JPS5936247U - シリコンウエハ−処理用治具 - Google Patents
シリコンウエハ−処理用治具Info
- Publication number
- JPS5936247U JPS5936247U JP10589383U JP10589383U JPS5936247U JP S5936247 U JPS5936247 U JP S5936247U JP 10589383 U JP10589383 U JP 10589383U JP 10589383 U JP10589383 U JP 10589383U JP S5936247 U JPS5936247 U JP S5936247U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- silicon
- processing jig
- wafer processing
- support part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例を示すもので、第１図は組立てた
状態を示す斜視図、第２図Ａ、 Ｂは支持部の側面図と
平面図、第３図Ａ、 Ｂは固定部の正面図と平面図であ
る。 １・・・支持部、２・・・溝、３・・・ピン穴、４・・
・固定部、５・・・弧又は穴。
状態を示す斜視図、第２図Ａ、 Ｂは支持部の側面図と
平面図、第３図Ａ、 Ｂは固定部の正面図と平面図であ
る。 １・・・支持部、２・・・溝、３・・・ピン穴、４・・
・固定部、５・・・弧又は穴。
Claims (1)
- 炭化珪素又は炭化珪素−金属珪素よりなり、シリコンウ
ェハーを挿入するための溝を有するシリコンウェハー支
持部と、石英ガラス又は金属珪素よりなり該支持部に嵌
合して該支持部を固定するための固定部とよりなること
を特徴とするシリコンウェハー処理用治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10589383U JPS5936247U (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | シリコンウエハ−処理用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10589383U JPS5936247U (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | シリコンウエハ−処理用治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936247U true JPS5936247U (ja) | 1984-03-07 |
Family
ID=30248027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10589383U Pending JPS5936247U (ja) | 1983-07-07 | 1983-07-07 | シリコンウエハ−処理用治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936247U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398123A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Tokai Kounetsu Kogyo Kk | 半導体製造用ウエハ−ボ−トの製法 |
-
1983
- 1983-07-07 JP JP10589383U patent/JPS5936247U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6398123A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-28 | Tokai Kounetsu Kogyo Kk | 半導体製造用ウエハ−ボ−トの製法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5936247U (ja) | シリコンウエハ−処理用治具 | |
| JPS60167423U (ja) | セラミツク振動子支持構造 | |
| JPS60123453U (ja) | プ−リ−の取付装置 | |
| JPS6135748U (ja) | 半導体ウエハ−用ピンセツト | |
| JPS6097406U (ja) | 部品取付け時の位置合わせ用突起 | |
| JPS6038907U (ja) | 保持具 | |
| JPS6090421U (ja) | 穴付きメガネフレ−ム | |
| JPS6080861U (ja) | 砥石 | |
| JPS6139358U (ja) | バイス | |
| JPS6112298U (ja) | 半導体素子用トレ− | |
| JPS60143415U (ja) | フアインダ−付スポツテングスコ−プ | |
| JPS58148911U (ja) | トランス取付装置 | |
| JPS59167836U (ja) | アンカ−ボルト支持構造 | |
| JPS59194711U (ja) | 光学要素保持機構 | |
| JPS6098117U (ja) | 磁気ヘツドベ−ス | |
| JPS5821987U (ja) | リ−ドレスパツケ−ジ用ｌｓｉソケツト | |
| JPS6125142U (ja) | タイプクラウン固定部 | |
| JPS59192103U (ja) | 光学要素保持機構 | |
| JPS58187787U (ja) | 腕時計ケ−ス | |
| JPS59136266U (ja) | 締結工具 | |
| JPS6039427U (ja) | タツプ | |
| JPS60189018U (ja) | 虫めがね | |
| JPS59191695U (ja) | マシンスペ−サ | |
| JPS58116324U (ja) | 圧電振動子の保持装置 | |
| JPS59148613U (ja) | 二人用腕輪 |