JPS5940355U - グロ−放電薄膜形成装置 - Google Patents
グロ−放電薄膜形成装置Info
- Publication number
- JPS5940355U JPS5940355U JP13658182U JP13658182U JPS5940355U JP S5940355 U JPS5940355 U JP S5940355U JP 13658182 U JP13658182 U JP 13658182U JP 13658182 U JP13658182 U JP 13658182U JP S5940355 U JPS5940355 U JP S5940355U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- thin film
- film forming
- glow discharge
- forming equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は槽を断面図として示すこの考案のグロー放電薄膜
形成装置配置図である。 図で、１１・・・天井面、１・・・槽、１５・・・細孔
、１３・・・水素ガス導入管、１４・・・金属ハロゲン
化物蒸気混合ガス輸送管、６・・・温度調節箱。
形成装置配置図である。 図で、１１・・・天井面、１・・・槽、１５・・・細孔
、１３・・・水素ガス導入管、１４・・・金属ハロゲン
化物蒸気混合ガス輸送管、６・・・温度調節箱。
Claims (1)
- 天井面を貫通して槽の底面近傍に開口し且つ槽内開口側
で管壁に複数の細孔を貫通分布させている水素ガス導入
管と、天井面で開口し槽外放電室に到る金属ハロゲン化
物蒸気混合ガス輸送管を備え、金属ハロゲン化物の゛蒸
気を発生させるために融体を収容する前記槽が、温度調
節箱に納められて配置されていることを特徴とするグ冶
−放電薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13658182U JPS5940355U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | グロ−放電薄膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13658182U JPS5940355U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | グロ−放電薄膜形成装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5940355U true JPS5940355U (ja) | 1984-03-15 |
Family
ID=30307047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13658182U Pending JPS5940355U (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | グロ−放電薄膜形成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940355U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165774A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-29 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP13658182U patent/JPS5940355U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01165774A (ja) * | 1987-12-22 | 1989-06-29 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5993703U (ja) | 水素ガス抜きタンク | |
| JPS5895631U (ja) | 半導体膜形成装置 | |
| JPS5963297U (ja) | 高圧容器 | |
| JPS59139897U (ja) | プラズマ加熱装置における電極構造 | |
| JPS5877041U (ja) | 薄膜気相成長用気化装置 | |
| JPS5944770U (ja) | プラズマｃｖｄ装置 | |
| JPS588920U (ja) | 油入窒素密封形変圧器 | |
| JPS58126228U (ja) | 燃料タンクのエアブリ−ザ | |
| JPS6081679U (ja) | 電気機器収納箱 | |
| JPS60119743U (ja) | 化学的気相付着装置 | |
| JPS58185362U (ja) | 自動注湯炉 | |
| JPS60164738U (ja) | ガスしや断器 | |
| JPS5979698U (ja) | 二重殻低音タンク | |
| JPS6067357U (ja) | 溶融金属容器のガス吹込装置 | |
| JPS59195326U (ja) | 液体燃料燃焼装置 | |
| JPS6039324U (ja) | 廃ガス処理装置 | |
| JPS59100840U (ja) | 金属精錬用底吹きガスノズル | |
| JPS5936833U (ja) | ガス整流装置 | |
| JPS59100841U (ja) | 金属精錬用底吹きガスノズル | |
| JPS60193456U (ja) | 水素炎イオン化検出器 | |
| JPS59164237U (ja) | 蒸着装置 | |
| JPS6085825U (ja) | コンデンサ設備 | |
| JPS5892728U (ja) | バブリング装置 | |
| JPS5857636U (ja) | 空気吹出し装置 | |
| JPS58156477U (ja) | 携帯用焼香器 |