JPS5937430A - 光検出装置 - Google Patents
光検出装置Info
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- JPS5937430A JPS5937430A JP58111115A JP11111583A JPS5937430A JP S5937430 A JPS5937430 A JP S5937430A JP 58111115 A JP58111115 A JP 58111115A JP 11111583 A JP11111583 A JP 11111583A JP S5937430 A JPS5937430 A JP S5937430A
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- JP
- Japan
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- output
- register
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- detector
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/486—Receivers
- G01S7/487—Extracting wanted echo signals, e.g. pulse detection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S3/00—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
- G01S3/78—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using electromagnetic waves other than radio waves
- G01S3/781—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S3/00—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
- G01S3/78—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using electromagnetic waves other than radio waves
- G01S3/782—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction
- G01S3/783—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems
- G01S3/784—Systems for determining direction or deviation from predetermined direction using amplitude comparison of signals derived from static detectors or detector systems using a mosaic of detectors
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光検出装置に関するものであり、さらに詳し
くいえば、バックグラウンド光のあるとき短時間の光信
号を検出する装置に関するものである。
くいえば、バックグラウンド光のあるとき短時間の光信
号を検出する装置に関するものである。
多く形の光検出装置が存在し、簡単な感光素子から非常
に複雑な映像形成センサーに至るまでにわたっている。
に複雑な映像形成センサーに至るまでにわたっている。
しかし、バックグラウンドのあるときに短時間の光信号
を検出するという特別の要求がある。そのほかに、信号
の出所の方向または位置を求めることのできることが必
要なことが多い。後者の要求は象限儀などの装置によっ
て大ざっばな意味で満足させられるが、これは多くの場
合に必要な精度および速さが欠けている。例えば、レー
ザが向けられている乗物で役立つレーザ警報受信機の場
合、光の到来した方向を正確かつ直ちに求めることが必
要である。これによって1乗物が適当に応答できるよう
になる。明らかにそのような利用は、他の分野にも適用
されるかもしれないが、主に軍事行動に適用される。光
源の方向を(5) 求める能力は、用いた光学装置によるだけでなく光検出
装置そのものの弁別能力にも左右され1本発明が関係し
ているのは、後者の面である。
を検出するという特別の要求がある。そのほかに、信号
の出所の方向または位置を求めることのできることが必
要なことが多い。後者の要求は象限儀などの装置によっ
て大ざっばな意味で満足させられるが、これは多くの場
合に必要な精度および速さが欠けている。例えば、レー
ザが向けられている乗物で役立つレーザ警報受信機の場
合、光の到来した方向を正確かつ直ちに求めることが必
要である。これによって1乗物が適当に応答できるよう
