JPS5940253B2 - オ−トコリメ−タ - Google Patents

オ−トコリメ−タ

Info

Publication number
JPS5940253B2
JPS5940253B2 JP2104677A JP2104677A JPS5940253B2 JP S5940253 B2 JPS5940253 B2 JP S5940253B2 JP 2104677 A JP2104677 A JP 2104677A JP 2104677 A JP2104677 A JP 2104677A JP S5940253 B2 JPS5940253 B2 JP S5940253B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
interchangeable
autocollimator
reflective surface
positive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP2104677A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS53106155A (en
Inventor
純 岩崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Kogaku KK filed Critical Nippon Kogaku KK
Priority to JP2104677A priority Critical patent/JPS5940253B2/ja
Publication of JPS53106155A publication Critical patent/JPS53106155A/ja
Publication of JPS5940253B2 publication Critical patent/JPS5940253B2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はオートコリメータに関する。
一般に、オートコリメータとは光線を平面反射鏡に垂直
に入射させ、そこからの反射光線を、その入射光線と同
一光路を通つて戻す様な光学系を言うが、被検レンズの
光軸の検出即ちいわゆるレンズの偏心測定機に用いられ
ているオートコリメータは、上述の平面反射鏡の代りに
被検レンズを用いそのレンズの凸面又は凹面に垂直に光
線を入射させ、その反射光線を、その入射光線と同一光
路を逆向きに戻すことを行つている。しかしながら、こ
の反射面として凸面や凹面を用いねばならない後者のオ
ートコリメータにあつては、その反射面の凸、又は凹の
相違に応じてその反射面と、オートコリメータとの相対
的距離を変化させなければならなかつた。また、その相
対的距離を不変に保つオートコリメータは、オートコリ
メーションをおこない得る反射面曲率に制限があつた。
本発明の目的は、反射面の曲率即ち、凸面、凹面及び平
面に無関係に、反射面とオートコリメータとの相対的距
離を変えることなく、オートコリメーションを行い得る
オートコリメータを提供することである。
本発明に係るオートコリメータは、光線の進行方向の順
に、コリメータレンズ、可動正レンズ交換用正又は負レ
ンズ及び投射正レンズを配し交換レンズとして、正及び
負レンズのいずれかを用いることによつて、反射面の凸
凹の別に無関係に、そして、光軸方向への可動レンズの
移動によつて、その反射面の曲率の変化に無関係に、オ
ートコリメーションを行う、即ち、投射レンズからの射
出光を反射面に垂直に入射させるものである。
次に、本発明に係るオートコリメータをレンズの偏心測
定機に適用した実施例を図面により説明する。第1図に
おいて、光源2、集光レンズ4及びピンホール6とによ
り点光源を作成する。コリメータレンズ8はピンホール
6上の点光源からの光線を平行光にする。正レンズ10
はコリメータレンズ8の光軸に沿つて移動可能である。
この可動レンズ10の焦点距離は後述の正レンズ12a
の焦点距離f02より大きく選択されている。この正レ
ンズ12aは同一の焦点距離−f42を有する負レンズ
12bと交換可能に構成されている。またこの正レンズ
12a又は負レンズ12bは光線投射用の固定正レンズ
14の前側焦点位置に配置されている。即ち、交換レン
ズと投射用レンズ14とは、後者の焦点距離Fl4だけ
離れている。その投射用固定レンズ14からの光線を反
射する被検レンズ16の上表面16aが、固定レンズ1
4の後側焦点位置に在る様に、被検レンズ16を配置す
る。また、その被検レンズ16は光軸方向には固定され
ている。以上、コリメータレンズ8、可動レンズ10、
交換される正又は負レンズ12a又は12b、そして固
定正レンズ14とからオートコリメータを構成する。こ
の様な構成で、交換レンズとして図の如く正レンズ12
aを用いた場合には、被検レンズ16の反射面16aが
オートコリメータに向つて、いかなる曲率の凸面であつ
ても、必ずオートコリメーシヨンを行うことができる。
以下にこれを例示する。第2図aは、被検レンズの反射
面16aが平面即ちその曲率半径が無限大の場合を示す
。同図において、可動正レンズ10は、交換正レンズ1
2aから正レンズ10の焦点距離FlOだけ離れ闘た位
置(以下これを基準位置と呼ぶ。)に配置される。従つ
て可動レンズ10に入射した平行光は、交換レンズ12
aの主平面上に集光される。この主平面は固定レンズ1
4の焦点位置にあるので、上述の光線はレンズ14によ
つて再び平行光とな≧つて、平面16aに垂直に入射し
、そしてそこで反射され入射光線と同一光路を逆向きに
進む。次に、第2図bに半径が零である仮想的反射面1
6a(図ではこの反射面を点として描いた。)の場合を
示す。この場合には、可動レンズ10を3第2図aの基
準位置から、図示なきコリメータレンズ8の方に交換レ
ンズ12aの焦点距離Fl2だけ移動する。(以下この
位置を最遠位置と呼ぶ。)これによつて、可動レンズ1
0に入射した平行光は、交換レンズ12aの前側焦点位
置に集光され3るので、その集光々束は交換レンズ12
aによつて再び平行光となり、固定レンズ14によつて
その焦点位置即ち、反射面16aに集光される。従つて
、ここで反射された反射光も前述同様、入射光路を逆向
きに戻つて行く。第1図に示す如φく、半径が上述の両
極端、即ち無限大と零との間の任意の値の凸反射面の場
合には、可動レンズ10を第2図aの基準位置と第2図
bの最遠位置との間の適宜の位置に移動することによつ
て、固定レンズ14を通つた光線を反射面16aの曲率
中心18に向つて収れんさせることができる。従つて、
固定レンズ14からの光線はすべて、反射面16aに垂
直に入射し、そこでの反射光は入射光路を逆向きに進む
ことになる。こうして、正レンズ12aをオートコリメ
ータの光路中に挿入し、可動レンズ10を基準位置と最
遠位置との間の位置に移動することによつて、このオー
