JPS5936983A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5936983A JPS5936983A JP57148116A JP14811682A JPS5936983A JP S5936983 A JPS5936983 A JP S5936983A JP 57148116 A JP57148116 A JP 57148116A JP 14811682 A JP14811682 A JP 14811682A JP S5936983 A JPS5936983 A JP S5936983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas laser
- laser device
- outer tube
- caused
- inner tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
Ｃの発明はガスレーザ装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
ガスレーザ（Ｃ０２レーザ）装置にはいくつかのタイプ
があるが、一般ＶＣは元釉、ガス流、放電方向が同一方
向である同軸タイプ”のものがよく知られてい乙。この
装置は第１図に示すように、二重ガラス官金用いてその
内管ｌを放電管とし、外管２を冷却管どしたものである
。内管ｌの両端には電極３が設けられ、さらに両端部Ｖ
Ｃはそれぞれ共振器として全反射鏡６および部分透過鏡
７が設けられ、内部にレーザ媒質４ｔ−流して前記ｌ１
ｌｉｉ１Ｊｔ極３間に直流電圧を印加することによυ、
ｖｔ、ｆＭ間に直流グロー族ｗＬを生成させ、全反射鏡
６１部分透過＃Ｍ７によってグロー族［を共振させて部
分、透過鏡７によシ一部をレーザビーム（矢印Ａで示す
）として取り出すものである。
があるが、一般ＶＣは元釉、ガス流、放電方向が同一方
向である同軸タイプ”のものがよく知られてい乙。この
装置は第１図に示すように、二重ガラス官金用いてその
内管ｌを放電管とし、外管２を冷却管どしたものである
。内管ｌの両端には電極３が設けられ、さらに両端部Ｖ
Ｃはそれぞれ共振器として全反射鏡６および部分透過鏡
７が設けられ、内部にレーザ媒質４ｔ−流して前記ｌ１
ｌｉｉ１Ｊｔ極３間に直流電圧を印加することによυ、
ｖｔ、ｆＭ間に直流グロー族ｗＬを生成させ、全反射鏡
６１部分透過＃Ｍ７によってグロー族［を共振させて部
分、透過鏡７によシ一部をレーザビーム（矢印Ａで示す
）として取り出すものである。
このようなガスレーザ装置においては、レーザ出力を増
大させるためにレーザ媒ｖｔ４の冷却効果を大きくする
ことが必要であり、そのため外管２内に冷却水、冷却油
等の冷却媒体５を流し循環させてレーザ媒質４が放電に
よりＫＩＩＡになるのを防止して＾るのである。
大させるためにレーザ媒ｖｔ４の冷却効果を大きくする
ことが必要であり、そのため外管２内に冷却水、冷却油
等の冷却媒体５を流し循環させてレーザ媒質４が放電に
よりＫＩＩＡになるのを防止して＾るのである。
ところが、単に外管２内を冷却媒体を循環させるだけで
は、その循環速度や熱の拡散に限界があり、高出力化が
図シにぐいという問題があった。
は、その循環速度や熱の拡散に限界があり、高出力化が
図シにぐいという問題があった。
発明の目的
この発明の目的は、レーザ媒質の冷却効果を増大さぜ、
高出力化を図ったガスレーザ装置を提供することである
。
高出力化を図ったガスレーザ装置を提供することである
。
発明の構成
この発明のガスレーザ装置は、両端部に電極を有しかつ
内部にＶ−ザ媒質を流して両電極間に直流グロー放電を
生成させこれを共振させ一部をレーザビームとして取り
出すための共振器を設けた内管と、この内管の外周面上
に配置され内部に冷却媒体を流す外管とを備えたガスレ
ーザ装置において、前記外管に外装した接地電極を設け
たものである。
内部にＶ−ザ媒質を流して両電極間に直流グロー放電を
生成させこれを共振させ一部をレーザビームとして取り
出すための共振器を設けた内管と、この内管の外周面上
に配置され内部に冷却媒体を流す外管とを備えたガスレ
ーザ装置において、前記外管に外装した接地電極を設け
たものである。
このように構成したため、内管内の両電極間に直流電ｒ
ｆを印加することによシ、電極間に直流グロー放電を生
成させると同時に、冷却媒体に電界を加えることにより
、冷却媒体の分子振動を活発にしその冷却効果を増大さ
ぜ、これによって高出力を得ることができるのである。
ｆを印加することによシ、電極間に直流グロー放電を生
成させると同時に、冷却媒体に電界を加えることにより
、冷却媒体の分子振動を活発にしその冷却効果を増大さ
ぜ、これによって高出力を得ることができるのである。
実施例の説明
この発明の一実施例を＠２図に基づいて説明する。すな
わち、このがスレーザ装置は、第２図に示すように、冷
却媒体５を流す外管２に部分的に接地電極８を螺旋杖Ｐ
Ｃ巻装したものである４、第２図に示すガスレーザ装置
は、長さ１ ｔｎのガリスＰＩｌを用い、かつ両電極３
間の直流印加電圧は陽極側２８ＫＶ、陰極側６ＫＶであ
るため、外管２の外壁面中央部６０α［わたって電線を
