JPS5932401B2 - オゾン発生装置 - Google Patents

オゾン発生装置

Info

Publication number
JPS5932401B2
JPS5932401B2 JP52149582A JP14958277A JPS5932401B2 JP S5932401 B2 JPS5932401 B2 JP S5932401B2 JP 52149582 A JP52149582 A JP 52149582A JP 14958277 A JP14958277 A JP 14958277A JP S5932401 B2 JPS5932401 B2 JP S5932401B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
adsorption
desorption
oxygen
desorption device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP52149582A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5481192A (en
Inventor
敬典 難波
周治 小川
則一 田畑
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP52149582A priority Critical patent/JPS5932401B2/ja
Publication of JPS5481192A publication Critical patent/JPS5481192A/ja
Publication of JPS5932401B2 publication Critical patent/JPS5932401B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は安全でかつ低コストで高濃度のオゾン水等を
製造するのに適したオゾン発生装置に関するものである
オゾンは周知の通り、実用的な物質では弗素に次ぐ酸化
力を有しており、かつ反応後の生成物が無害な酸素であ
るために酸化剤、漂白剤などとしてその用途は極めて広
い。
特に高濃度オゾン水は反応速度が速く、パルプの漂白な
ど化学プラントに於いて選択的な酸化反応を目的とする
酸化剤としてその効果ははかり知えない。
このようなオゾンを製造する装置として従来知られてい
るものを以下図について説明する。
第1図に示されるものは比較的高濃度のオゾン水を製造
するのに適した酸素リサイクルオゾン発生装置の構成図
である。
図において、1は原料酸素源、2はオゾン発生機、3は
ブロア、4−1 、4−2はオゾン吸着剤を充填したオ
ゾン吸脱着装置。
5は熱交換器、6はオゾン脱着気体源、7は気体冷却器
である。
次に動作について説明する。
ブロア3より、送入された酸素はオゾン発生機2内を通
過時に無声放電により一部がオゾンに変換されオゾン化
酸素となる。
オゾン発生機2を出たオゾン化酸素は熱交換器5にて吸
脱着装置4−1より出た冷却酸素と熱交換し、冷却され
、さらに気体冷却器7にて所定の温度まで冷却されて切
換弁8−1を経てオゾン吸脱着装置4−1に入る。
オゾン吸脱着装置4−1内の吸着剤はオゾンを選択的に
吸着し、残りの酸素は切換弁8−3を介してブロア3に
返送される。
オゾンとして消費された酸素は原料酸素源1より補充さ
れる。
吸脱着装置4−1がオゾンの吸着動作を行なっている間
に吸脱着装置4−2は、オゾン脱着気体源6よりオゾン
脱着気体が切換弁8−8を経て導入され、前の動作にて
吸着していたオゾンを脱着しオゾン化気体として取り出
すオゾン脱着動作を行なっている。
脱着したオゾンはオゾン脱着気体と共に切換弁8−6を
経て気液接触装置9に導入されオゾンを水中に溶解せし
めオゾン水として使用箇所に送られる。
オゾン吸脱着装置4−1内の吸着剤がオゾンを飽和近く
まで吸着すると切換弁8−1.8−6.8−8が閉じ、
切換弁12.8−4 、[5,8−7が開き吸脱着装置
4−1が上記オゾン脱着動作を、吸脱着装置4−2が上
記オゾン吸着動作を行なう。
上記のように吸脱着装置4−1.4−2を交互にオゾン
吸着動作、オゾン脱着動作に使用することにより連続的
にオゾン発生装置としての機能を果たす。
この様に従来のオゾン発生装置ではオゾン脱着時にオゾ
ン脱着気体が低温に冷却された吸着剤中を通過する際に
含有する水蒸気が吸着剤に吸着しオゾンの吸着容量の低
下の原因となり必要以上に大きな吸脱着装置を設けなけ
ればならない。
またこれを防止するには脱着気体の十分な乾燥が必要で
あり気体の乾燥にかなりの動力を必要とする。
また、オゾン水中のオゾン濃度は気液接触装置9に導入
される脱着気体中のオゾン濃度に支配され高濃度オゾン
水(数109/1ten水以上)を製造するためには水
温20℃の場合には第2図に示されるように10wt%
(脱着気体を空気とした場合)程度以上のオゾン濃度
が必要となる。
しかるに、従来の方法によると脱着気体中のオゾン濃度
は最大10wt%であり高濃度オゾン水の製造は容易で
ない。
また、吸脱着装置を加温し脱着気体量を極めて少なくし
てオゾンを高濃度のオゾン化気体を得る方法も可能であ
るが常圧下では20wt%以上のオゾン化気体は不安定
で急激な分解ひいては爆発を生ずる危険性が高い。
上記の事由により従来のオゾン発生装置では高濃度オゾ
ン水を安全に効率よく作ることは困難であった。
この発明はこのような点にかんがみてなされたもので、
高濃度オゾン水を安全にしかも低価格で製造することが
可能なオゾン発生装置を提供するものである。
以下第3図に示すこの発明の原理について説明する。
図において、第1図と同一符号は同一または相当部分を
示し、10は水エゼククーである。
次に動作について説明する。
オゾン発生機2より供給された酸素の一部がオゾンに変
換したオゾン化酸素は、熱交換器5、および気体冷却器
7で冷却されて切換弁8−1を経て吸脱着装置4−1に
導入される。
吸脱着装置4−1内でオゾン化酸素中のオゾンが吸着剤
に吸着されて残りの酸素が切換弁8−3を介して熱交換
器5、ブロア3を経てオゾン発生機2に返送される。
オゾン発生機でオゾンに変換することにより消費された
酸素は原料酸素源1より供給される。
吸脱着装置4−1がオゾン吸着動作を行なっている間、
吸脱着装置4−2は後述のオゾン脱着動作を行なう。
吸脱着装置4−1内の吸着剤がオゾンを飽和近くまで吸
着すると切換弁8−1 、[3,8−6が閉鎖し切換弁
8−2.8−5.8−7が開き吸脱着装置4−1がオゾ
