.8−4 、[5,8−7が開き吸脱着装置
4−1が上記オゾン脱着動作を、吸脱着装置4−2が上
記オゾン吸着動作を行なう。
上記のように吸脱着装置4−1.4−2を交互にオゾン
吸着動作、オゾン脱着動作に使用することにより連続的
にオゾン発生装置としての機能を果たす。
吸着動作、オゾン脱着動作に使用することにより連続的
にオゾン発生装置としての機能を果たす。
この様に従来のオゾン発生装置ではオゾン脱着時にオゾ
ン脱着気体が低温に冷却された吸着剤中を通過する際に
含有する水蒸気が吸着剤に吸着しオゾンの吸着容量の低
下の原因となり必要以上に大きな吸脱着装置を設けなけ
ればならない。
ン脱着気体が低温に冷却された吸着剤中を通過する際に
含有する水蒸気が吸着剤に吸着しオゾンの吸着容量の低
下の原因となり必要以上に大きな吸脱着装置を設けなけ
ればならない。
またこれを防止するには脱着気体の十分な乾燥が必要で
あり気体の乾燥にかなりの動力を必要とする。
あり気体の乾燥にかなりの動力を必要とする。
また、オゾン水中のオゾン濃度は気液接触装置9に導入
される脱着気体中のオゾン濃度に支配され高濃度オゾン
水(数109/1ten水以上)を製造するためには水
温20℃の場合には第2図に示されるように10wt%
(脱着気体を空気とした場合)程度以上のオゾン濃度
が必要となる。
される脱着気体中のオゾン濃度に支配され高濃度オゾン
水(数109/1ten水以上)を製造するためには水
温20℃の場合には第2図に示されるように10wt%
(脱着気体を空気とした場合)程度以上のオゾン濃度
が必要となる。
しかるに、従来の方法によると脱着気体中のオゾン濃度
は最大10wt%であり高濃度オゾン水の製造は容易で
ない。
は最大10wt%であり高濃度オゾン水の製造は容易で
ない。
また、吸脱着装置を加温し脱着気体量を極めて少なくし
てオゾンを高濃度のオゾン化気体を得る方法も可能であ
るが常圧下では20wt%以上のオゾン化気体は不安定
で急激な分解ひいては爆発を生ずる危険性が高い。
てオゾンを高濃度のオゾン化気体を得る方法も可能であ
るが常圧下では20wt%以上のオゾン化気体は不安定
で急激な分解ひいては爆発を生ずる危険性が高い。
上記の事由により従来のオゾン発生装置では高濃度オゾ
ン水を安全に効率よく作ることは困難であった。
ン水を安全に効率よく作ることは困難であった。
この発明はこのような点にかんがみてなされたもので、
高濃度オゾン水を安全にしかも低価格で製造することが
可能なオゾン発生装置を提供するものである。
高濃度オゾン水を安全にしかも低価格で製造することが
可能なオゾン発生装置を提供するものである。
以下第3図に示すこの発明の原理について説明する。
図において、第1図と同一符号は同一または相当部分を
示し、10は水エゼククーである。
示し、10は水エゼククーである。
次に動作について説明する。
オゾン発生機2より供給された酸素の一部がオゾンに変
換したオゾン化酸素は、熱交換器5、および気体冷却器
7で冷却されて切換弁8−1を経て吸脱着装置4−1に
導入される。
換したオゾン化酸素は、熱交換器5、および気体冷却器
7で冷却されて切換弁8−1を経て吸脱着装置4−1に
導入される。
吸脱着装置4−1内でオゾン化酸素中のオゾンが吸着剤
に吸着されて残りの酸素が切換弁8−3を介して熱交換
器5、ブロア3を経てオゾン発生機2に返送される。
に吸着されて残りの酸素が切換弁8−3を介して熱交換
器5、ブロア3を経てオゾン発生機2に返送される。
オゾン発生機でオゾンに変換することにより消費された
酸素は原料酸素源1より供給される。
酸素は原料酸素源1より供給される。
吸脱着装置4−1がオゾン吸着動作を行なっている間、
吸脱着装置4−2は後述のオゾン脱着動作を行なう。
吸脱着装置4−2は後述のオゾン脱着動作を行なう。
吸脱着装置4−1内の吸着剤がオゾンを飽和近くまで吸
着すると切換弁8−1 、[3,8−6が閉鎖し切換弁
8−2.8−5.8−7が開き吸脱着装置4−1がオゾ
ン脱着動作に入り、吸脱着装置4−2がオゾン吸着動作
に入る。
着すると切換弁8−1 、[3,8−6が閉鎖し切換弁
8−2.8−5.8−7が開き吸脱着装置4−1がオゾ
ン脱着動作に入り、吸脱着装置4−2がオゾン吸着動作
に入る。
オゾンの脱着は、切換弁8−2を開くことにより水エゼ
クタ−10で減圧吸引して脱着気体を通ずることなくオ
ゾンが脱着した水エゼクタ−10内で水中に分散し溶解
してオゾン水として使用箇所に送られる。
クタ−10で減圧吸引して脱着気体を通ずることなくオ
ゾンが脱着した水エゼクタ−10内で水中に分散し溶解
してオゾン水として使用箇所に送られる。
また、吸脱着装置4−1.4−2は交互にオゾン吸着動
作とオゾン脱着動作を切換弁により繰返し連続的にオゾ
ン水を製造する。
作とオゾン脱着動作を切換弁により繰返し連続的にオゾ
ン水を製造する。
この発明の原理はオゾンの脱着に脱着気体を使用するこ
となく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめることに
より10〜50wt%もの高濃度オゾンを水中に分散で
きる。
となく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめることに
より10〜50wt%もの高濃度オゾンを水中に分散で
きる。
従って生成するオゾン水は第2図のオゾン水系の平衡図