トコリメータは、これに向つて凸面であるいかなる曲率
の反射面に対しても、オートコリメータからの射出光線
を垂直に入射させることができる。次に、反射面がオー
トコリメータに向つて、凹面である場合を説明する。
第3図に示す如く、前述の正の交換レンズ12aの代り
に、その位置に、それと絶対値が同一の焦点距離−Fl
2を有する負レンズ12bを挿入する。今、反射面が平
面である時には、可動レンズ10を基準位置に置けば良
く、そのときの光線路は第2図aのものと同一である。
次に、半径零の仮想的反射面の時には、第2図cに示す
如く可動レンズ10を基準位置から、交換レンズ12b
の方へ、そのレンズ12bの焦点距離1−Fl2lだけ
近づける。このときの可動レンズ10の位置を最近位置
と呼ぶことにする。可動レンズ10に入射した平行光は
そのレンズ10によつて、交換負レンズ12bの後側焦
点位置に向つて集光されるので、負レンズ12bはその
光線を再び平行光束とし、その後その光線は固定レンズ
14によつて反射面16aに集光され、そこで反射され
入射光束と同一光路を逆向きに戻つていく。そして、半
径が上述の無限大と零との間の任意の値である凹反射面
の時には第6図に示した如く可動レンズ10を基準位置
と最近位置との間の適宜の位置に移動することによつて
、固定レンズ14を通つた光束を、あたかも反射面16
aの曲率中心20から出た光線の如く発散させることが
できる。従つて、固定レンズ14からの光線はすべて反
射面16aに垂直に入射し、そこからの反射光は入射光
路を逆向きに戻つて行く。こうして、凹面の反射面につ
いても、その曲率がいかなる値のものであつても、可動
レンズの移動によつてオートコリメーシヨンを行い得る
。オートコリメータの光軸からの、この被検レンズ光軸
の偏心量の観察光学系は従来のものと同一であるが、以
下にこれを記述すると、第1図においてコリメータレン
ズ8とピンホール6との間にビームスプリツタ22を設
け、被検レンズで反射されたピンホール像を、そのビー
ムスプリツタ22によつて、接眼レンズ24の前方に結
像する。この像の、光軸からの偏心量を肉眼で観察し又
は、ポジションセッサ26で光電的に検出する。以上か
ら明らかな如く、基準位置からの可動レンズ10の移動
量は、被検レンズの反射面の曲率によつて決定されるの
で、可動レンズ10の移動位置に、被検レンズ反射面の
曲率を表わす目盛を設ければ、オートコリメーシヨンを
したときの可動レンズの位置から、反射面の曲率を知る
ことができるし、逆に、曲率が既知である反射面につい
てオートコリメーシヨンを行うとき、可動レンズ10を
その曲率の目盛のところに移動すればよいことになる。
尚、本実施例にあつては、交換レンズとして、絶対値の
等しい焦点距離の正及び負レンズ12a,12bを用い
、その交換レンズ及び被検レンズ反射面を夫々、投射レ
ンズ14の前側及び後側焦点位置に配置しているので、
絶対値は等しいが異符号である反射面(即ち、等半径の
凸凹反射面)の曲率に関する上述の目盛は、基準位置を
中心として、対称となり、更に、光学系の倍率の絶対値
も等しくなるので取扱い上便利である。
また、すべての曲率の凸及び凹反射面について、オート
コリメーシヨンを行うのに、可動レンズ10の最大移動
量は、交換レンズ12の焦点距離の2倍で済む。従つて
、操作の迅速化を図れる。尚、上例では凸の反射面に対
しては、正の交換レンズを、そして凹の反射面に対して
は、負の交換レンズを用いているが、しかしながら、正
の交換レンズの場合でも、例えば、可動レンズ10を最
遠位置より更にコリメータレンズ8に近ずけることによ
り、或る曲率の範囲内の凹反射面についてもオートコリ
メーシヨンを行い得るし、同様に負の交換レンズの場合
でも、例えば最近位置より更に交換レンズの方に可動レ
ンズを近ずけることによつて或る曲率範囲の凸反射面に
関し、オートコリメーシヨンを行い得る。従つて本発明
は、凸反射面に対しては必ず正の交換レンズを、凸反射
面には負の交換レンズを夫々用いなければならないもの
ではない。同様に、可動レンズを最遠位置と最近位置と
の間でのみ移動した場合であつても、反射面を投射レン
ズ14の後側焦点位置から光軸方向にずらして、配置し
た時には、正及び負の交換レンズで、夫々、或る曲率範
囲の凹及び凸反射面についてオートコリメーシヨンが可
能となる。以上、本発明によると、凸面、凹面を問わず
いかなる曲率の反射面に対しても、単に、その凸凹に応
じて、交換レンズの正負を変えるだけでオートコリメー
シヨンが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明のオートコリメータをレンズの偏心測
定機に適用した実施例の光学系配置図、第2図は反射面
曲率が変化した場合のオートコリメータの各レンズ系の
配置図、そして第3図は凹面の反射面に対するオートコ
リメーシヨンの光学系配置図である。 〔主要部分の符号の説明〕、8:コリメータレンズ、1
0:可動正レンズ、12a,12b:交換用レンズ、1
4:投射レンズ、16a:反射面。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光の進行方向の順に、平行光を作成するコリメータ
    レンズと;可動正レンズと;交換レンズと;投射レンズ
    とを配し、その交換レンズとして、正レンズ及び負レン
    ズを用意し、その正.負交換レンズを交換し、かつ可動
    正レンズを光軸方向に移動することによつて、投射レン
    ズからの射出光を任意の曲率の反射面に垂直に入射させ
    ることを特徴とするオートコリメータ。 2 特許請求の範囲第1項に記載のオートコリメータに
    おいて、前記交換レンズとして、焦点距離の等しい正レ
    ンズと負レンズを用いることを特徴とするもの。 3 特許請求の範囲第1項又は第2項に記載のオートコ
    リメータにおいて、前記交換レンズを前記投射レンズの
    焦点位置に配置することを特徴とするもの。
JP2104677A 1977-02-28 1977-02-28 オ−トコリメ−タ Expired JPS5940253B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2104677A JPS5940253B2 (ja) 1977-02-28 1977-02-28 オ−トコリメ−タ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2104677A JPS5940253B2 (ja) 1977-02-28 1977-02-28 オ−トコリメ−タ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS53106155A JPS53106155A (en) 1978-09-14
JPS5940253B2 true JPS5940253B2 (ja) 1984-09-28

