JPS5939162B2 - 洗滌乾燥装置 - Google Patents
洗滌乾燥装置Info
- Publication number
- JPS5939162B2 JPS5939162B2 JP9580281A JP9580281A JPS5939162B2 JP S5939162 B2 JPS5939162 B2 JP S5939162B2 JP 9580281 A JP9580281 A JP 9580281A JP 9580281 A JP9580281 A JP 9580281A JP S5939162 B2 JPS5939162 B2 JP S5939162B2
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- Japan
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- washing liquid
- boiling
- water
- washing
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Extraction Or Liquid Replacement (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子部品、ウェハー、レンズなど高度の清浄
な乾燥が要求せられる物品の洗滌乾燥装置に関する。
な乾燥が要求せられる物品の洗滌乾燥装置に関する。
このような乾燥に適した洗液として、数％のエタノール
を添加したトリクロロトリフルオロエタン（フロン１１
３と略記）が公知に属する。
を添加したトリクロロトリフルオロエタン（フロン１１
３と略記）が公知に属する。
この洗液中に被洗浄物品を浸漬してすすぐと、物品に付
着していた水は、その比重が該洗液の比重よりも、はる
かに小さいため、浮力によつて洗液上面に浮上するので
ある。これを詳しく云えば、まず洗液中のアルコールが
物品付着水中に溶け込んで行き、こゝに生じたエカノー
ル水溶液が、該物品の表面をぬらし、それによつて物品
の表面張力を低下させるために、物品表面から離脱して
、浮力に負けて洗液表面に浮上して行く。この浮上する
水溶液中には付着水に由来する各種金層イオン、陰イオ
ンないしコロイド物質が溶存しているので、こゝに被洗
浄物品表面は浄化できののである。このような洗滌手段
の利点は、洗液から引あげられた物品表面に残存するこ
とのあるフロンの沸点が低いので、殊更に乾燥のための
蒸発エネルギーを必要としないこと、洗液上面に浮上し
た汚染水溶液は、精溜のようなあり来りの精製手段で精
製でき、容易に洗浄系へ返還再用できることである。し
カル乍ら、極めて高度の浄化が要求せられる物品の洗滌
浄化には、上述した手段ではなお不十分な場合もある。
即ち厳密に云えば、前述したエタノール水溶液の洗液と
の平衡濃度は約５０％であり、したがつて洗液から引上
げた際、物品の表面は約５０％エタノール水溶液の薄い
膜でぬれた状態になつている。したがつて該水溶液が汚
れていれば、極めて微量ではあるが、物品表面に汚班と
して残ることになる。丁寧な洗滌では、洗液中に浸漬し
てすゝいだ物品を引き上げて、そのまゝ乾燥に付するこ
となく、引き上げ後直ちに洗液蒸気中に入れて、いわゆ
る蒸気洗滌を行う手段も知られているが、この場合、物
品表面に凝縮して来る液は、洗液の組成と同一であるか
ら、前記平衡はくずれず、エタノール水溶液を除去する
ことはできない。したがつて、実際は、この手段によつ
て極めて高速な洗滌効果を挙げることはできないのであ
る。本発明は、上記問題を解決した洗滌装置を提供する
ものであつて、公知の洗滌槽本体部内に、沸騰槽を設け
ると共に、本体部外に冷却除氷部を新設し、本体部の洗
液蒸気凝縮器によつて生成した凝縮液を、前記冷却除氷
部に導いて、該凝縮液から水分を除去し、冷却によつて
水分含量を低下させた状態の洗液を、前記本本部の沸騰
槽に導入させるように結合されていることを特徴とする
ものである。
着していた水は、その比重が該洗液の比重よりも、はる
かに小さいため、浮力によつて洗液上面に浮上するので
ある。これを詳しく云えば、まず洗液中のアルコールが
物品付着水中に溶け込んで行き、こゝに生じたエカノー
ル水溶液が、該物品の表面をぬらし、それによつて物品
の表面張力を低下させるために、物品表面から離脱して
、浮力に負けて洗液表面に浮上して行く。この浮上する
水溶液中には付着水に由来する各種金層イオン、陰イオ
