JPS5940101A - 測定機のバランス装置 - Google Patents
測定機のバランス装置Info
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- JPS5940101A JPS5940101A JP15045382A JP15045382A JPS5940101A JP S5940101 A JPS5940101 A JP S5940101A JP 15045382 A JP15045382 A JP 15045382A JP 15045382 A JP15045382 A JP 15045382A JP S5940101 A JPS5940101 A JP S5940101A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0011—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight
- G01B5/0016—Arrangements for eliminating or compensation of measuring errors due to temperature or weight due to weight
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、測定機に係り、特に測定子の操作力を軽減さ
せるバランス装置に関するものである。
せるバランス装置に関するものである。
例えば、三次元測定機では、定盤の両側に支柱を介して
水平ビームを前記定盤の前後方向（Ｙ軸方向）へ、水平
ビームに沿ってスライダを前記定盤の左右方向（Ｘ軸方
向）へ、スライダに？ローズ軸を定盤の上下方向（ｚ軸
方向）へ各々移動自在に設け、これらのｘ、ｙ、ｚ軸方
向への移動により、前記プローブ軸の下端に取付けられ
たプローグを被測定物に順次接触させながら三次元方向
へ移動させ、その被測定物の寸法、形状などを測定する
ようにしている。このような構造のものは、測定時、プ
ローグ軸の下端を把持しながら移動させる際、プローグ
軸の重量が操作上大きな障害となる。
水平ビームを前記定盤の前後方向（Ｙ軸方向）へ、水平
ビームに沿ってスライダを前記定盤の左右方向（Ｘ軸方
向）へ、スライダに？ローズ軸を定盤の上下方向（ｚ軸
方向）へ各々移動自在に設け、これらのｘ、ｙ、ｚ軸方
向への移動により、前記プローブ軸の下端に取付けられ
たプローグを被測定物に順次接触させながら三次元方向
へ移動させ、その被測定物の寸法、形状などを測定する
ようにしている。このような構造のものは、測定時、プ
ローグ軸の下端を把持しながら移動させる際、プローグ
軸の重量が操作上大きな障害となる。
そのため、従来の測定機では、プローグ軸の上端にワイ
ヤーの一端を連結し、このワイヤーの他端をプーリーを
通して重錘に連結し、この重錘とプローグ軸との重量を
互いにバランスさせた、いわゆるカウンタウェイト方式
を採用していた。しかしながら、このカウンタウェイト
方式は、プローグ軸の重量とバランスする重錘の重量の
ほか、プーリーやカバーなどの重量がスライダを介して
水平ビームに加わるため、その水平ビームのたわみ等に
よって測定精度に悪影響を及はす要因となっていた。そ
こで、この点の対策として、構造体を大型化すれば、精
度低下を防止できる反面、各部材の重量が増大すること
によって高速測定が期待できなくなる。
ヤーの一端を連結し、このワイヤーの他端をプーリーを
通して重錘に連結し、この重錘とプローグ軸との重量を
互いにバランスさせた、いわゆるカウンタウェイト方式
を採用していた。しかしながら、このカウンタウェイト
方式は、プローグ軸の重量とバランスする重錘の重量の
ほか、プーリーやカバーなどの重量がスライダを介して
水平ビームに加わるため、その水平ビームのたわみ等に
よって測定精度に悪影響を及はす要因となっていた。そ
こで、この点の対策として、構造体を大型化すれば、精
度低下を防止できる反面、各部材の重量が増大すること
によって高速測定が期待できなくなる。
一方、上記カウンタウェイト方式の欠点を解決するもの
として、プローグ軸とエアーシリンダとをロープ、ある
