JPS5939032Y2 - 真空吸着装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は吸引部に多数の透孔が穿いているＩＪ−ドフレ
ーム等金、吸引刃金破壊することなく、確実に吸着する
ことのできる真空吸着装置に関する。

一般電子一ζ−ツや半導体等の製造に用いるリドフレー
ム１０は第１図に例示する如り、ハーノの数個分に肖る
リード部がレールｎｌ、ｎ２で接続した状態に形成σれ
て製造工程に流でれ、最終的に切断されて個々の製品と
なる。

このリードフレーム１０は一般にエツチング法や打抜き
プレス等金用いて製造されるが、この−次加工後に、リ
ードフレーム１０金多数積層した状態から１枚ずつ二次
加工に供給される。

この供給の一手段として真空吸引力金利用した吸着によ
る自動供給が行われている。

このような吸着による自動供給の場合、一般にリードフ
レーム１０のリード部は細く、かつ薄いため、吸着によ
る変形防止、あるいは吸着上容易にするべく、幅広に形
成したレール部ｎ１、ｎ２上金吸引するようにてれてい
る。

しかしながらこのレール部ｎ１、ｎ２にはハイパーカッ
トやモールド用規準孔等の透孔６０が多数穿設でれてい
るため〜吸着面の吸引孔の１つでもこの透孔６０に一致
した場合には真空吸引力が破壊でれてし１い全く吸着で
きないか、あるいは吸着力が不十分で次工程への搬入途
中でリードフレーム１０が落下してし甘う等の難点があ
る。

本考案は上記難点に鑑みて或蔭れ、その目的とするとこ
ろは、リードフレームのように吸着面に多数の小孔があ
っても確実に吸引することのできる真空吸着装置を提供
するにあり、その特徴は、リードフレームのような多数
の透孔が穿設でれている部材金吸着する吸着ヘッドの吸
着面に開口する複数個の吸引孔群と、これらの吸引孔群
に連通ずる真空室と、この真空室に接続でれる真空発生
器とから成る一組の真空系列において、前記吸弓孔群の
配置と真空発生器の能力の加減金、前記部材金確実に吸
着搬送するに足るものに設定し、この真空系列の綴金複
数組一つの吸着ヘッドに複合して設け、吸着ヘッドと該
部材の対応位置の範囲内で少なくとも一組の真空系列が
有効な吸着作用をする位置関係に、それぞれの真空系列
の組の吸引孔群金混合して分布させて成るところにある
。

以下添付図面に基づき本考案の好適な実施例金詳細に説
明する。

全体符号２０は吸着ヘッドであり、支持体２２と、支持
体２２下面に固着した、軟質ゴム等の弾性体から成る吸
着パッド２４とから或ろ。

Ｐ％Ｑはそれぞれ支持体２２内にその長手方向に設けら
れた真空室であり、支持体２２−測に開口している。

２６．２８はこの真空室Ｐ、Ｑの開口部にその一端がそ
れぞれ接続でれた可撓性の吸引チューブであり、他端が
別個に設けられ、一つであっても被吸着部打金吸着支持
し得る能力４有する適宜な真空発生器にそれぞれ接続で
れて真空室Ｐ、Ｑ内金負圧するものである。

３０は吸着パッド２４の固着面たる支持体２２下面に長
手方向に適宜間隔金おいて複数本設けた溝部であり、吸
着パッド２４によって密閉でれている。

そして図において溝部３０ばその１本置きに連通孔３２
によって真空室Ｐに連通し、残りの１本置きの溝部３０
は連通孔３４によって真空室Ｑに連通している。

上記の場合溝部３０に１本置きにそれぞれ真空室Ｐ％Ｑ
に連通させたが、これに限られず２本置き、あるいは３
本置きでもよく、あるいはランダムにでもよく、要は真
空室Ｐに連通ずる溝部と、真空室Ｑに連通ずる溝部とが
支持体２２下面全体にわたって平均的に分布しておれば
よい。

３６は各溝部３０に対応して吸着パッド２４に透設した
吸引孔であり、各溝部３０にそれぞれ連通している。

吸引孔３６はリードフレーム１０等の吸引物の吸引すべ
き個所に対応して配置でれており、１だ１つの溝部３０
について吸引孔３６金それぞれ複数個設けて吸引物乞複
数点支持するのが好ましい。

図においてはリードフレーム１０のレール部ｎ１、ｎ２
に対応するように、１つの溝部３０につきそれぞれ２個
の吸引孔３６金設けている。

以上のように上記実施例には、真空室Ｐに属する吸引孔
３６と、真空室Ｑに属する吸引孔３６とが吸着面に平均
的に分布し、それぞれ独立の２つの吸着系列金構成する
。

なお、真空室金複教室設けて、３系統以上の吸引物金片
持することもできろ。

この場合にも各真空室に連通ずる吸引孔群が吸着面にほ
ぼ平均的に分布するように設けられろ。

捷た、吸着面は平面状でなくともよく、複数個の突起（
図示せず）金形成してこの各突起に吸引礼金開口でせる
ようにしてもよい。

以上のように本考案においては、吸着系列を各独立に作
用する複数系列に構成したから、リードフレームのよう
に吸引個所に多数の透孔が存在していて、吸引孔の一部
がとの透孔に一致し、この一致した吸引孔に属する吸着
系列の真空吸引力が破壊されたとしても、他系統の吸着
系統が有効に作用してリードフレーム等の吸引物は確実
に吸着でれ、吸引物音吸着した１筐適宜な上下動、平行
動機構によって吸着ヘッド金移送することによって吸引
物は次工程等に確実に搬入でれる。

しかも各吸着系列の吸引礼金吸着面に平均的に分布する
ように配したから、上記のように一系統の吸引力が消滅
しても、リードフレーム等の吸引物の吸引面分平均的に
吸引支持できて、吸引物金片持ち支持することなく安定
して次工程へ搬入できるという著効合奏する。

以上本考案につき好適な実施例４挙げて種々説明したが
、本考案はこの実施例に限定でれるものではなく、考案
の精神金逸脱しない範囲内で多くの改変金族し得るのは
もちろんのことである。

【図面の簡単な説明】

第１図はリードフレームの平面図である。 第２図は本考案に係る真空吸着装置の１部切欠底面図、
第３図はａ、ｂはそれぞれその断面図金石す。 １０・・・・・・リードフレーム、６０・・・・・・透
孔、２０・・・・・・吸着ヘッド、２２・・・・・・支
持体、２４・・・・・・吸着−ζラド、２６，２８・・
・・・・吸引チュー７．３０・・・・・・溝部、３２・
・・・・・連通孔、３６・・・・・・吸引孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リードフレームのような多数の透孔が穿設されている部
   材乞吸着する吸着ヘッドの吸着面に開口する複数個の吸
   引孔群と、これらの吸引孔群に連通ずる真空室と、この
   真空室に接続づれる真空発生器とから成る一組の真空系
   列において、前記吸引孔群の装置と真空発生器の能力の
   加減金、前記部材金確実に吸着搬送するに足るものに設
   定し、この真空系列の組を複数組一つの吸着ヘッドに複
   合して設け、吸着ヘッドと該部材の対応位置の範囲内で
   少なくとも一組の真空系列が有効な吸着作用乞する位置
   関係に、それぞれの真空系列の組の吸引孔群金混合して
   分布ブせたこと金特徴とする真空吸着装置。