Family

ID=12043977

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2104677A Expired JPS5940253B2 (ja) 1977-02-28 1977-02-28 オ−トコリメ−タ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5940253B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0486657U (ja) * 1990-11-30 1992-07-28

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6088343A (ja) * 1983-10-19 1985-05-18 Mitsutoyo Mfg Co Ltd レンズの偏心測定機

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0486657U (ja) * 1990-11-30 1992-07-28

Also Published As

Publication number Publication date
JPS53106155A (en) 1978-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2913984B2 (ja) 傾斜角測定装置
US5288987A (en) Autofocusing arrangement for a stereomicroscope which permits automatic focusing on objects on which reflections occur
US6307636B1 (en) Method for telemeasuring and telemeter
US5309214A (en) Method for measuring distributed dispersion of gradient-index optical elements and optical system to be used for carrying out the method
JPH01284704A (ja) 表面の微細構造を測定する方法とその装置
JPS61247944A (ja) 反射率測定装置
JP3120885B2 (ja) 鏡面の測定装置
JPS5940253B2 (ja) オ−トコリメ−タ
CN116917078A (zh) 光加工装置
CN116952544B (zh) 用于ar光波导性能检测设备的辅助定标工装及使用方法
JP4694290B2 (ja) 有限系光学素子の透過率測定方法及び透過率測定装置
JPH06288735A (ja) 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計
US3832063A (en) Lens axis detection using an interferometer
JPS6212269Y2 (ja)
JPH06174430A (ja) 中心厚測定方法およびそれに使用する装置
JP2605528Y2 (ja) レンズメータ
JPH0118370B2 (ja)
SU1449842A1 (ru) Способ измерени радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали
JPS6345530B2 (ja)
JP2890639B2 (ja) 真球度の絶対測定方法及び装置
JPH08166209A (ja) 多面鏡評価装置
SU591791A1 (ru) Оптическа система гидировани и фокусировки телескопа
RU2006792C1 (ru) Устройство для измерения радиусов кривизны поверхности детали
JP3170893B2 (ja) 空間光変調素子評価装置の調整方法
JPH0154055B2 (ja)