いはリンクなどを介して互いに連結し、プローグ軸の重
量をエアーシリンダの空気圧によってバランスさせるよ
うにした、いわゆるエアーシリンダ方式が開発された。
として、プローグ軸とエアーシリンダとをロープ、ある
いはリンクなどを介して互いに連結し、プローグ軸の重
量をエアーシリンダの空気圧によってバランスさせるよ
うにした、いわゆるエアーシリンダ方式が開発された。
しかしながら、この方式でも、プローグ軸とは別個にシ
リンダを設けているため、全体として大型化し、その結
果カバーおよび取付部材などの重量を考慮すると、では
なかった。
リンダを設けているため、全体として大型化し、その結
果カバーおよび取付部材などの重量を考慮すると、では
なかった。
本発明の目的は、このような両方式の欠点を解決し、小
型、軽量化をはかれる測定機のノ（ランス装置を提供す
ることにある。
型、軽量化をはかれる測定機のノ（ランス装置を提供す
ることにある。
そのため、本発明では、構造体に、下端部に測定子を取
付けた中空な細材を上下方向へ移動可能に設け、この軸
材の内部に、シリンダ、ピストンおよびピストンロッド
からなるシリンダ装置を嵌挿し、そのシリンダと前記軸
材とを一体的に連結４するトドもに、前記ピストンロッ
ドの上端を前記構造体に支持させ、かつ前記シリンダの
上下動に伴うシリンダ内の圧力変動を一定圧力以内に制
御する圧力調整装置を設けることにより、つまり測定子
を取付けた軸材の内部に、軸材等の重量をシリンダ内の
圧力によって）（ランスさせるシリンダ装置を設けるこ
とにより、全体として小型、軽量化をはかり、上記目的
を達成しようとするものである。
付けた中空な細材を上下方向へ移動可能に設け、この軸
材の内部に、シリンダ、ピストンおよびピストンロッド
からなるシリンダ装置を嵌挿し、そのシリンダと前記軸
材とを一体的に連結４するトドもに、前記ピストンロッ
ドの上端を前記構造体に支持させ、かつ前記シリンダの
上下動に伴うシリンダ内の圧力変動を一定圧力以内に制
御する圧力調整装置を設けることにより、つまり測定子
を取付けた軸材の内部に、軸材等の重量をシリンダ内の
圧力によって）（ランスさせるシリンダ装置を設けるこ
とにより、全体として小型、軽量化をはかり、上記目的
を達成しようとするものである。
以下、本発明の一実施例を図面に基づし）て説明する。
第１図は本実施例の三次元測定機の外観を示している。
同三次元測定機は、定盤１０両側に設けられた支柱２Ａ
、２Ｂを介して水平ビーム３が前記定盤１の前後方向（
Ｙ軸方向）へ、この水平ビーム３に沿ってスライダ４が
前記定盤１の左右方向（Ｘ軸方向）へ、このスライダ４
に下端に測定子５を有するプローグ軸６が前記定盤１の
上下方向（ｚ軸方向）へ各々移動自在に設けられ、つま
り”これらの構造体を介して測定子５が三次元方向へ移
動自在に設けられている。また、測定子５が三次元方向
へ移動され、前記定盤１に載置された被測定物に当接さ
れると、水平ビーム３のＹ軸方向における位置、スライ
ダ４のＸ軸方向における位置およびプローグ軸６の２軸
方向における位置が各々図示しない検出器によって検出
されたのち、表示器などに各々表示されるようになって
いる。
、２Ｂを介して水平ビーム３が前記定盤１の前後方向（
Ｙ軸方向）へ、この水平ビーム３に沿ってスライダ４が
前記定盤１の左右方向（Ｘ軸方向）へ、このスライダ４
に下端に測定子５を有するプローグ軸６が前記定盤１の
上下方向（ｚ軸方向）へ各々移動自在に設けられ、つま
り”これらの構造体を介して測定子５が三次元方向へ移
動自在に設けられている。また、測定子５が三次元方向
へ移動され、前記定盤１に載置された被測定物に当接さ
れると、水平ビーム３のＹ軸方向における位置、スライ
ダ４のＸ軸方向における位置およびプローグ軸６の２軸
方向における位置が各々図示しない検出器によって検出
されたのち、表示器などに各々表示されるようになって
いる。
第２図は前記プローグ軸６の内部構造を示している。同
プロープ軸６は、前記スライダ４の前面上下位置に一体
的に構成された保持枠１１に、中心軸方向へ向って円形
の中空穴１２を有する角柱状の軸材１３が昇降自在つま
り２＠方向へ移動自在に保持されている。軸材１３と前