ンないしコロイド物質が溶存しているので、こゝに被洗
浄物品表面は浄化できののである。このような洗滌手段
の利点は、洗液から引あげられた物品表面に残存するこ
とのあるフロンの沸点が低いので、殊更に乾燥のための
蒸発エネルギーを必要としないこと、洗液上面に浮上し
た汚染水溶液は、精溜のようなあり来りの精製手段で精
製でき、容易に洗浄系へ返還再用できることである。し
カル乍ら、極めて高度の浄化が要求せられる物品の洗滌
浄化には、上述した手段ではなお不十分な場合もある。
即ち厳密に云えば、前述したエタノール水溶液の洗液と
の平衡濃度は約５０％であり、したがつて洗液から引上
げた際、物品の表面は約５０％エタノール水溶液の薄い
膜でぬれた状態になつている。したがつて該水溶液が汚
れていれば、極めて微量ではあるが、物品表面に汚班と
して残ることになる。丁寧な洗滌では、洗液中に浸漬し
てすゝいだ物品を引き上げて、そのまゝ乾燥に付するこ
となく、引き上げ後直ちに洗液蒸気中に入れて、いわゆ
る蒸気洗滌を行う手段も知られているが、この場合、物
品表面に凝縮して来る液は、洗液の組成と同一であるか
ら、前記平衡はくずれず、エタノール水溶液を除去する
ことはできない。したがつて、実際は、この手段によつ
て極めて高速な洗滌効果を挙げることはできないのであ
る。本発明は、上記問題を解決した洗滌装置を提供する
ものであつて、公知の洗滌槽本体部内に、沸騰槽を設け
ると共に、本体部外に冷却除氷部を新設し、本体部の洗
液蒸気凝縮器によつて生成した凝縮液を、前記冷却除氷
部に導いて、該凝縮液から水分を除去し、冷却によつて
水分含量を低下させた状態の洗液を、前記本本部の沸騰
槽に導入させるように結合されていることを特徴とする
ものである。
いまこれを、実施の一例たる添付第１〜２図について説
明する。
明する。
本例装置の本体部１０は、通例の通り上部の開故された
長方体で、その中は、底板に達する垂直方向の隔壁１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｆによつて、右側から蒸気槽
１３、沸騰槽１２、脱水槽１１、分液槽１４および中間
槽１５に分かたれている。
長方体で、その中は、底板に達する垂直方向の隔壁１０
ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｆによつて、右側から蒸気槽
１３、沸騰槽１２、脱水槽１１、分液槽１４および中間
槽１５に分かたれている。
また分液槽１４は、底板に達しない浅い隔壁１０ｄ，１
０ｅで仕切られていて、洗液の静止域１４ａを形成し、
洗液と水溶液との２相分離をし易くしている。なお、上
記各隔壁の高さは、何れも槽の高さよりもずつと低いの
で、槽の上半部分は各槽に共通な上部空間１６を形づく
つており、またこの空間は、被洗滌物品の出入通路とも
なつている。そしてこの上部の共通空間１６の四周をな
す槽の四壁には凝縮器１が設けられている。こ＼に凝縮
した洗液蒸気は、管路５から本体部とは別体に設けられ
た冷却除水部３０へ導かれる。冷却除水部の主要部は、
ブライン冷却蛇管３３を配設した槽体であつて、内部に
垂直方向の隔壁３０ａ，３０ｂが設けられ、除水室３１
、液留室３２とに分たれている。水相回収部２０は公知
の洗滌装置の一部をなすものとして付設したものととく
に異るところはない。典型的なものとして精溜塔を図示
しておいた。本発明装置の主要部は上記の通りであり、
その他のアクセサリも当然付ずいするが、それらについ
ては本装置の使用法を述べつ＼記述して行くことにする
。
０ｅで仕切られていて、洗液の静止域１４ａを形成し、
洗液と水溶液との２相分離をし易くしている。なお、上
記各隔壁の高さは、何れも槽の高さよりもずつと低いの
で、槽の上半部分は各槽に共通な上部空間１６を形づく
つており、またこの空間は、被洗滌物品の出入通路とも
なつている。そしてこの上部の共通空間１６の四周をな
す槽の四壁には凝縮器１が設けられている。こ＼に凝縮
した洗液蒸気は、管路５から本体部とは別体に設けられ
た冷却除水部３０へ導かれる。冷却除水部の主要部は、
ブライン冷却蛇管３３を配設した槽体であつて、内部に
垂直方向の隔壁３０ａ，３０ｂが設けられ、除水室３１
、液留室３２とに分たれている。水相回収部２０は公知
の洗滌装置の一部をなすものとして付設したものととく
に異るところはない。典型的なものとして精溜塔を図示
しておいた。本発明装置の主要部は上記の通りであり、
その他のアクセサリも当然付ずいするが、それらについ
ては本装置の使用法を述べつ＼記述して行くことにする
