JPH0515944Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は真空チエンバの内部を覗くための真空
装置のビユーイングポート部に関する。

［従来の技術］ 従来、アルミニウム合金用の真空チエンバに設
けられるビユーイングポートとしては、サフヤイ
ヤ板を用いたものや、アルミニウム合金製のフラ
ンジにステンレス鋼およびアルミニウム合金製の
接合管を用いてコバールガラス製の窓板を取り付
けたものが用いられていた。

例えば第３図に示したビユーイングポート部
は、後者のコバールガラス製の窓板を用いたもの
である。すなわち、３は、図示してない真空チエ
ンバのポート部のフランジに取り付けるためのフ
ランジであり、このフランジ３は、真空チエンバ
と同じ材質のアルミニウム合金からなつている。
このアルミニウム合金製のフランジ３からリング
状に突設した部分の内側に、ステンレス製のリン
グ２を嵌め込み、さらにこの上にアルミニウム合
金製のリング４を嵌め込み、このリング４を電子
ビーム溶接の手段でフランジ３に気密に溶着７す
る。さらに、電子ビーム溶接の手段で、前記ステ
ンレス製のリング２にコバールからなる円筒状の
コバール胴体９の一端側を気密に溶着し、このコ
バール胴体９の他端側を気密に閉じるように、コ
バールガラスからなる円板状の窓板８を取り付け
ていた。前記フランジ３の開口部の周囲には、図
示してないガスケツトを装着するためのナイフエ
ツジ部１が形成され、周囲には、ボルト孔５が設
けられている。これにより、ナイフエツジ部１に
ガスケツトを装着して真空チエンバ側のフランジ
と突合せ、前記ボルト孔５に通したボルトとナツ
トとでフランジ３を真空チエンバ側のフランジに
締め付けることにより、ビユーイングポート部が
真空チエンバのボート部に気密に取り付けられ
る。

［考案が解決しようとしている課題］ 従来では、サフアイヤ板を用いた前者のビユー
イングポート部は、サフアイヤ板が高価であるた
め、一般的ではなく、後者のコバールガラスを用
いたビユーイングポート部が一般的に使用されて
いる。

しかしながら、後者のビユーイングポート部で
は、真空チエンバを構成するアルミニウム合金
と、コバールガラス製の窓板との膨張係数の違い
により発生する熱応力を緩和するため、前記のよ
うな複雑な接合構造をとつている。そのため製造
に手数がかかり、コスト高になるという課題があ
つた。また、アルミニウム合金製のフランジ３に
ステンレス鋼でできたリング２を嵌め込み、これ
にコバール胴体９を接合するため、構造が複雑で
あり、大型であるという問題があつた。

本考案の目的は、構造が簡便で小形なビユーイ
ングポート部を提供し、前記の課題を解消するこ
とにある。

［問題を解決するための手段］ すなわち、本考案では、前記の目的を解消する
ため、真空装置用のビユーイングポート部におい
て、同径のリング状のアルミニウム合金部１４と
ステンレス鋼材部１２とを気密に接合して成るフ
ランジ１３と、前記ステンレス鋼材部１２に気密
に溶着されたリング状または円筒状のコバール胴
体１６と、該コバール胴体１６の端面に気密に取
り付けられたコバールガラス製の透明体な窓板１
８と、前記アルミニウム合金部１４の開口部の周
囲に形成されたナイフエツジ部１１とを有するこ
とを特徴とする真空装置のビユーイングポート部
を提供する。

［作用］ 前記本考案のビユーイングポート部では、フラ
ンジ１３自体をリング状のアルミニウム合金部１
４とステンレス鋼材部１２とを気密に接合したも
のを用いることにより、フランジ１３そのものの
ステンレス鋼材部１２にコバール胴体１６を溶着
することができる。これにより、コンパクトで簡
便なビユーイングポート部を構成することが出来
る。

［実施例］ 第１図は、本考案の第一の実施例によるビユー
イングポート部を示し、フランジ１３は、同径の
リング状のアルミニウム合金部１４とステンレス
鋼材部１２とが気密に接合された接合体（トラン
ジシヨン材）から成る。このアルミニウム合金部
１４側の開口部の周囲には、ガスケツトを装着す
るためのナイフエツジ部１が設けてあり、さら
に、このフランジ１３の外周寄りの位置には、前
記アルミニウム合金部１４とステンレス鋼材部１
２とにわたつて貫通するボルト孔１５が設けられ
ている。さらに、ステンレス鋼材部１２の開口部
の内周縁に凹部が形成され、そこにリング状のコ
バール胴体１６が嵌め込まれ、これが電子ビーム
溶接の手段でステンレス鋼材部１２に気密に溶着
１７されている。このコバール胴体１６の内周部
分は下方に伸びており、この下方に突出した部分
にコバールガラスからなる円筒状の窓板１８が取
り付けられ、この窓板１８がコバール胴体１６を
気密に閉じる構造となつている。

このビユーイングポート部は、前記アルミニウ
ム合金部１４のナイフエツジ部１１にガスケツト
を装着し、図示してない真空チエンバ側のフラン
ジと突合せ、前記ボルト孔１５に通したボルトと
ナツトでフランジ１３と真空チエンバー側のフラ
ンジとを締め付けることにより、真空チエンバの
ポート部に気密に取り付けられる。

次に、第２図に示す本考案の第二の実施例につ
いて説明すると、ここでは、ステンレス鋼材部１
２の開口部の内周縁に凹部が形成する代わりに、
そこが上側へ突出されており、その内側に円筒状
のコバール胴体１６が嵌め込まれている。そし
て、このコバール胴体１６の上端縁が電子ビーム
溶接の手段でステンレス鋼材部１２に気密に溶着
１７されている。このコバール胴体１６の下端部
にコバールガラスからなる円板状の窓板１８が取
り付けられ、この窓板１８がコバール胴体１６の
管端を気密に閉じる構造となつている。

その他は、前記第１図の実施例と実質的に同様
である。

［考案の効果］ 以上説明した通り、本考案によれば、リング状
のアルミニウム合金部１４とステンレス鋼材部１
２との接合体でフランジ１３を構成し、このステ
ンレス鋼材部１３にコバール胴体１６を溶着１７
して取り付けたので、いわばフランジ１３にコバ
ール胴体１６を直接取り付ける構造となり、簡素
な構造で、且つ小形のビユーイングポート部を得
ることができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の第一の実施例の真空装置の
ビユーイングポート部を示す縦断側面図であり、
第２図は、本考案の第二の実施例の真空装置のビ
ユーイングポート部を示す縦断側面図であり、第
３図は、従来例の真空装置のビユーイングポート
部を示す縦断側面図である。 １２……ステンレス鋼材部、１１……ナイフエ
ツジ部、１４……アルミニウム合金部、１６……
コバール胴体、１７……溶着部、１８……コバー
ルガラス製の窓板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空装置のビユーイングポート部において、同
   径のリング状のアルミニウム合金部１４とステン
   レス鋼材部１２とを気密に接合して成るフランジ
   １３と、前記ステンレス鋼材部１２に気密に溶着
   されたリング状または円筒状のコバール胴体１６
   と、該コバール胴体の端面に気密に取り付けられ
   たコバールガラス製の透明体な窓板１８と、前記
   アルミニウム合金部１４の開口部の周囲に形成さ
   れたナイフエツジ部１１とを有することを特徴と
   する真空装置のビユーイングポート部。