記保持枠１１との間には、第３図に示すごとく、軸材１
３の４つの外側面に対して圧縮空気を噴出するエアパッ
ド１４がボルト１５を介して各々保持されている。
プロープ軸６は、前記スライダ４の前面上下位置に一体
的に構成された保持枠１１に、中心軸方向へ向って円形
の中空穴１２を有する角柱状の軸材１３が昇降自在つま
り２＠方向へ移動自在に保持されている。軸材１３と前
記保持枠１１との間には、第３図に示すごとく、軸材１
３の４つの外側面に対して圧縮空気を噴出するエアパッ
ド１４がボルト１５を介して各々保持されている。
また、軸材１３には、その下端に前記測定子５を取行け
るためのホルダ１６が設けられているとと□ もに、
中空穴１２の内部にシリンダ装置１７が嵌挿されている
。
るためのホルダ１６が設けられているとと□ もに、
中空穴１２の内部にシリンダ装置１７が嵌挿されている
。
前記シリンダ装置１７は、前記軸材１３の中空穴１２内
に嵌挿され且つ連結盤１８を介して軸材１３と一体的に
連結されたシリンダ１９と、このシリンダ１９の内部に
摺動自在に嵌挿されたピストン２１と、前記シリンダ１
９の上端に被嵌されたシリンダヘッド２０と、このシリ
ンダヘッド２０の中心を貫通し下端が前記ピストン２１
に連結されたピストンロッド２２とから構成されている
。
に嵌挿され且つ連結盤１８を介して軸材１３と一体的に
連結されたシリンダ１９と、このシリンダ１９の内部に
摺動自在に嵌挿されたピストン２１と、前記シリンダ１
９の上端に被嵌されたシリンダヘッド２０と、このシリ
ンダヘッド２０の中心を貫通し下端が前記ピストン２１
に連結されたピストンロッド２２とから構成されている
。
前記ピストンロッド２２の上端は、前記スライダ４に固
定されたブラケット２３の挿通穴２４を通つて上方へ突
出されている。ブラケット２３の上方へ突出したピスト
ンロッド２２の端部には、ブラケット２３の上面にベア
リング２５を介して支持され・る鍔板２６がナツト２７
により固定されている。つまり、ピストンロッド２２の
上端は、ブラケット２３に前記シリンダ１９の径方向へ
変位可能に支持されている。また、前記シリンダヘッド
２０には、給気孔２８が穿設され、この給気孔２８にパ
イプ２９を介して前記シリンダ装置１７の圧力を一定圧
に保持する圧力調整装置３０が接続されている。
定されたブラケット２３の挿通穴２４を通つて上方へ突
出されている。ブラケット２３の上方へ突出したピスト
ンロッド２２の端部には、ブラケット２３の上面にベア
リング２５を介して支持され・る鍔板２６がナツト２７
により固定されている。つまり、ピストンロッド２２の
上端は、ブラケット２３に前記シリンダ１９の径方向へ
変位可能に支持されている。また、前記シリンダヘッド
２０には、給気孔２８が穿設され、この給気孔２８にパ
イプ２９を介して前記シリンダ装置１７の圧力を一定圧
に保持する圧力調整装置３０が接続されている。
前記圧力調整装置３０は、第４図に示すごとく、圧力源
３１から供給される一定圧、たとえば５ｋｑ／ｄの空気
がエアフィルタ３２およびマイクロミストセパレータ３
３を通って第１のレギュレータ３４へ与えられている。
３１から供給される一定圧、たとえば５ｋｑ／ｄの空気
がエアフィルタ３２およびマイクロミストセパレータ３
３を通って第１のレギュレータ３４へ与えられている。
第１のレギュレータ３４は、二次側が前記エアパッド１
４および第２のレギュレータ３５にそれぞれ接続され、
その二次側の圧力を設定圧たとえば４ ｋｙ／ｃａに維
持させるようになっている。第２のレイユレータ３５は
、二次側が−タ３１と同様に、二次側の圧力つまりシリ
ンダ１９内の圧力を設定圧たとえば１．７＄／ｃｙｌに
維持させるようになっている。
４および第２のレギュレータ３５にそれぞれ接続され、
その二次側の圧力を設定圧たとえば４ ｋｙ／ｃａに維
持させるようになっている。第２のレイユレータ３５は
、二次側が−タ３１と同様に、二次側の圧力つまりシリ
ンダ１９内の圧力を設定圧たとえば１．７＄／ｃｙｌに
維持させるようになっている。
ちなみに、前記第１のレギュレータ３４および第２のレ
ギュレータ３５の機能を、第５図を参照して簡単に説明