。
本体部１０をなす槽内に入れられた洗液たる数％のエタ
ノールを含有するフロン１１３は、沸騰槽１２から、隔
壁１０ｂを溢流して、脱水槽１１に入り、またこの槽の
一方の隔壁１０ｃを溢流して分液室１４に入るのである
が、洗滌さるべき物品は、まず、通路である槽の上部共
通空間１６を通つて脱水槽１１内の洗液中に浸漬してす
＼がれ、ついで引上げられ、隣りの沸騰槽１２内の沸騰
洗液中に浸漬されたのち、前記通路１６を通つて引上げ
られて風乾される。
ノールを含有するフロン１１３は、沸騰槽１２から、隔
壁１０ｂを溢流して、脱水槽１１に入り、またこの槽の
一方の隔壁１０ｃを溢流して分液室１４に入るのである
が、洗滌さるべき物品は、まず、通路である槽の上部共
通空間１６を通つて脱水槽１１内の洗液中に浸漬してす
＼がれ、ついで引上げられ、隣りの沸騰槽１２内の沸騰
洗液中に浸漬されたのち、前記通路１６を通つて引上げ
られて風乾される。
このとき沸騰槽から引上げた物品を隣接する蒸気槽１３
内に移し、いわゆる蒸気浴洗を受けさせることができる
。既述したところにより、それだけの操作で、物品の洗
滌浄化は完了する。風乾に代るに温風を吹き送つて乾燥
速度を速めることもある。物品表面から付着水を奪取し
た洗液は、それを浮遊させて隔壁１０ｃを溢流して分液
室１４内に入り、隔壁１０ｄ，１０ｅの存在による静止
効果により、静止域１４ａの洗液相上側にアルコール水
溶液を水相Ｗ１として分液する。
内に移し、いわゆる蒸気浴洗を受けさせることができる
。既述したところにより、それだけの操作で、物品の洗
滌浄化は完了する。風乾に代るに温風を吹き送つて乾燥
速度を速めることもある。物品表面から付着水を奪取し
た洗液は、それを浮遊させて隔壁１０ｃを溢流して分液
室１４内に入り、隔壁１０ｄ，１０ｅの存在による静止
効果により、静止域１４ａの洗液相上側にアルコール水
溶液を水相Ｗ１として分液する。
この水相は、管路３を通つて精溜塔２１に導入され、こ
＼で溜出したエタノールは管路４を通つて、本体部１０
の適宜部分へ返還再用される。釜残たる汚れた水は管路
２２から排出棄却される。分液槽１４で、分液された下
相を成す洗液は、隔壁１０ｆを溢流して中間槽１５に入
り、ついで管路７ａ、ポンプ７ｂ、管路７ｃなる循環管
路７により、脱水槽１１へ循環され、前記過程が反覆さ
れる。
＼で溜出したエタノールは管路４を通つて、本体部１０
の適宜部分へ返還再用される。釜残たる汚れた水は管路
２２から排出棄却される。分液槽１４で、分液された下
相を成す洗液は、隔壁１０ｆを溢流して中間槽１５に入
り、ついで管路７ａ、ポンプ７ｂ、管路７ｃなる循環管
路７により、脱水槽１１へ循環され、前記過程が反覆さ
れる。
洗液の一部は、管路８を通つて蒸気槽１３へ送られ、ヒ
ータ２ｃによつて蒸発され該槽内を蒸気浴となしている
。なお、沸騰槽１２の底部にもヒータ２ｂが装されてい
て、洗液を沸騰状態に維持している。したがつて被洗滌
物品は、沸騰温度の液相洗滌を受けたのち、必要に応じ
蒸気浴洗滌を受けることになるのである。脱水槽１１に
もまたヒータ２ａが設けられることがあるが、それは洗
液が加温されている方が加温されていない場合よりも脱
水し易いからであつて、沸騰状態で使用すればよりベタ
一である。本発明装置にあつては、上述した通り、沸騰
槽１２、蒸気槽１３で、常時洗液が蒸気化され、それが
本体槽上部空間１６に充満した状態にある。
ータ２ｃによつて蒸発され該槽内を蒸気浴となしている
。なお、沸騰槽１２の底部にもヒータ２ｂが装されてい
て、洗液を沸騰状態に維持している。したがつて被洗滌
物品は、沸騰温度の液相洗滌を受けたのち、必要に応じ
蒸気浴洗滌を受けることになるのである。脱水槽１１に
もまたヒータ２ａが設けられることがあるが、それは洗
液が加温されている方が加温されていない場合よりも脱
水し易いからであつて、沸騰状態で使用すればよりベタ
一である。本発明装置にあつては、上述した通り、沸騰
槽１２、蒸気槽１３で、常時洗液が蒸気化され、それが
本体槽上部空間１６に充満した状態にある。
この蒸気は凝縮器１で冷却凝縮され、ついで管路５を通
つて冷却除水部３０へ導かれ、冷却蛇管３３によりブラ
インで間接冷却される。冷却温度は凍結しない限り低い
程よい。隔壁によつて静止される除水室３１には、上側
に水相Ｗ２、下側に洗液相と２相分離して来るので、こ
の水相Ｗ２は排水管路３４から除却する。また隔壁によ
つて形成された液留室３２に一旦貯留された状態に示さ
れる洗液は、管路６を経て沸騰槽１２へ戻される。本発
