JPS5934347U - 試験材料の冷却温度制御装置 - Google Patents

試験材料の冷却温度制御装置

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Publication number
JPS5934347U
JPS5934347U JP4120083U JP4120083U JPS5934347U JP S5934347 U JPS5934347 U JP S5934347U JP 4120083 U JP4120083 U JP 4120083U JP 4120083 U JP4120083 U JP 4120083U JP S5934347 U JPS5934347 U JP S5934347U
Authority
JP
Japan
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temperature
control device
test material
heat exchanger
temperature control
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Granted
Application number
JP4120083U
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English (en)
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JPS626517Y2 (ja
Inventor
倉岡　泰郎
土田　恭裕
Original Assignee
株式会社ほくさん
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Publication date
Application filed by 株式会社ほくさん filed Critical 株式会社ほくさん
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Publication of JPS5934347U publication Critical patent/JPS5934347U/ja
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  • Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
  • Control Of Temperature (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の温度制御装置を取着した試験材料の正面
図、第２図は第１図の■−■線縦線側断側面図３図は本
考案に係る温度制御装−の断熱容器に試験材料を挾持し
たもの）斜視図、第４図は同装置の全体を示した一部切
欠の機構説明図、第５図のイは他の実施例を示した要部
の縦断正面説明図、同図の町ま回能例の全体を示す縦断
側面説明図である。 、　　１・・・・・・断熱容器、４・・・・・・断熱空
間、５，５′・・・・・・冷媒噴出ノズル、６，６′・
・・・・・冷媒容器、７・・・・・・第１の熱交換器、
７′・・・・・・第２の熱交換器、８・・・・・・第１
の温度センサ、８′・・間第２の温度センサ、９・・・
・・・第１の温度調節器、９′・・・・・・第２の温　
。 度調節器、１０．１０’”・・・・・・熱源、Ａ・・・
・・・試験材料、Ａ’、Ａ″・・・・・・力点、Ｔ・・
・・・・・試験部分、Ｄ。 Ｄ′・・・・・・噴当面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 断熱容器には、力点か同容器より延出するよう試験材料
    を貫通内装すると共に、同材料の試験部分は断熱容器に
    よって囲繞される断熱空間に内装し、該断熱容器には、
    第１の熱交換器、第２の熱交換器を介して冷媒容器に接
    続された各冷媒噴出ノズルを貫設すると共に、当該各噴
    出ノズルは、上記断熱空間内にある試験材料の夫々表面
    、裏面の噴当面に指向させ、これら噴当面の裏側には、
    夫々第１の温度センサ、第２の温度センサを上記試験材
    料に感温設置し、第１、第２の温度センサが接続される
    第１、第２の温度調節器の出力に１って第１、第２の熱
    交換器の熱源温度を制御するようにしてなる試験材料の
    冷却温度制御装置。
JP4120083U 1983-03-22 1983-03-22 試験材料の冷却温度制御装置 Granted JPS5934347U (ja)

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JP4120083U JPS5934347U (ja) 1983-03-22 1983-03-22 試験材料の冷却温度制御装置

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JPS5934347U true JPS5934347U (ja) 1984-03-03
JPS626517Y2 JPS626517Y2 (ja) 1987-02-14

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ID=30171795

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0653298A (ja) * 1990-01-24 1994-02-25 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 半導体ウェーハ試験用乾燥界面熱形チャック温度制御システム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5248476U (ja) * 1975-10-01 1977-04-06

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5248476U (ja) * 1975-10-01 1977-04-06

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JPH0653298A (ja) * 1990-01-24 1994-02-25 Internatl Business Mach Corp <Ibm> 半導体ウェーハ試験用乾燥界面熱形チャック温度制御システム

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JPS626517Y2 (ja) 1987-02-14

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