に明らかな様に30g/lon水〜200 g/ to
n水の高濃度オゾン水が連続的に得られる。
に明らかな様に30g/lon水〜200 g/ to
n水の高濃度オゾン水が連続的に得られる。
また、オゾン濃度が10〜50wt%のオゾン化気体は
常圧下で極めて不安定であるが、この発明の動作が−2
0〜−70CIrLHgの低圧下で行なわれるためオゾ
ンの密度は常圧下での3〜10wt%のオゾン濃度に相
当し、前述のオゾンの分解あるいは爆発の危険は全くな
い。
常圧下で極めて不安定であるが、この発明の動作が−2
0〜−70CIrLHgの低圧下で行なわれるためオゾ
ンの密度は常圧下での3〜10wt%のオゾン濃度に相
当し、前述のオゾンの分解あるいは爆発の危険は全くな
い。
さらに脱着気体を全く使用しないため、脱着気体の乾燥
、圧送等の動力が不要でオゾン水製造コストは従来のも
のより軽減される。
、圧送等の動力が不要でオゾン水製造コストは従来のも
のより軽減される。
第4図はこの発明の一実施例で第3図と異なるところは
吸脱着装置4−1.4−2内に伝熱体12−1 、12
−2を設はオゾン吸着動作時には冷熱源13よりポンプ
15−1および流路切換弁11−1 、11−2を介し
冷却流体を流し吸脱着の冷却を、またオゾン脱着動作時
には温熱源14よりポンプ15−2および流路切換弁1
1−3 。
吸脱着装置4−1.4−2内に伝熱体12−1 、12
−2を設はオゾン吸着動作時には冷熱源13よりポンプ
15−1および流路切換弁11−1 、11−2を介し
冷却流体を流し吸脱着の冷却を、またオゾン脱着動作時
には温熱源14よりポンプ15−2および流路切換弁1
1−3 。
11−4を介し、加熱流体を流し吸脱着装置の加熱を行
なうようにした点である。
なうようにした点である。
吸着剤の温度を下げるとオゾンの吸着量は増加し、逆に
吸着剤の温度を上げるとオゾンの吸着量は減少する。
吸着剤の温度を上げるとオゾンの吸着量は減少する。
従ってオゾンの吸着時に冷却することは少量の吸着剤(
小さな吸脱着装置)で多量のオゾンが吸着し、オゾンの
脱着時に加熱することにより脱着流体を通じなくとも吸
着剤より容易にかつ短時間で高濃度オゾンが脱着し水エ
ゼクタ−10に供給されることになる。
小さな吸脱着装置)で多量のオゾンが吸着し、オゾンの
脱着時に加熱することにより脱着流体を通じなくとも吸
着剤より容易にかつ短時間で高濃度オゾンが脱着し水エ
ゼクタ−10に供給されることになる。
また、吸脱着装置の加熱、冷却の熱量は吸着剤の比熱が
小さく、その電力消費は僅かであるので、この発明の実
用的価値は大きい。
小さく、その電力消費は僅かであるので、この発明の実
用的価値は大きい。
さらに、冷熱源を冷凍機で製造する場合は、温熱源に冷
凍機の凝縮器の廃熱を利用することにより動力の増加を
押えることが期待できる。
凍機の凝縮器の廃熱を利用することにより動力の増加を
押えることが期待できる。
またオゾン吸着動作からオゾン脱着動作へ移行する時の
吸脱着装置内の気相中のオゾン濃度はオゾン発生機より
送入されたオゾン化酸素であるため高々4wt%であり
大部分は原料気体の酸素である。
吸脱着装置内の気相中のオゾン濃度はオゾン発生機より
送入されたオゾン化酸素であるため高々4wt%であり
大部分は原料気体の酸素である。
従って上記動作の切換直後は水エゼクタ−10内に吸引
される気体中のオゾン濃度が急激に減少して水中のオゾ
ン濃度が大きく変動し、かつ必要以上に酸素の消費を増
加させることになる。
される気体中のオゾン濃度が急激に減少して水中のオゾ
ン濃度が大きく変動し、かつ必要以上に酸素の消費を増
加させることになる。
この様な次点は第5図に示す実施例のように吸脱着装置
4−1.4−2.4−3より切換弁8−21゜8−22
、8−23を通して減圧吸引ポンプ16とオゾン発生
機2を接続して、オゾン吸着動作からオゾン脱着動作に
移行する間に減圧吸引ポンプ16により吸脱着装置の酸
素を主成分とする気体を減圧吸引して回収する酸素回収
動作を設けることにより容易に解消できる。
4−1.4−2.4−3より切換弁8−21゜8−22
、8−23を通して減圧吸引ポンプ16とオゾン発生
機2を接続して、オゾン吸着動作からオゾン脱着動作に
移行する間に減圧吸引ポンプ16により吸脱着装置の酸
素を主成分とする気体を減圧吸引して回収する酸素回収
動作を設けることにより容易に解消できる。
以上のようにこの発明はオゾンの脱着に脱着気体を使用
することなく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめて
いるので、高濃度オゾン水が連続的に得られ、かつ脱着
気体の乾燥、圧送等め動力が不要でオゾン水製造価格は
従来のものに比し軽減される。
することなく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめて
いるので、高濃度オゾン水が連続的に得られ、かつ脱着
気体の乾燥、圧送等め動力が不要でオゾン水製造価格は
従来のものに比し軽減される。
さらに動作は低圧下で行なわれるのでオゾンの分解、爆
発の危険がなくなる等諸効果がある。
発の危険がなくなる等諸効果がある。
又、この発明によれば、吸脱着装置に伝熱体を設けてい
るのでオゾンの吸着及び脱着を効率よく行なう事が出来
る。
るのでオゾンの吸着及び脱着を効率よく行なう事が出来