ン脱着動作に入り、吸脱着装置4−2がオゾン吸着動作
に入る。
オゾンの脱着は、切換弁8−2を開くことにより水エゼ
クタ−10で減圧吸引して脱着気体を通ずることなくオ
ゾンが脱着した水エゼクタ−10内で水中に分散し溶解
してオゾン水として使用箇所に送られる。
また、吸脱着装置4−1.4−2は交互にオゾン吸着動
作とオゾン脱着動作を切換弁により繰返し連続的にオゾ
ン水を製造する。
この発明の原理はオゾンの脱着に脱着気体を使用するこ
となく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめることに
より10〜50wt%もの高濃度オゾンを水中に分散で
きる。
従って生成するオゾン水は第2図のオゾン水系の平衡図
に明らかな様に30g/lon水〜200 g/ to
n水の高濃度オゾン水が連続的に得られる。
また、オゾン濃度が10〜50wt%のオゾン化気体は
常圧下で極めて不安定であるが、この発明の動作が−2
0〜−70CIrLHgの低圧下で行なわれるためオゾ
ンの密度は常圧下での3〜10wt%のオゾン濃度に相
当し、前述のオゾンの分解あるいは爆発の危険は全くな
い。
さらに脱着気体を全く使用しないため、脱着気体の乾燥
、圧送等の動力が不要でオゾン水製造コストは従来のも
のより軽減される。
第4図はこの発明の一実施例で第3図と異なるところは
吸脱着装置4−1.4−2内に伝熱体12−1 、12
−2を設はオゾン吸着動作時には冷熱源13よりポンプ
15−1および流路切換弁11−1 、11−2を介し
冷却流体を流し吸脱着の冷却を、またオゾン脱着動作時
には温熱源14よりポンプ15−2および流路切換弁1
1−3 。
11−4を介し、加熱流体を流し吸脱着装置の加熱を行
なうようにした点である。
吸着剤の温度を下げるとオゾンの吸着量は増加し、逆に
吸着剤の温度を上げるとオゾンの吸着量は減少する。
従ってオゾンの吸着時に冷却することは少量の吸着剤(
小さな吸脱着装置)で多量のオゾンが吸着し、オゾンの
脱着時に加熱することにより脱着流体を通じなくとも吸
着剤より容易にかつ短時間で高濃度オゾンが脱着し水エ
ゼクタ−10に供給されることになる。
また、吸脱着装置の加熱、冷却の熱量は吸着剤の比熱が
小さく、その電力消費は僅かであるので、この発明の実
用的価値は大きい。
さらに、冷熱源を冷凍機で製造する場合は、温熱源に冷
凍機の凝縮器の廃熱を利用することにより動力の増加を
押えることが期待できる。
またオゾン吸着動作からオゾン脱着動作へ移行する時の
吸脱着装置内の気相中のオゾン濃度はオゾン発生機より
送入されたオゾン化酸素であるため高々4wt%であり
大部分は原料気体の酸素である。
従って上記動作の切換直後は水エゼクタ−10内に吸引
される気体中のオゾン濃度が急激に減少して水中のオゾ
ン濃度が大きく変動し、かつ必要以上に酸素の消費を増
加させることになる。
この様な次点は第5図に示す実施例のように吸脱着装置
4−1.4−2.4−3より切換弁8−21゜8−22
、8−23を通して減圧吸引ポンプ16とオゾン発生
機2を接続して、オゾン吸着動作からオゾン脱着動作に
移行する間に減圧吸引ポンプ16により吸脱着装置の酸
素を主成分とする気体を減圧吸引して回収する酸素回収
動作を設けることにより容易に解消できる。
以上のようにこの発明はオゾンの脱着に脱着気体を使用
することなく減圧で吸引し直接水中に分散溶解せしめて
いるので、高濃度オゾン水が連続的に得られ、かつ脱着
気体の乾燥、圧送等め動力が不要でオゾン水製造価格は
従来のものに比し軽減される。
さらに動作は低圧下で行なわれるのでオゾンの分解、爆
発の危険がなくなる等諸効果がある。
又、この発明によれば、吸脱着装置に伝熱体を設けてい
るのでオゾンの吸着及び脱着を効率よく行なう事が出来
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のオゾン発生装置の構成図、第2図は気相
中のオゾン濃度と水中オゾン濃度の関係を示す曲線図、
第3図はこの発明の一原理を示す構成図、第4図、およ
び第5図はこの発明の実施例を示す構成図である。 図において、1は原料酸素源、2はオゾン発生器、3は
ブロア、4−1.4−2.4−3はオゾン吸脱着装置、
5は熱交換器、7は気体冷却器、11 、8−2 、
[3、8−4、8−5、8−6,8−7は流体切換弁、
10は水エゼクタ−である。 なお図中同一符号は同一または相当部分を示すものとす
る。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 原料酸素からオゾン化酸素を形成するオゾン発生機
    と、上記オゾン発生機により形成されたオゾン化酸素か
    らオゾンを吸着し、かつ吸着したオゾンを脱着し得る少
    なくとも一つの吸脱着装置と、上記オゾン発生機に原料
    酸素を供給する原料酸素源とを有し、上記吸脱着装置に
    よりオゾンが吸着された後の酸素を上記オゾン発生機に
    戻し、かつ上記吸脱着装置からオゾンを脱着供給するも
    のにおいて、上記吸脱着装置に吸着されたオゾンを−7
    0(crIlHg )以上−20〔cIrLHg〕未満
    の圧力で減圧吸引して脱着すると共に上記脱着したオゾ
    ンを上記減圧下の状態で流体中に分散させる減圧吸引装
    置と、上記吸脱着装置に設けられ、オゾン吸着時には低
    温流体が通じオゾン脱着時には高温流体が通じる伝熱体
    とを備えた事を特徴きするオゾン発生装置。 2 減圧吸引装置として水流エゼクタを用いた事を特徴
    とする特許請求の範囲第1項記載のオゾン発生装置。
JP52149582A 1977-12-13 1977-12-13 オゾン発生装置 Expired JPS5932401B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP52149582A JPS5932401B2 (ja) 1977-12-13 1977-12-13 オゾン発生装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP52149582A JPS5932401B2 (ja) 1977-12-13 1977-12-13 オゾン発生装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5481192A JPS5481192A (en) 1979-06-28
JPS5932401B2 true JPS5932401B2 (ja) 1984-08-08