明装置にあつては、このような冷水除水部３０が付設さ
れ、こ＼で冷却して除水後の洗液が沸騰槽へ返戻される
ことの理由は次記の通りである。即ち、第３図はフロン
１１３／エタノール９６／４なる混合洗液の温度と水の
溶解度との関係を示すグラフである。
つて冷却除水部３０へ導かれ、冷却蛇管３３によりブラ
インで間接冷却される。冷却温度は凍結しない限り低い
程よい。隔壁によつて静止される除水室３１には、上側
に水相Ｗ２、下側に洗液相と２相分離して来るので、こ
の水相Ｗ２は排水管路３４から除却する。また隔壁によ
つて形成された液留室３２に一旦貯留された状態に示さ
れる洗液は、管路６を経て沸騰槽１２へ戻される。本発
明装置にあつては、このような冷水除水部３０が付設さ
れ、こ＼で冷却して除水後の洗液が沸騰槽へ返戻される
ことの理由は次記の通りである。即ち、第３図はフロン
１１３／エタノール９６／４なる混合洗液の温度と水の
溶解度との関係を示すグラフである。
この図において、この洗液の沸点である約３０℃におい
て水の溶解度は約０．２７（！）であるが、これを約１
０℃に冷却すると、水の溶解度は約０．２３０！）に低
下することが判る。ところで、被洗滌物品が、脱水槽内
です＼がれて引上げられた場合、既述したところである
が、被洗滌物品の表面に薄膜状に残存しているエタノー
ル水溶液の水の濃度は、その温度における飽和溶解度の
（例えば５０％）値に等しい。その状態で洗液の蒸気浴
洗滌を受けしめても、その蒸気も亦、水で飽和している
ので、蒸気浴洗の効果は挙らない。しかし本発明装置に
より、冷却除水部３０で、洗液中の水相Ｗ２を除去し、
洗液そのものを１０℃に冷却しておけば、この洗滌中に
は水は０．２３％しか含まれていない。このものを管路
６を経て、沸騰槽１２へ返戻し、そこで沸騰状態に昇温
されれば、この沸騰状態下の洗液｝ま水不飽和状態にあ
る。この水不飽和の沸騰槽内洗液中へ、脱水槽です＼い
で引上げた物品を浸漬してす＼げば、前記付着薄膜中の
水は当然沸騰洗液中に溶解して行く。この溶解して行く
水と共に、その中に含まれていたイオンやコロイドも亦
、同時に沸騰する洗液中に移行して行く。つまりこ＼に
物品の表面浄化が進行し、冷却除水部を用いず凝縮した
洗液を沸騰槽へ戻す場合よりも格段高度の浄化が遂行で
きたのである。なお、このように凝縮した洗液中の水分
を可及的に少くするために、水分をゼオライトに吸着さ
せる提案もあるが、ゼオライトの再生には約３００′Ｃ
の加熱を要するので、本発明に比して不利たるをまぬが
れない。また、当然のことではあるが沸騰槽から脱水槽
へ溢流させる洗液量は、管路６から戻され冷却された洗
液の量に等しく１，て物質収支をバランスさせるがよい
。さらにはまた、沸騰洗液内への浸漬により、被洗滌物
品は昇温された状態になつている蒸気槽は系外に設置し
てもよい。
て水の溶解度は約０．２７（！）であるが、これを約１
０℃に冷却すると、水の溶解度は約０．２３０！）に低
下することが判る。ところで、被洗滌物品が、脱水槽内
です＼がれて引上げられた場合、既述したところである
が、被洗滌物品の表面に薄膜状に残存しているエタノー
ル水溶液の水の濃度は、その温度における飽和溶解度の
（例えば５０％）値に等しい。その状態で洗液の蒸気浴
洗滌を受けしめても、その蒸気も亦、水で飽和している
ので、蒸気浴洗の効果は挙らない。しかし本発明装置に
より、冷却除水部３０で、洗液中の水相Ｗ２を除去し、
洗液そのものを１０℃に冷却しておけば、この洗滌中に
は水は０．２３％しか含まれていない。このものを管路
６を経て、沸騰槽１２へ返戻し、そこで沸騰状態に昇温
されれば、この沸騰状態下の洗液｝ま水不飽和状態にあ
る。この水不飽和の沸騰槽内洗液中へ、脱水槽です＼い
で引上げた物品を浸漬してす＼げば、前記付着薄膜中の
水は当然沸騰洗液中に溶解して行く。この溶解して行く
水と共に、その中に含まれていたイオンやコロイドも亦
、同時に沸騰する洗液中に移行して行く。つまりこ＼に
物品の表面浄化が進行し、冷却除水部を用いず凝縮した
洗液を沸騰槽へ戻す場合よりも格段高度の浄化が遂行で
きたのである。なお、このように凝縮した洗液中の水分
を可及的に少くするために、水分をゼオライトに吸着さ
せる提案もあるが、ゼオライトの再生には約３００′Ｃ
の加熱を要するので、本発明に比して不利たるをまぬが
れない。また、当然のことではあるが沸騰槽から脱水槽
へ溢流させる洗液量は、管路６から戻され冷却された洗
液の量に等しく１，て物質収支をバランスさせるがよい