になる。明らかにそのような利用は、他の分野にも適用
されるかもしれないが、主に軍事行動に適用される。光
源の方向を(5) 求める能力は、用いた光学装置によるだけでなく光検出
装置そのものの弁別能力にも左右され1本発明が関係し
ているのは、後者の面である。
共通基板上に形成された感光素子の配列からなる電荷結
合素子(COD)作像配列が知られている。1次、同じ
基板上に記憶素子の別の配列と出力レジスタが形成され
ている。適当な波長の光をどの感光素子が受けても、受
けた光に比例した電荷が蓄積される。前記COD作像配
列の各素子に記憶された電荷は、その配列を介して記憶
素子に移され、そこから各素子の内容を処理する。光が
連続であれば、感光素子に蓄積された電荷の量は、その
素子が光にさらされた時間に比例する。従って、バック
グラウンド光によって作られる電荷は、大きく、短時間
の光信号でできる電荷より多分ずつと大きい可能性があ
る。バックグラウンドの電荷が大きいほど、バックグラ
ウンド雑音“、すなわち、単一ホトサイトに蓄積した電
荷の無秩序なフレームごとの差が大きくなる。そのよう
な雑音をできるだけ少なくするために、フレーム時間(
6) す々わちホトサイトの相次ぐ放電間の時間でもある露出
時間は、信号パルス幅と同じ位にするのが好ましいけれ
ども、これは一般には、パルス化レーザの用途では可能
でなく、少なくとも露出時間は、実用的な限界捷で減ら
されるべきである。
合素子(COD)作像配列が知られている。1次、同じ
基板上に記憶素子の別の配列と出力レジスタが形成され
ている。適当な波長の光をどの感光素子が受けても、受
けた光に比例した電荷が蓄積される。前記COD作像配
列の各素子に記憶された電荷は、その配列を介して記憶
素子に移され、そこから各素子の内容を処理する。光が
連続であれば、感光素子に蓄積された電荷の量は、その
素子が光にさらされた時間に比例する。従って、バック
グラウンド光によって作られる電荷は、大きく、短時間
の光信号でできる電荷より多分ずつと大きい可能性があ
る。バックグラウンドの電荷が大きいほど、バックグラ
ウンド雑音“、すなわち、単一ホトサイトに蓄積した電
荷の無秩序なフレームごとの差が大きくなる。そのよう
な雑音をできるだけ少なくするために、フレーム時間(
6) す々わちホトサイトの相次ぐ放電間の時間でもある露出
時間は、信号パルス幅と同じ位にするのが好ましいけれ
ども、これは一般には、パルス化レーザの用途では可能
でなく、少なくとも露出時間は、実用的な限界捷で減ら
されるべきである。
本発明の目的は、バックグラウンド光のあるときに短時
間の光信号を検出する光検出装置を提供することである
。
間の光信号を検出する光検出装置を提供することである
。
本発明によれば、2座標配列に配設され、それぞれ入射
光のエネルギーに比例する電荷の蓄積を生じさせるよう
に動作できる複数の感光素子と、個々の感光素子に付随
した同じ複数の記憶素子と、光像フレームを記憶するた
めにすべての記憶した電荷を付随の記憶素子に繰返し転
送するように動作できる転送回路と、感光素子の数に等
しい多数の記憶位置を有し、同様の2座標配列に配設さ
れたレジスタ手段と、前記記憶素子に記憶された光像フ
レームを前記2座標の一方によって定められた一連の並
列ビット流で前記レジスタ手段に繰返し移動し、同時に
前記レジスタ手段から先行の光(7) 像フレーム全移動する移動回路と、前記レジスタ手段に
移し入れられるビット流と同時に前記レジスタ手段から
移し出されるビット流との中の対応するビット位置の内
容を比較するように動作できる検出器手段と、前記検出
器手段からの出力を受けて各ビット流に付随した検出器
手段の出力を標本化する標本化回路と、標本化された出
力を受けて、前記検出器手段から出力を生ずる各ビット
位置が光像フレーム内のどの位置にあるかを定める出力
手段とを備える、バックグランド光のあるときに短時間
の光信号を検出する光検出装置が提供される。
光のエネルギーに比例する電荷の蓄積を生じさせるよう
に動作できる複数の感光素子と、個々の感光素子に付随
した同じ複数の記憶素子と、光像フレームを記憶するた
めにすべての記憶した電荷を付随の記憶素子に繰返し転
送するように動作できる転送回路と、感光素子の数に等
しい多数の記憶位置を有し、同様の2座標配列に配設さ
れたレジスタ手段と、前記記憶素子に記憶された光像フ
レームを前記2座標の一方によって定められた一連の並
列ビット流で前記レジスタ手段に繰返し移動し、同時に
前記レジスタ手段から先行の光(7) 像フレーム全移動する移動回路と、前記レジスタ手段に
移し入れられるビット流と同時に前記レジスタ手段から
移し出されるビット流との中の対応するビット位置の内
容を比較するように動作できる検出器手段と、前記検出
器手段からの出力を受けて各ビット流に付随した検出器
手段の出力を標本化する標本化回路と、標本化された出
力を受けて、前記検出器手段から出力を生ずる各ビット
位置が光像フレーム内のどの位置にあるかを定める出力
手段とを備える、バックグランド光のあるときに短時間
の光信号を検出する光検出装置が提供される。
感光素子の配列と複数の記憶素子とが電荷結合映像セン
