JPS5936241U - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPS5936241U JPS5936241U JP13194082U JP13194082U JPS5936241U JP S5936241 U JPS5936241 U JP S5936241U JP 13194082 U JP13194082 U JP 13194082U JP 13194082 U JP13194082 U JP 13194082U JP S5936241 U JPS5936241 U JP S5936241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- turntable
- air bearing
- treated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 3
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体製造装置の一例を示す側断面図、
第２図は本考案の一実施例を示す要部の部分断面側面図
である。 ６・・・ターンテーブル、１２・・・半導体ウェーハ、
１６・・・回転軸、１８． １９． ２０・・・エアー
ベアリング。
第２図は本考案の一実施例を示す要部の部分断面側面図
である。 ６・・・ターンテーブル、１２・・・半導体ウェーハ、
１６・・・回転軸、１８． １９． ２０・・・エアー
ベアリング。
Claims (1)
- 所定のガス雰囲気内で被熱処理物である半導体つ仝−ハ
を載置するターンテーブルの回転軸をエアーベアリング
で回転自在に保持したことを特徴とする半導体製造装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13194082U JPS5936241U (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13194082U JPS5936241U (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936241U true JPS5936241U (ja) | 1984-03-07 |
Family
ID=30298125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13194082U Pending JPS5936241U (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936241U (ja) |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP13194082U patent/JPS5936241U/ja active Pending
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