。さらにはまた、沸騰洗液内への浸漬により、被洗滌物
品は昇温された状態になつている蒸気槽は系外に設置し
てもよい。
第１図は、本発明実施例装置の縦断面図、第２図は、そ
の−断面図、第３図は本発明に使用する洗液に対する水
の溶解度を示すグラフである。 １は凝縮器、２（ａ−ｃ）はヒータ、３，４，５，６，
７，８，９は管路、１０は本体部、１０（ａ−ｆ）は隔
壁、１１は脱水槽、１２は沸騰槽、１３は蒸気槽、１４
は分液槽、１５は中間槽、１６は上部共通空間、２０は
水相回収部、３０は冷却除水部、３０（ａ−ｂ）は隔壁
、３１は除水室、３２は液留室、３３は冷却蛇管、３４
は排水管。
の−断面図、第３図は本発明に使用する洗液に対する水
の溶解度を示すグラフである。 １は凝縮器、２（ａ−ｃ）はヒータ、３，４，５，６，
７，８，９は管路、１０は本体部、１０（ａ−ｆ）は隔
壁、１１は脱水槽、１２は沸騰槽、１３は蒸気槽、１４
は分液槽、１５は中間槽、１６は上部共通空間、２０は
水相回収部、３０は冷却除水部、３０（ａ−ｂ）は隔壁
、３１は除水室、３２は液留室、３３は冷却蛇管、３４
は排水管。
Claims (1)
- １ 少くとも脱水槽、沸騰槽、蒸気槽ならびに凝縮器を
有する本体部と、冷却除水部とを備え、前記凝縮器で生
成した凝縮液が、冷却除水部に導かれて、冷却除水のの
ち、沸騰槽に返還されるように結合されていることを特
徴とするエタノール含有トリクロロトリフルオロエタン
を洗液とした物品の洗滌乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9580281A JPS5939162B2 (ja) | 1981-06-20 | 1981-06-20 | 洗滌乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9580281A JPS5939162B2 (ja) | 1981-06-20 | 1981-06-20 | 洗滌乾燥装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57209676A JPS57209676A (en) | 1982-12-23 |
| JPS5939162B2 true JPS5939162B2 (ja) | 1984-09-21 |
Family
ID=14147557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9580281A Expired JPS5939162B2 (ja) | 1981-06-20 | 1981-06-20 | 洗滌乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939162B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992003205A1 (en) * | 1990-08-22 | 1992-03-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and device for cleaning |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727883B2 (ja) * | 1985-07-01 | 1995-03-29 | エフ エス アイ インターナショナルインク | ウェーハ等の乾燥装置 |
| JPH02111011A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Yosuke Yamada | 水切り方法及びその装置 |
-
1981
- 1981-06-20 JP JP9580281A patent/JPS5939162B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992003205A1 (en) * | 1990-08-22 | 1992-03-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and device for cleaning |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57209676A (en) | 1982-12-23 |
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