JPS5936984A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5936984A JPS5936984A JP57148117A JP14811782A JPS5936984A JP S5936984 A JPS5936984 A JP S5936984A JP 57148117 A JP57148117 A JP 57148117A JP 14811782 A JP14811782 A JP 14811782A JP S5936984 A JPS5936984 A JP S5936984A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- outer tube
- laser device
- medium
- gas laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はガスレーザ装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
ガスレーザ（Ｃ０２，レーザ）装置にはいくつかのタイ
プがあるが、一般には光軸、ガス流、放電方向が同一方
向〒ある同軸タイプのものがよく知られている。この装
置は第１図に示すように、二重ガラス管を用いてその内
管１を放電管とし、外管２を冷却管としたものである。
プがあるが、一般には光軸、ガス流、放電方向が同一方
向〒ある同軸タイプのものがよく知られている。この装
置は第１図に示すように、二重ガラス管を用いてその内
管１を放電管とし、外管２を冷却管としたものである。
内管１の両端には電極３が設けられ、さらに両端部には
それぞれ共振器として全反射鏡６および部分透過鏡７が
設けられ、内部にレーザ媒質４を流して前記両電極３間
に直流電圧を印加することにより、電極間に直流グロー
放電を生成させ、全反射鏡６０部分透過鏡７によってグ
ロー放電を共振させて部分透過鏡７により一部をレーザ
ビーム（矢印Ａで示す）として取り出すものである。
それぞれ共振器として全反射鏡６および部分透過鏡７が
設けられ、内部にレーザ媒質４を流して前記両電極３間
に直流電圧を印加することにより、電極間に直流グロー
放電を生成させ、全反射鏡６０部分透過鏡７によってグ
ロー放電を共振させて部分透過鏡７により一部をレーザ
ビーム（矢印Ａで示す）として取り出すものである。
このようなガスレーザ装置においては、レーザ出力を増
大させるためにレーザ媒質４の冷却効果を大きくするこ
とが必要である。レーザ媒質４の冷却方法としては、Ｖ
−ザ媒質が放電により高温になり温度勾配を持った熱の
広がりを外管２内の冷却媒体５によって冷却する方法と
、レーザｔＩＸ質自体の衝突を増大させるようにガス密
度の増大を図る方法とがある。ところが、前者は媒体５
の循環速度に限界があり、後者は直流グロー放Ｗを起こ
させる動作圧力が高くなり安定してグロー放電を行々う
ことができない等の問題があった。
大させるためにレーザ媒質４の冷却効果を大きくするこ
とが必要である。レーザ媒質４の冷却方法としては、Ｖ
−ザ媒質が放電により高温になり温度勾配を持った熱の
広がりを外管２内の冷却媒体５によって冷却する方法と
、レーザｔＩＸ質自体の衝突を増大させるようにガス密
度の増大を図る方法とがある。ところが、前者は媒体５
の循環速度に限界があり、後者は直流グロー放Ｗを起こ
させる動作圧力が高くなり安定してグロー放電を行々う
ことができない等の問題があった。
発明の目的
この発明の目的は、外管内の冷却媒体による冷却効果を
増大させるとともに、レーザ媒質を部分的に電離させレ
ーザ媒質密度を増大させることにより、高出力化を図る
ことができるガスレーザ装置を提供することである。
増大させるとともに、レーザ媒質を部分的に電離させレ
ーザ媒質密度を増大させることにより、高出力化を図る
ことができるガスレーザ装置を提供することである。
発明の構成
この発明のがヌレーザ装置は、両端部に電極を有しかつ
内部にレーザ媒質を流して両電極間に直流グロー放電を
生成させこのグロー放電を共振させ一部をレーザビーム
として取り出す喪めの共振器を設けた内管と、この内管
の外周面上に配置され内部に冷却媒体を流す外管とを備
えたガスレーザ装置にお因て、前記外管に交流電圧印加
用電極を外装置、たものである。
内部にレーザ媒質を流して両電極間に直流グロー放電を
生成させこのグロー放電を共振させ一部をレーザビーム
として取り出す喪めの共振器を設けた内管と、この内管
の外周面上に配置され内部に冷却媒体を流す外管とを備
えたガスレーザ装置にお因て、前記外管に交流電圧印加
用電極を外装置、たものである。
このように構成したため、外管の外部より交流電圧が直
流電圧とは別口路にて印加され、外管内の冷却媒体の分
子振ｔｔｈｆ活発にし冷却媒体の循環速度を変えること
なく冷却効果を増大させるとともに、外管、冷却媒体、
内管等一連の誘電体を通りながらも々おかつレーザ媒質
を部分的に電離させることかでき、レーザー媒質密度の
増大を可能にするのである。
流電圧とは別口路にて印加され、外管内の冷却媒体の分
子振ｔｔｈｆ活発にし冷却媒体の循環速度を変えること
なく冷却効果を増大させるとともに、外管、冷却媒体、
内管等一連の誘電体を通りながらも々おかつレーザ媒質
を部分的に電離させることかでき、レーザー媒質密度の
増大を可能にするのである。
実施例の説明
この発明の一実施例を第２図に基づいて説明する。すな
わち、このガスレーザ装置は、第２図に示すように、冷