サーを形成する。
サーを形成する。
次に本発明の1実施例のブロック略図を示す添付図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
さて、第1図を参照すると、これは、それぞれlO領領
域らなる10の行11に配列され、シリコン基板に形成
された感光領域すなわちホトサイト10のCOD配列を
示している。各行11に隣(8) 接して電荷流れチャネルによってホトサイトに連結され
、レジスタ行を形成するように互に連結された10の記
憶素子1うの行12がある。ホトサイトおよび付随する
記憶素子は、光像を適当な光学装置によって中に形成で
きるフレームを占めている。クロックパルス発生器il
lから制御回路25を経る1サイクルのクロックパルス
が、必要なとき記憶したすべての電荷を各ホトサイト1
0からそれに付随する記憶素子1うに転送し、すべての
転送が同時に起る。
域らなる10の行11に配列され、シリコン基板に形成
された感光領域すなわちホトサイト10のCOD配列を
示している。各行11に隣(8) 接して電荷流れチャネルによってホトサイトに連結され
、レジスタ行を形成するように互に連結された10の記
憶素子1うの行12がある。ホトサイトおよび付随する
記憶素子は、光像を適当な光学装置によって中に形成で
きるフレームを占めている。クロックパルス発生器il
lから制御回路25を経る1サイクルのクロックパルス
が、必要なとき記憶したすべての電荷を各ホトサイト1
0からそれに付随する記憶素子1うに転送し、すべての
転送が同時に起る。
また、前記シリコン基板上であるが光像フレームの外に
10個のレジスタ素子17’(zそれぞれ含む10の行
16からなるレジスタ15が形成されている。各行16
の一端は、遷移サイ)18′f:介して関連する記憶素
子の行12に接続されている。
10個のレジスタ素子17’(zそれぞれ含む10の行
16からなるレジスタ15が形成されている。各行16
の一端は、遷移サイ)18′f:介して関連する記憶素
子の行12に接続されている。
各行16の他方の端は、別の遷移サイト19金介して消
散電荷ダンプ20に接続されている。電荷を記憶素子1
うからレジスタ素子17の中に転送し、次いでダンプ2
0に転送するのは、クロックパルス発生器Illによっ
て発生されたクロツクパ(9) ルスの相次ぐサイクルによって行われる。
散電荷ダンプ20に接続されている。電荷を記憶素子1
うからレジスタ素子17の中に転送し、次いでダンプ2
0に転送するのは、クロックパルス発生器Illによっ
て発生されたクロツクパ(9) ルスの相次ぐサイクルによって行われる。
遷移サイト18および19にはそれぞれ浮動ゲート増幅
器22および23が付随しており、これらのレジスタ1
5の各個別行に付随した前記二つの増幅器は差動対とし
て接続されている。各対の増幅器の出力は、制御回路2
5を制御するしきい値検出器211に接続されている。
器22および23が付随しており、これらのレジスタ1
5の各個別行に付随した前記二つの増幅器は差動対とし
て接続されている。各対の増幅器の出力は、制御回路2
5を制御するしきい値検出器211に接続されている。
対の増幅器の出力がしきい値検出器によって一旦認識さ
れ、しかも認識されてはじめて、標本化されて10位置
出力レジスタ26の個別ビットになる。出力レジスタ2
6の内容を制御回路25の制御のもとに出力回路27を
通して転送できる。制御回路25は。
れ、しかも認識されてはじめて、標本化されて10位置
出力レジスタ26の個別ビットになる。出力レジスタ2
6の内容を制御回路25の制御のもとに出力回路27を
通して転送できる。制御回路25は。
また本装置全体にクロックパルスを加える。クロックパ
ルス発生器IIIは1本装置内の電荷移送速度を定める
。
ルス発生器IIIは1本装置内の電荷移送速度を定める
。
次に本装置の動作を説明する。短い露出時間は。
フレームを条件付き読出しで直並列方式で解体すること
によって可能にされることが分るであろう。
によって可能にされることが分るであろう。
光源の方向によって光の当る感光素子が決まるような光
学系が与えられていると仮定する。ホトサ(10) イトに光が当った結果として、電荷がこれらのホトサイ
トに蓄積され、その電荷の量は、光の強さと持続時間に
左右される。
学系が与えられていると仮定する。ホトサ(10) イトに光が当った結果として、電荷がこれらのホトサイ
トに蓄積され、その電荷の量は、光の強さと持続時間に
左右される。
一定間隔で、例えば10μsごとに、制御回路25が1
サイクルのクロックパルス−2c CD 配列に加えて
、各感光素子10に蓄積された電荷を周知の方法で付随
の記憶素子13に転送する。このようにして、感光配列
は、後続の電荷を蓄えるのに利用できる。
サイクルのクロックパルス−2c CD 配列に加えて
、各感光素子10に蓄積された電荷を周知の方法で付随
の記憶素子13に転送する。このようにして、感光配列
は、後続の電荷を蓄えるのに利用できる。
次に、記憶素子13の内容は、クロックパルスの流れに
よって各記憶素子行12全通してレジスタ素子17の各
