JPS6096821U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS6096821U
JPS6096821U JP18901483U JP18901483U JPS6096821U JP S6096821 U JPS6096821 U JP S6096821U JP 18901483 U JP18901483 U JP 18901483U JP 18901483 U JP18901483 U JP 18901483U JP S6096821 U JPS6096821 U JP S6096821U
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JP
Japan
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manufacturing equipment
semiconductor manufacturing
semiconductor wafer
rotary table
semiconductor
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Application number
JP18901483U
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English (en)
Inventor
靖 中村
Original Assignee
関西日本電気株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体製造装置の一例を示す側断面図、
第２図は本考案の一実施例を示す側断面図、第３図は第
２図の回転テーブルの具体例を示す拡大側断面図、第４
図は第３図のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 １・・・・・・半導体ウェーハ、１４・・・・・・回転
テーブル、２２・・・・・・気体吹出口、２３・・・・
・・気体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェーハの下面中央部を吸着して半導体ウェーハ
    をその中心点を中心に回転させる回転テーブルの外周に
    、吸着した半導体ウェーハの下面周辺部に沿って気体を
    噴出する気体吹出口を形成したことを特徴とする半導体
    製造装置。
JP18901483U 1983-12-06 1983-12-06 半導体製造装置 Pending JPS6096821U (ja)

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JP18901483U JPS6096821U (ja) 1983-12-06 1983-12-06 半導体製造装置

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JP18901483U JPS6096821U (ja) 1983-12-06 1983-12-06 半導体製造装置

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JPS6096821U true JPS6096821U (ja) 1985-07-02

Family

ID=30407625

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JP18901483U Pending JPS6096821U (ja) 1983-12-06 1983-12-06 半導体製造装置

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