する。いま、設定ねじ４１が完全にゆるめられた状態で
は、メインパルプ４２が閉じられているので、給気口４
３へ供給された空気圧は、排気口４４へ流れず、その一
部が流路４５から固定絞り４６を通って第１のダイヤフ
ラム４１によって仕切られた上部室４８へ流入されノズ
ル背圧となるが、７ラツパ５ｏが開いているので、ノズ
ル５１から流路５２を通って大気に放出される。
ギュレータ３５の機能を、第５図を参照して簡単に説明
する。いま、設定ねじ４１が完全にゆるめられた状態で
は、メインパルプ４２が閉じられているので、給気口４
３へ供給された空気圧は、排気口４４へ流れず、その一
部が流路４５から固定絞り４６を通って第１のダイヤフ
ラム４１によって仕切られた上部室４８へ流入されノズ
ル背圧となるが、７ラツパ５ｏが開いているので、ノズ
ル５１から流路５２を通って大気に放出される。
ここで、設定ねじ４１を回転させ、設定スプリング５３
を圧縮すると、その設定スプリング５３の圧縮力により
第２のダイヤフラム５４および第３のダイヤフラム５５
を介して７ラツパ５０がノズル５１を閉じる。すると、
グズル背圧が上昇し、第１のダイヤフラム４７が下方へ
押下けられることによって、パルブロンド５６を介して
メインパルプ４２が開かれる結果、給気口４３へ供給さ
れた空気圧は排気口４４へ流れる。排気口４４へ流れた
空気圧は、流路５７を通って前記第１のダイヤフラム４
Ｔで仕切られた下部室４９へ流入され、前記上部室４８
のノズル背圧と平衡するとともに、さらに流路５８から
前記第２のダイヤスラム５４゛と第３のタイヤフラム５
５とで仕切られたフィードバック室５９へ流入され前記
設定スプリング５３の圧縮力と平衡する。
を圧縮すると、その設定スプリング５３の圧縮力により
第２のダイヤフラム５４および第３のダイヤフラム５５
を介して７ラツパ５０がノズル５１を閉じる。すると、
グズル背圧が上昇し、第１のダイヤフラム４７が下方へ
押下けられることによって、パルブロンド５６を介して
メインパルプ４２が開かれる結果、給気口４３へ供給さ
れた空気圧は排気口４４へ流れる。排気口４４へ流れた
空気圧は、流路５７を通って前記第１のダイヤフラム４
Ｔで仕切られた下部室４９へ流入され、前記上部室４８
のノズル背圧と平衡するとともに、さらに流路５８から
前記第２のダイヤスラム５４゛と第３のタイヤフラム５
５とで仕切られたフィードバック室５９へ流入され前記
設定スプリング５３の圧縮力と平衡する。
この状態において、排気口４４の空気圧が上昇しすぎる
と、フィードバック室５９の圧力上昇に伴って第２のダ
イヤフラム５４が押上げられる結果、フラッパ５０の上
昇によってノズル５１が開かれる。すると、ノズル背圧
が下るので、第１のダイヤフラム４γは押上げられ、そ
の結果メインパルプ４２が閉じると同時に、逃げ穴６０
が開かれ余剰空気が大気中に放出される。逆に、排気口
４４の空気圧が低下すると、設定スプリング５３の圧縮
力により第２のダイヤフラム５４および第３のダイヤフ
ラム５５を介してノズル５１が閉じられていく。すると
、ノズル背圧が上昇するので、第１のダイヤフラム４７
が押下げられ、その結果メインパルプ４２が開かれ、給
気口４３から排気口４４へ空気が流れる。このように、
第５図に示すレイユレータは、二次側の圧力変動に敏感
に応動し、設定圧力に対して二次側圧力を常に一定に維
持するように機能するものである。
と、フィードバック室５９の圧力上昇に伴って第２のダ
イヤフラム５４が押上げられる結果、フラッパ５０の上
昇によってノズル５１が開かれる。すると、ノズル背圧
が下るので、第１のダイヤフラム４γは押上げられ、そ
の結果メインパルプ４２が閉じると同時に、逃げ穴６０
が開かれ余剰空気が大気中に放出される。逆に、排気口
４４の空気圧が低下すると、設定スプリング５３の圧縮
力により第２のダイヤフラム５４および第３のダイヤフ
ラム５５を介してノズル５１が閉じられていく。すると
、ノズル背圧が上昇するので、第１のダイヤフラム４７
が押下げられ、その結果メインパルプ４２が開かれ、給
気口４３から排気口４４へ空気が流れる。このように、
第５図に示すレイユレータは、二次側の圧力変動に敏感
に応動し、設定圧力に対して二次側圧力を常に一定に維