行に並列の流れで遷移サイト1gを介して移される。同
時に、各レジスタ素子行16の前の内容がレジスタから
遷移サイト1つを通して電荷ダンプ20に移される。こ
の移送は、制御回路25によって制御されて、感光素子
lOから次の電荷が転送される前に記憶素子1うが空に
なって終うような速度で行われる。
よって各記憶素子行12全通してレジスタ素子17の各
行に並列の流れで遷移サイト1gを介して移される。同
時に、各レジスタ素子行16の前の内容がレジスタから
遷移サイト1つを通して電荷ダンプ20に移される。こ
の移送は、制御回路25によって制御されて、感光素子
lOから次の電荷が転送される前に記憶素子1うが空に
なって終うような速度で行われる。
どの瞬間にも遷移サイト18および19は、二つの相次
ぐ像フレームからの対応する光像要素會含んでいる。増
幅器の出力を差動的に結合しているのは、信号が一つの
フレームにあって、直前(または直後)のフレームにな
いときのみ、しきい値検出器24を作動させるに十分と
なることを意味する。信号がしきい値レベルを超えると
、制御回路25は、各差動増幅器対の出力を標本化して
出力レジスタ26に記憶させ、感光配列およびフレーム
レジスタ15の中の電荷の移送を制御回路25によって
止める。
ぐ像フレームからの対応する光像要素會含んでいる。増
幅器の出力を差動的に結合しているのは、信号が一つの
フレームにあって、直前(または直後)のフレームにな
いときのみ、しきい値検出器24を作動させるに十分と
なることを意味する。信号がしきい値レベルを超えると
、制御回路25は、各差動増幅器対の出力を標本化して
出力レジスタ26に記憶させ、感光配列およびフレーム
レジスタ15の中の電荷の移送を制御回路25によって
止める。
出力レジスタ26の内容は、信号の入っている各ビット
の位置を決める出力回路27を通して転送される。光を
受けた感光素子の位置は、フレームの最初から読出した
列の数とレジスタ26から読出したビットの数から知ら
れる。これは、基準クロックパルスがやはり制御回路2
5を経て加えられる出力回路27によって決められる。
の位置を決める出力回路27を通して転送される。光を
受けた感光素子の位置は、フレームの最初から読出した
列の数とレジスタ26から読出したビットの数から知ら
れる。これは、基準クロックパルスがやはり制御回路2
5を経て加えられる出力回路27によって決められる。
出力レジスタ26が空になると、記憶素子13からレジ
スタ素子17へ電荷を移す過程が再開される。
スタ素子17へ電荷を移す過程が再開される。
記憶素子13からレジスタ素子17への電荷の移送が止
められている間、ホトサイト10は、それに電荷を累積
するための時間を余分に持つことに気付くであろう。こ
れは、次のフレームが記憶素子から移し出されるとき照
らされたホトサイトのすべてが前のフレームの中より多
い電荷を累積してしまうであろうということを意味する
。差動増幅器は、これらを信号として解釈するであろう
。
められている間、ホトサイト10は、それに電荷を累積
するための時間を余分に持つことに気付くであろう。こ
れは、次のフレームが記憶素子から移し出されるとき照
らされたホトサイトのすべてが前のフレームの中より多
い電荷を累積してしまうであろうということを意味する
。差動増幅器は、これらを信号として解釈するであろう
。
従って、移送を再開するとき、装置じゆうの次のフレー
ムを電荷のレベルがどうであろうとクリヤにすることが
必要である。
ムを電荷のレベルがどうであろうとクリヤにすることが
必要である。
上述の手順を連続して繰返して、感光配列のどの部分が
短い光のパルスに反応したかを識別する。
短い光のパルスに反応したかを識別する。
クロックパルス発生器Illおよび制御回路25を詳し
く説明しなかったが、それらの機能の上述の説明はその
ような回路を容易に作成できるようにするのに十分であ
ると思う。
く説明しなかったが、それらの機能の上述の説明はその
ような回路を容易に作成できるようにするのに十分であ
ると思う。
第1図は、本発明の1実施例のブロック略図である。
10−−ホトサイト、11−−ホトサイトの行。
12−一記憶素子の行、1′5−一記憶素子、14−−
クロ(1う ) ツクパルス発生器、15−−レジスタ、16−−レジス
タ素子の行、17−−レジスタ素子、1llt、19−
一遷移サイト、2゛0−一電荷ダンプ、22.23−一
浮動ゲート増幅器、211−−Lきい値検出器、25−
一制御回路、26−−出力レジスタ、27一−出力回路
。 (111)
クロ(1う ) ツクパルス発生器、15−−レジスタ、16−−レジス
タ素子の行、17−−レジスタ素子、1llt、19−
一遷移サイト、2゛0−一電荷ダンプ、22.23−一
浮動ゲート増幅器、211−−Lきい値検出器、25−
一制御回路、26−−出力レジスタ、27一−出力回路
。 (111)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 L 2座標配列に配設され、それぞれ入射光のエネルギ
ーに比例する電荷を蓄積するように動作できる複数の感
光素子と。 個々の感光素子に付随した同じ複数の記憶素子と、 光像フレームを記憶するために蓄積した電荷をどれも付