Family

ID=15478340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP52149582A Expired JPS5932401B2 (ja) 1977-12-13 1977-12-13 オゾン発生装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5932401B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3230922A1 (de) * 1982-08-20 1984-02-23 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur behandlung von stoffen mit ozon
JPS61141603A (ja) * 1985-10-03 1986-06-28 Mitsubishi Electric Corp 間欠オゾン供給装置
JPS61183926U (ja) * 1986-04-03 1986-11-17
US4696681A (en) * 1986-10-01 1987-09-29 The Boc Group, Inc. PSA assembly
JPS63297202A (ja) * 1987-05-29 1988-12-05 Tokyo Electron Ltd オゾン発生方法およびその装置
WO2019234882A1 (ja) * 2018-06-07 2019-12-12 三菱電機株式会社 オゾン供給装置およびオゾン供給方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5481192A (en) 1979-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6240285B2 (ja)
US5415786A (en) Process for treating water with ozone
JPS6048444B2 (ja) 間欠オゾン供給装置
US3663418A (en) Periodically reversed gas flow ozone production method and apparatus
JPS5932401B2 (ja) オゾン発生装置
JP6516941B1 (ja) オゾン供給装置およびオゾン供給方法
US6083464A (en) Ozone supplying apparatus with fluid purification and recycling
JPS5910925B2 (ja) 酸素リサイクルオゾン発生装置
JPS6012962B2 (ja) オゾン水製造装置
CN113614031A (zh) 臭氧供给装置以及臭氧供给方法
JPS6356163B2 (ja)
JP3273353B2 (ja) 硫酸プラント排ガスの乾式脱硫方法
JPH0429797A (ja) オゾン水製造装置
JPH02284B2 (ja)
CN212282895U (zh) 有机溶剂脱水装置及有机溶剂脱水系统
JPS62236412A (ja) 生鮮物貯蔵装置
JPS58213602A (ja) 間欠オゾン供給装置
JPH1192113A (ja) オゾン吸脱着装置
JP2001172004A (ja) オゾン供給装置及び方法
JPS57188406A (en) Intermittently feeding apparatus for ozone
JPH04118024A (ja) 溶剤回収装置
JP2002121011A (ja) オゾンの供給方法及び装置
JPH08245202A (ja) 高濃度オゾンの供給装置
JPS61141603A (ja) 間欠オゾン供給装置
JPS643157B2 (ja)