螺旋状に巻回し接地電極８としている。この枕頭で直流
電圧をｌ：ｌ］加すると外管２内の冷却媒体５ ｒＣも
電界が加えられ冷却媒体５０分子振動を活発Ｖこし、冷
却効果を高めることができるのである。
わち、このがスレーザ装置は、第２図に示すように、冷
却媒体５を流す外管２に部分的に接地電極８を螺旋杖Ｐ
Ｃ巻装したものである４、第２図に示すガスレーザ装置
は、長さ１ ｔｎのガリスＰＩｌを用い、かつ両電極３
間の直流印加電圧は陽極側２８ＫＶ、陰極側６ＫＶであ
るため、外管２の外壁面中央部６０α［わたって電線を
螺旋状に巻回し接地電極８としている。この枕頭で直流
電圧をｌ：ｌ］加すると外管２内の冷却媒体５ ｒＣも
電界が加えられ冷却媒体５０分子振動を活発Ｖこし、冷
却効果を高めることができるのである。
第３図はこの実施例に示す接地電極８を設けたガスレー
ザ装置（実施例）と、接地電極８を設けない従来のガス
レーザ装置（比較例）との放電電流に対する出力の関係
を示している。第３図から明らかなように、接地電極８
を設けたガスレーザ装置は従来のガスレーザ装置に比し
て出力が増大していることがわかる。
ザ装置（実施例）と、接地電極８を設けない従来のガス
レーザ装置（比較例）との放電電流に対する出力の関係
を示している。第３図から明らかなように、接地電極８
を設けたガスレーザ装置は従来のガスレーザ装置に比し
て出力が増大していることがわかる。
この発明の他の実施例を＠４図ＶＣ基ついて説明する。
すなわち、このガスレーザ装置は、８ｇ４図に示すよう
に外管２の中央部上にそのほば全周にわ友って複数のリ
ング状の接地電極８′を装着したものである。
に外管２の中央部上にそのほば全周にわ友って複数のリ
ング状の接地電極８′を装着したものである。
このようなリング状の接地電極８′を用い九場合吃、前
述の実施例とほぼ同様な出力の増大が認められた。その
曲は前述の実施例と同様である。
述の実施例とほぼ同様な出力の増大が認められた。その
曲は前述の実施例と同様である。
なお、これらの実施例では、いずれも線状電極を用いた
場合について説明したが、帯状の電極であってもよいこ
とはもちろんである。
場合について説明したが、帯状の電極であってもよいこ
とはもちろんである。
また、これらの実施例においては、全反射鏡６゜部分透
過鏡７を一直線状に配置し一放電区間の両端にそれぞれ
全反射鏡６および部分透過鏡７を有するレーザ共振構造
を示したが、放電区間を数多く有し中間全反射鏡により
共振を多段折返しさせ、終端反射鏡と部分透過鏡とによ
るレーザ共振構造を有するものや両端とも部分透過鏡を
用いたｖ −ザ共振構造を有するものにも同様にして適
用できるものである。
過鏡７を一直線状に配置し一放電区間の両端にそれぞれ
全反射鏡６および部分透過鏡７を有するレーザ共振構造
を示したが、放電区間を数多く有し中間全反射鏡により
共振を多段折返しさせ、終端反射鏡と部分透過鏡とによ
るレーザ共振構造を有するものや両端とも部分透過鏡を
用いたｖ −ザ共振構造を有するものにも同様にして適
用できるものである。
発明の効果
この発明のガスレーザ装置は、レーザ媒質の冷却効果７
！ｉｌ−増大させ、高出力化全図ることができるという
シカ果がある。
！ｉｌ−増大させ、高出力化全図ることができるという
シカ果がある。
第１図は従来のガスレーザ装置を示す断面図、第２図は
この発明の一実施例を示す部分断面図、第３図は放冒Ｍ
、流と出力との関係を示すクラブ、第４図はこの発明の
他の実施例を示す部分断面図である。
この発明の一実施例を示す部分断面図、第３図は放冒Ｍ
、流と出力との関係を示すクラブ、第４図はこの発明の
他の実施例を示す部分断面図である。
Claims (1)
- 内部にレーザ媒質を流し両端の′ｄ１．極間に直流グロ
ー放電全生成さぜＣのグロー放電を共振させ一部をＶ−
ザビームとして取り出す之めの共振器°を設＆−Ｊた内
管と、この内管の外周に配置され内部に冷却媒体を流す
外管と、この外管に外装した接地電極とを備えたガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148116A JPS5936983A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148116A JPS5936983A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936983A true JPS5936983A (ja) | 1984-02-29 |
Family
ID=15445608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57148116A Pending JPS5936983A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936983A (ja) |
-
1982
- 1982-08-25 JP JP57148116A patent/JPS5936983A/ja active Pending
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