持するように機能するものである。
次に本実施例の作用を説明する。測定にあたっては、ゾ
ローゾ軸６の下端を手で持ち測定子５を三次元方向へ移
動させ被測定物へ順次当接させる。
ローゾ軸６の下端を手で持ち測定子５を三次元方向へ移
動させ被測定物へ順次当接させる。
すると、測定子５が被測定物に当接したＸ、Ｙ。
Ｚ軸方向へおける位置が図示しない検出器により各々検
出されたのち、表示器などに表示される。
出されたのち、表示器などに表示される。
いま、軸材１３．ホルダ１６．測定子５．シリンダ１９
およびシリンダヘッド２０の総重量とつり合う空気圧が
前記シリンダ１９内へ供給されている状態において、軸
材１３を上昇させると、シリンダ１９内の容積が増加し
、その内圧が低下し始める。すると、第２のレギュレー
タ３５は、シリンダ１９の内圧の低下によって二次側圧
力が設定圧より低下すると、前述の動作に基づき、メイ
ンパルプ４２を開く方向へ動作させ、二次側圧力つまり
シリンダ１９の内圧を設定圧に保持させる。
およびシリンダヘッド２０の総重量とつり合う空気圧が
前記シリンダ１９内へ供給されている状態において、軸
材１３を上昇させると、シリンダ１９内の容積が増加し
、その内圧が低下し始める。すると、第２のレギュレー
タ３５は、シリンダ１９の内圧の低下によって二次側圧
力が設定圧より低下すると、前述の動作に基づき、メイ
ンパルプ４２を開く方向へ動作させ、二次側圧力つまり
シリンダ１９の内圧を設定圧に保持させる。
一方、バランス状態から前記軸材１３を下降させると、
シリンダ１９内の容積が減少し、その内圧が上昇し始め
る。すると、第２のレギュレータ３５は、二次側圧力が
設定圧より上昇すると、前述の動作に基づき、メインバ
ルブ４２を閉じる方向へ動作させ、且つ余剰空気を逃げ
穴６０を通じて外部へ放出し、シリンダ１９内の圧力を
設定圧に保持させる。
シリンダ１９内の容積が減少し、その内圧が上昇し始め
る。すると、第２のレギュレータ３５は、二次側圧力が
設定圧より上昇すると、前述の動作に基づき、メインバ
ルブ４２を閉じる方向へ動作させ、且つ余剰空気を逃げ
穴６０を通じて外部へ放出し、シリンダ１９内の圧力を
設定圧に保持させる。
このように、プローグ軸６を構成する各部材９重量が空
気圧によってバランスされているので、測定時プローグ
軸６を比較的軽い力で上下方向へ操作させることができ
る。
気圧によってバランスされているので、測定時プローグ
軸６を比較的軽い力で上下方向へ操作させることができ
る。
従って、本実施例によれば、プローグ軸６を構成する軸
材１３の重量をシリンダ装置１７の空気圧によりバラン
スさせるようにしたので、従来のカウンタウェイト方式
に較べ、軽量化することができ、従って測定精度に悪影
響を及ぼすことなく、高速化を計ることができる。また
、シリンダ装置１７を前記軸材１３の中空穴１２内に設
けたので、全体として小型化することができ、カバーお
よび取付部材などの重量を考慮すれば、エアーシリンダ
方式と較べても軽量化することができる。
材１３の重量をシリンダ装置１７の空気圧によりバラン
スさせるようにしたので、従来のカウンタウェイト方式
に較べ、軽量化することができ、従って測定精度に悪影
響を及ぼすことなく、高速化を計ることができる。また
、シリンダ装置１７を前記軸材１３の中空穴１２内に設
けたので、全体として小型化することができ、カバーお
よび取付部材などの重量を考慮すれば、エアーシリンダ
方式と較べても軽量化することができる。
特に、本実施例では、シリンダ装置１７の空気圧を、第
２のレギュレータ３５によって一定に維持させるように
したので、常時エアーをシリンダに供給してバランスさ
せる従来のエアーシリンダ方式と比較した場合、圧力変
動に対する応答性【こ優れ、かつバランス状態における
エアー消費がないという利点がある。
２のレギュレータ３５によって一定に維持させるように
したので、常時エアーをシリンダに供給してバランスさ
せる従来のエアーシリンダ方式と比較した場合、圧力変
動に対する応答性【こ優れ、かつバランス状態における
エアー消費がないという利点がある。
また、シリンダ装置１１の空気圧によってバランスさせ
る方式なので、たとえば測定項目に応じて各種形状、重