随の記憶素子に繰返し転送するように動作できる転送回
路と、 感光素子の数に等しい多数の記憶位置を有し、感光素子
の配列と類似の2座標配列に配設されたレジスタ手段と
、 前記記憶素子に記憶された光像フレームを前記2座標の
一方によって定められた一連の並列ビット流で前記レジ
スタ手段に繰返し移動し、同時に前記レジスタ手段から
先行の光像フレームを移動する移動回路と。 前記レジスタ手段に移し入れられるビット流と、同時に
前記レジスタ手段から移し出されるビット流との中の対
応するビット位置の内容を比較するように動作できる検
出器手段と。 前記検出器手段からの出力を受けて各ビット流に関連し
た検出器手段の出力を標本化する標本化回路と。 標本化された出力を受けて前記検出器手段から出力を生
ずる各ビット位置の光像フレーム内の位置を定める出力
手段と、 全備えた、バックグラウンド光のあるときに短時間の光
信号を検出する光検出装置。 2、 前記感光素子および前記付随の記憶素子が共通基
板に互に隣接して形成された電荷結合半導体素子である
特許請求の範囲第1項に記載の光検出装置。 5、 前記感光素子の配列が直交座標配列であり、その
配列において前記感光素子は一方の座標に沿って数列に
形成され、前言4己憶素子もまた数列に形成されて前記
感光素子の隣接した列を引離すように間に入っている特
許請求の範囲第2項に記載の光検出装置。 ヰ、 前記レジスタ手段が前記感光素子および前記記憶
素子と同じ基板に形成された複数の電荷結合素子からな
る特許請求の範囲第2項またけ第う項に記載の光検出装
置。 5、 前記転送回路および前記移動回路が前記レジスタ
手段、前記感光素子および前記記憶素子に加えるための
少なくとも一つのクロックパルス列を発生するように作
動できるクロックパルス発生器を含む特許請求の範囲第
4項の光検出装置。 6 前記検出器手段が各ビット流ごとに、前記レジスタ
手段に転送される電荷に応動する第1の増幅器と、前記
レジスタ手段から転送される電荷に応動する第2の増幅
器を備え、前記二つの増幅器は、前記標本化回路へ前記
二つの増幅器の個々の出力間の差のみを送出するように
接続されていることを特徴とする特許請求の範囲第1項
ないし第5項のいずれかに記載の光検出装置。 7、 前記標本化回路が前記検出器手段からのしきい値
を超える出力に応動するしきい値回路と前記検出器手段
からの出力の瞬時標本を出力レジスタに加えさせるよう
に前記しきい値回路によって作動される制御回路とを備
えている特許請求の範囲第1項ないし第6項のいずれか
に記載の光検出装置。 8 前記出力手段は5 しきい値レベルを超えた検出器
出力の入っている各ビット位置が光像フレーム内のどの
位置であるかを定めるように動作できる出力検出器を通
して前記出力レジスタの内容を移動する手段を備える特
許請求の範囲第7項に記載の光検出装置。 9 検出器出力が前記出力レジスタに記憶されている間
、前記制御理路が前記転送回路および前記移動回路の動
作を止めるように動作できる特許請求の範囲第7項また
は第8項に記載の光検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB08218551A GB2122833B (en) | 1982-06-24 | 1982-06-24 | Radiation detecting apparatus |
| GB8218551 | 1982-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5937430A true JPS5937430A (ja) | 1984-02-29 |
Family
ID=10531304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58111115A Pending JPS5937430A (ja) | 1982-06-24 | 1983-06-22 | 光検出装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4547677A (ja) |
| JP (1) | JPS5937430A (ja) |
| FR (1) | FR2529327A1 (ja) |
| GB (1) | GB2122833B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61291899A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-22 | アエロスパテイアル・ソシエテ・ナシヨナル・アンダストリエル | 動いている物体の位置決め装置 |
| JPH10508736A (ja) * | 1994-11-14 | 1998-08-25 | ライカ アーゲー | 強度変調された照射野の検出及び復調のための装置及び方法 |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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