却媒体５を流す外管２の外壁面上の少なくとも一部（こ
の実施例では中央部）にその全周にわたってリング状の
交流電圧印加用電極８を設け、交流電圧を印加するもの
である。
わち、このガスレーザ装置は、第２図に示すように、冷
却媒体５を流す外管２の外壁面上の少なくとも一部（こ
の実施例では中央部）にその全周にわたってリング状の
交流電圧印加用電極８を設け、交流電圧を印加するもの
である。
前記交流電圧印加用電極８によって、冷却媒体５および
レーザ媒質４に電圧が印加され、冷却媒体５の分子運動
を活発にし冷却効果を高めることができるとともに、レ
ーザ媒質４の一部を電離化することができる。このため
、この実施例の装置において、交流電圧を印加しない場
合にはグロー放電を起させるための動作圧が３０ ）
−１（ｔｏｒｒ）であったのに対して、同一条件下で交
流電圧を印加するとその動作圧が５０トールに１で高ま
り、ガヌ密度の増大ｆ図ることが可能になり、その結果
出力を約１５％増加させることができた。
レーザ媒質４に電圧が印加され、冷却媒体５の分子運動
を活発にし冷却効果を高めることができるとともに、レ
ーザ媒質４の一部を電離化することができる。このため
、この実施例の装置において、交流電圧を印加しない場
合にはグロー放電を起させるための動作圧が３０ ）
−１（ｔｏｒｒ）であったのに対して、同一条件下で交
流電圧を印加するとその動作圧が５０トールに１で高ま
り、ガヌ密度の増大ｆ図ることが可能になり、その結果
出力を約１５％増加させることができた。
この発明の他の実施例を第３図に基づいて説明する。す
なわち、このガスレーザ装置は第３図に示すように外管
２の中央部にそのほぼ全周にわたって交流電圧印加用電
極８′を装着１−たものである。
なわち、このガスレーザ装置は第３図に示すように外管
２の中央部にそのほぼ全周にわたって交流電圧印加用電
極８′を装着１−たものである。
このような電極８′を用いる場合も、前述の実施例とは
１ぼ同様な効果が得られた。
１ぼ同様な効果が得られた。
なお、これらの実施例においては、全反射鏡６゜部分透
過鏡７を一直線状に配置し一放電区間の両端にそれぞれ
全反射鏡６および部分透過鏡７を有するレーザ共振構造
を示したが、放電区間を数多く有し中間全反射鏡により
共振を多段折返しさせ、終端反射鏡と部分透過鏡とによ
るレーザ共振構造を有するものや両端とも部分透過鏡を
用いたレーザ共振構造を有するものにも同様にして適用
できるものである。
過鏡７を一直線状に配置し一放電区間の両端にそれぞれ
全反射鏡６および部分透過鏡７を有するレーザ共振構造
を示したが、放電区間を数多く有し中間全反射鏡により
共振を多段折返しさせ、終端反射鏡と部分透過鏡とによ
るレーザ共振構造を有するものや両端とも部分透過鏡を
用いたレーザ共振構造を有するものにも同様にして適用
できるものである。
発明の効果
この発明のガスレーザ装置は、外管内の冷却媒体による
冷却効果を増大させるとともに、レーザ媒質を部分的に
電離させレーザ媒質密度を増大させ、それによって高出
力化を図ることができるという効果がある。
冷却効果を増大させるとともに、レーザ媒質を部分的に
電離させレーザ媒質密度を増大させ、それによって高出
力化を図ることができるという効果がある。
第１図は従来のガスレーザ装置を示す断面図、第２図は
この発明の−’ｉｊ ｖｉｔｉ例を示す部分断面図、＠
３図はこの発明の他の実施例を示す部分断面図である。 １・・・外管、２・・・内管、３・・・１「極、４・・
・レーザ媒質、５・・・冷却媒体、６・・・全反＃Ｊ鏡
（共振器）、７・・・部分透過鏡（共振器）、８・・・
交流電圧印加用電極
この発明の−’ｉｊ ｖｉｔｉ例を示す部分断面図、＠
３図はこの発明の他の実施例を示す部分断面図である。 １・・・外管、２・・・内管、３・・・１「極、４・・
・レーザ媒質、５・・・冷却媒体、６・・・全反＃Ｊ鏡
（共振器）、７・・・部分透過鏡（共振器）、８・・・
交流電圧印加用電極
Claims (1)
- 内部にレーザ媒質を流し両端の電極間に直流グロー放電
を生成させこのグロー放電を共振させ一部をレーザビー
ムとして取り出すための共振器を設けた内貸と、この内
管の外周に配置され内部に冷却媒体を流す外管と、この
外管に外装した交流電圧印加用筒゛極とを備えたガスレ
ーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148117A JPS5936984A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148117A JPS5936984A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5936984A true JPS5936984A (ja) | 1984-02-29 |
Family
ID=15445634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57148117A Pending JPS5936984A (ja) | 1982-08-25 | 1982-08-25 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5936984A (ja) |
-
1982
- 1982-08-25 JP JP57148117A patent/JPS5936984A/ja active Pending
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