る。
第1図は従来のオゾン発生装置の構成図、第2図は気相
中のオゾン濃度と水中オゾン濃度の関係を示す曲線図、
第3図はこの発明の一原理を示す構成図、第4図、およ
び第5図はこの発明の実施例を示す構成図である。 図において、1は原料酸素源、2はオゾン発生器、3は
ブロア、4−1.4−2.4−3はオゾン吸脱着装置、
5は熱交換器、7は気体冷却器、11 、8−2 、
[3、8−4、8−5、8−6,8−7は流体切換弁、
10は水エゼクタ−である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示すものとす
る。
中のオゾン濃度と水中オゾン濃度の関係を示す曲線図、
第3図はこの発明の一原理を示す構成図、第4図、およ
び第5図はこの発明の実施例を示す構成図である。 図において、1は原料酸素源、2はオゾン発生器、3は
ブロア、4−1.4−2.4−3はオゾン吸脱着装置、
5は熱交換器、7は気体冷却器、11 、8−2 、
[3、8−4、8−5、8−6,8−7は流体切換弁、
10は水エゼクタ−である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示すものとす
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 原料酸素からオゾン化酸素を形成するオゾン発生機
と、上記オゾン発生機により形成されたオゾン化酸素か
らオゾンを吸着し、かつ吸着したオゾンを脱着し得る少
なくとも一つの吸脱着装置と、上記オゾン発生機に原料
酸素を供給する原料酸素源とを有し、上記吸脱着装置に
よりオゾンが吸着された後の酸素を上記オゾン発生機に
戻し、かつ上記吸脱着装置からオゾンを脱着供給するも
のにおいて、上記吸脱着装置に吸着されたオゾンを−7
0(crIlHg )以上−20〔cIrLHg〕未満
の圧力で減圧吸引して脱着すると共に上記脱着したオゾ
ンを上記減圧下の状態で流体中に分散させる減圧吸引装
置と、上記吸脱着装置に設けられ、オゾン吸着時には低
温流体が通じオゾン脱着時には高温流体が通じる伝熱体
とを備えた事を特徴きするオゾン発生装置。 2 減圧吸引装置として水流エゼクタを用いた事を特徴
とする特許請求の範囲第1項記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52149582A JPS5932401B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52149582A JPS5932401B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | オゾン発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5481192A JPS5481192A (en) | 1979-06-28 |
| JPS5932401B2 true JPS5932401B2 (ja) | 1984-08-08 |
Family
ID=15478340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52149582A Expired JPS5932401B2 (ja) | 1977-12-13 | 1977-12-13 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932401B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3230922A1 (de) * | 1982-08-20 | 1984-02-23 | Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur behandlung von stoffen mit ozon |
| JPS61141603A (ja) * | 1985-10-03 | 1986-06-28 | Mitsubishi Electric Corp | 間欠オゾン供給装置 |
| JPS61183926U (ja) * | 1986-04-03 | 1986-11-17 | ||
| US4696681A (en) * | 1986-10-01 | 1987-09-29 | The Boc Group, Inc. | PSA assembly |
| JPS63297202A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-05 | Tokyo Electron Ltd | オゾン発生方法およびその装置 |
| WO2019234882A1 (ja) * | 2018-06-07 | 2019-12-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 |
-
1977
- 1977-12-13 JP JP52149582A patent/JPS5932401B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5481192A (en) | 1979-06-28 |
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