量の測定子５が軸材１３に取付けられた場合であっても
、を気圧を調整することにより測定子５の重量変化に対
応させることができる。
る方式なので、たとえば測定項目に応じて各種形状、重
量の測定子５が軸材１３に取付けられた場合であっても
、を気圧を調整することにより測定子５の重量変化に対
応させることができる。
また、シリンダ装置１７のシリンダ１９を連結盤１８を
介して前記軸材１３と一体とし、ピストンロッド２２の
上端をスライダ４に取付けられたゾラケット２３にシリ
ンダ１９の径方向へ変位可能に取付けたので、軸材１３
の摺動面を基準として、シリンダ１９の昇降が阻害され
ることなくピストンロッド２２を支持でき、またその際
の組立作業を簡易且つ容易に行うことができる。
介して前記軸材１３と一体とし、ピストンロッド２２の
上端をスライダ４に取付けられたゾラケット２３にシリ
ンダ１９の径方向へ変位可能に取付けたので、軸材１３
の摺動面を基準として、シリンダ１９の昇降が阻害され
ることなくピストンロッド２２を支持でき、またその際
の組立作業を簡易且つ容易に行うことができる。
このほか、軸材１３を角形としたので、軸材１３が水平
方向へ回動することなく、従って測定子５の姿勢を常に
一定の姿勢に維持させることができる。また、軸材１３
の各面にエアパッド１４を設けたので、軸材１３の昇降
を円滑に行うことができる。
方向へ回動することなく、従って測定子５の姿勢を常に
一定の姿勢に維持させることができる。また、軸材１３
の各面にエアパッド１４を設けたので、軸材１３の昇降
を円滑に行うことができる。
なお、実施に轟って、ピストンロッド２２は、通常ノシ
リンダのピストンロッドより十分細くし、可撓性を持た
せるようにすれば、特にピストンロッドをシリンダ１９
の径方向へ移動可能に支持する構造がなくても、それと
同等な効果を奏することができる。この場合、ピストン
ロッド２２を初めから可撓性のある材料により構成する
ことも考えられることである。
リンダのピストンロッドより十分細くし、可撓性を持た
せるようにすれば、特にピストンロッドをシリンダ１９
の径方向へ移動可能に支持する構造がなくても、それと
同等な効果を奏することができる。この場合、ピストン
ロッド２２を初めから可撓性のある材料により構成する
ことも考えられることである。
また、圧力調整装置は、上記実施例で述べた空気圧を利
用するもののほか、油圧を利用するものであってもよい
。
用するもののほか、油圧を利用するものであってもよい
。
一方、上記実施例では、三次元測定機のプローグ軸を対
象としたが、本発明は、昇降する軸を有するものであれ
ば上記三次元測定機以外のものについても適用すること
ができ、また予め定められた手順に従ってプローグを自
動的に駆動させるものであってもよい。
象としたが、本発明は、昇降する軸を有するものであれ
ば上記三次元測定機以外のものについても適用すること
ができ、また予め定められた手順に従ってプローグを自
動的に駆動させるものであってもよい。
以上のとおり、本発明によれば、軽量且つ小型化が可能
な測定機のバランス装置を提供することができる。
な測定機のバランス装置を提供することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す三次元測定機の斜視図
、第２図はプローグ軸の内部構造を示す断面図、第３図
は第２図の■−■線断面図、第４図は圧力調整装置を示
す回路図、第５図はレギュレータの内部構造を示Ｔ断面
図である。 ４°°°構遺体としてのスライダ、１３・・・軸材、１
７−°゛シリンダ装置１９・・・シリンダ、２１・・・
ピストン、２２・・・ピストンロンド、３０・・・圧力
調整装置。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第２図 几７５ 第３図 ５ 第５図 −６−
、第２図はプローグ軸の内部構造を示す断面図、第３図
は第２図の■−■線断面図、第４図は圧力調整装置を示
す回路図、第５図はレギュレータの内部構造を示Ｔ断面
図である。 ４°°°構遺体としてのスライダ、１３・・・軸材、１
７−°゛シリンダ装置１９・・・シリンダ、２１・・・
