JPS5938533B2 - 絶対圧力検出器の真空基準圧力室封止構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空を基準とした絶対圧力を検出する絶対圧
力検出器に設けられた真空基準圧力室を真空封止するた
めの封止構造に関する。

絶対圧力検出器においては真空基準圧力室が設けられ、
この真空基準圧力室の真空と被測定圧力との圧力差を検
出することにより絶対圧力の検出が行なわれている。

その真空基準圧力室内は１０″Ｔｏｒｒ程度の真空度が
確保されにいと周囲温度変化により基準値が変化して精
度の高い測定ができない。

ところで従来においては絶対圧力検出器の真空基準圧力
室真空封止するには次のようにして行われていた。

真空基準圧力室を構成しているカバーに小さな孔を開け
ておき、絶対圧力検出器を真空容器内に入れ、その真空
容器を真空にすることにより基準圧力室を真空にし、そ
の後そのカバーの孔を溶接し潰して塞いでいた。

すなわち第１図に示すように真空容器１１内に絶対圧力
検出器１２を配置し、絶対圧力検出器１２は例えば筒状
ボディ１３の両端がダイヤフラム１４及び１５で塞がれ
、ダイヤフラム１４と対向してその外側にカバー１６が
その周縁部においてボディ１３に取り付けられ、カバー
１６及びダイヤフラム１４間に真空基準圧力室１７が構
成されている。

ダイヤフラム１５の外側にはフランジ１８がボディ１３
に取り付けられ、フランジ１８の中心部には圧力を導入
する孔１９が開けられ、この孔１９を通じて被測定圧力
がダイヤフラム１５に与えられる。

真空基準圧力室１７のダイヤフラム１４とダイヤフラム
１５との間において図に示してないが、その真空と被測
定圧力との差に応じた変位を信号に変換して取り出す検
出部がボディ１３の内部に設けられている。

カバー１６に真空引き用の小孔２１が開けられ、真空容
器１１を真空引きして真空基準圧力室１７内も小孔２１
を通じて同様に真空引きされる。

真空引きを終了した後に真空容器１１内において真空引
き用小孔２１を溶接して孔２１を潰していた。

真空基準圧力室１７を１Ｏ−３Ｔｏｒｒ程度の真空にす
るには、真空引き用の小孔２１をかなり大きな孔にして
真空基準圧力室１７内の空気の排気がしやすいようにし
ないと短時間で真空容器１１内の真空度と同程度のもの
にすることはできない。

しかし、真空引き用小孔２１は先に述べたように溶接に
より周縁部を溶して互につながって潰すものであるため
、この孔２１を大きくするには限度があった。

この溶接は真空容器１１内で電子ビーム溶接によって行
なう関係から、例えば孔を塞ぐような板を持ってきて、
その周縁部を溶接して孔を塞ぐようなことは実際上困難
であった。

このような点から従来においては真空容器１１内の真空
度と同程度の真空度を持った真空基準圧力室を短時間で
作ることは困難であった。

この発明の目的は絶対圧力検出器の真空基準圧力室を短
時間で真空容器内の真空度と同短度の真空とすることが
できるような大きな排気孔を構成することが可能であり
、その排気孔を真空容器内で封止することができる真空
基準圧力室封止構造を提供することにある。

この発明によれば圧力検出器の真空基準圧力室を構成す
るカバーには切起し片が形成され、その切起しに基いて
カバーに排気孔が形成される。

このようにすればその排気孔は比較的大きなものにする
ことができ、その切起し片の切起しの高さをあまり高く
しなくても、従来の排気孔と比較してかなり大きな孔と
することが可能である。

従って真空容器内に圧力検出器を入れた場合、その真空
基準圧力室の真空度を真空容器内の真空度と短時間で一
致させることができる。

しかも真空にした後において切起し片の周縁部と切起し
に形成された排気孔の周縁部とを溶接することによって
真空基準圧力室が封止される。

例えば第２図にこの発明による真空基準圧力室の封止構
造を第１図と対応する部分に同一符号をつけて示すが、
この発明においてはカバー１６の一部は例えば中央部に
切起し片２２が構成される。

切起し片２２は例えば円形のものであり、その一部が第
３図及び第４図に拡大して示すようにカバー１６と連結
部２３により連結されている。

すなわち連結部２３を残して切起し片２２が切起される
。

この切起し片２２の形成によってカバー１６に排気孔２
４が形成される。

この場合その切起し片２２はあまり大きく切起すことな
く、つまりカバー１２の面に対する傾斜角度を小さなも
のとしてもよい。

このようにして排気孔２４を比較的大きく構成すること
ができる。

このように構成されている圧力検出器を第１図に示した
ように真空容器１１内において真空引きすれば、その排
気孔２４が太きいため真空容器１１内の真空度に真空圧
力基準室１７内の真空度が短時間で同一となる。

その真空引きが終了した後にその真空容器１１内におい
て切起し片２２及び排気孔２４の両局縁部を電子ビーム
によって互に溶接する。

その場合切起し片２２をカバー１６の板面とほぼ一致す
るように倒した状態でその周縁部を第５図及び第６図に
示すように溶接２５によって互に連結する。

このようにすればこの溶接に特別な治具を必要とするこ
となく簡単に行なうことができる。

以上述べたようにこの発明による真空側止構造によれば
、真空基準圧力室を真空にする際に排気孔の排気流通断
面積を充分大きくすることができ、従って真空基準圧力
室内の真空度を真空容器内の真空度に短時間で到達させ
ることができ、その真空にするための作業が短時間で行
える。

しかもその排気孔を比較的大きくしてもそれを電子ビー
ム溶接で溶接することが簡単に行なえる。

すなわち排気孔を塞ぐための他の小片を持ってきて、そ
れを溶接するのではなく、切起し片２２はカバー１６に
付いたものであるため、必要に応じて切起し片２２を僅
か押してカバー１６と同一平面とした後に溶接すれば簡
単に溶接することができる。

なおこの切起し片２２の形状は必ずしも円形とする必要
はなく任意の形状とすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の絶対圧力検出器の真空基準圧力室を真空
にするための作業を説明するための断面図、第２図はこ
の発明による真空基準圧力室の封止構造を持った絶対圧
力検出器の一例を示す断面図、第３図は封止前の排気孔
の断面図、第４図はその平面図、第５図は排気孔が封止
された状態を示す断面図、第６図はその平面図である。 １２・・・・・・絶対圧力検出器、１３・・・・・・ボ
ディ、１４．１５・・・・・・ダイヤフラム、１６・・
・・・・カバー、１７・・・・・・真空基準圧力室、２
２・・・・・・切起し片、２４・・・・・・排気孔、２
３・・・・・・連結部、２５・・・・・・溶接部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 絶対圧力検出器の真空基準圧力室を構成しているカ
   バーに形成された切起し片の周縁部と、その引起し片の
   形成により作られた孔の周縁部とが溶接されて上記真空
   基準圧力室が封止されてなる絶対圧力検出器の封止構造
   。