ピストン、２２・・・ピストンロンド、３０・・・圧力
調整装置。 代理人 弁理士 木 下 實 三 （ほか１名） 第１図 第２図 几７５ 第３図 ５ 第５図 −６−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）構造体に、下端部に測定子を取付けた中空な軸材
を上下方向へ移動可能に設け、この軸材の内部に、シリ
ンダ、ピストンおよびピストンロッドからなるシリンダ
装置を嵌挿し、そのシリンダと前記軸材とを一体的に連
結するとともに、前記ピストンロッドの上端を前記構造
体に支持させ、かつ前記シリンダの上下動に伴うシリン
ダ内の圧力変動を一定圧力以内に制御する圧力調整装置
を設けたことを特徴とする測定機のバランス装置。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記ピストンロ
ッドの上端は、前記構造体に、前記シリンダの径方向へ
変位可能に支持されていることを特徴とする測定機のバ
ランス装置。 （８） 特許請求の範囲第１項または第２項において
、前記ピストンロッドは、可撓性を有する材料によって
構成されていることを特徴とする測定機のバランス装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15045382A JPS5940101A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 測定機のバランス装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15045382A JPS5940101A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 測定機のバランス装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5940101A true JPS5940101A (ja) | 1984-03-05 |
| JPH0370763B2 JPH0370763B2 (ja) | 1991-11-08 |
Family
ID=15497258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15045382A Granted JPS5940101A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | 測定機のバランス装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940101A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6154410A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-18 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 三次元測定機の安全装置 |
| JP2002162220A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP15045382A patent/JPS5940101A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6154410A (ja) * | 1984-08-27 | 1986-03-18 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 三次元測定機の安全装置 |
| JP2002162220A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Ckd Corp | エアベアリングシリンダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0370763B2 (ja) | 1991-11-08 |
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