JPS5940447Y2 - 拡散炉 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案は拡散炉に係り、特に反応管とドーピング系管
との接続域について改良された拡散炉に関する。

〔考案の技術的背景とその問題点〕

拡散炉で反応管とドーピング系管との接続域では、気密
性を賦与するためにテフロン（登録商標）リングをジヨ
イントに用いる。

それ故反応管を、（１）炉外で延長し、（２）ファンを
設置して空冷し、（３）或いは水冷する等して、この接
続域を１５０℃以下の低温に保っている。

しかし接続域をこのように構成させるときにはそれぞれ
（１）延長域で破損させ易く、空間を要し、（２）ファ
ンの故障時に温度を急上昇させ、又（３）断水時に温度
を急上昇させる等の欠点がある。

〔考案の目的〕

この考案は、このような欠点を除き接続域の温度を低温
に保持させるよう接続域を改良した拡散炉を提供するも
のである。

〔考案の概要〕

即ちこの考案は拡散炉の反応管と、この反応管に接続す
るドーピング系管との接続域が、反応管から炉外に突出
し外側周に放熱フィンを備えた接続管体と、この管体の
突出先端７ランジにテフロン（登録商標）リングを介し
て対接するドーピング系管の接続端フランジから成って
気密封止されるものである拡散炉にある。

〔考案の実施例〕

以下に実施例拡散炉について述べる。

第１図断面図にこの例の反応管ドーピング系管接続域を
示す。

この接続域１は、拡散炉２内に壁面に石英ウール又はフ
ァイバーフラックス３をおいておかれている炭化ケイ素
製反応管４が、一体で炉外に突出する接続管体５を備え
、突出先端のフランジ６にテフロン（登録商標）Ｏリン
グ７を介してドーピング系管８のステンレスフランジ９
が対接され、テフロン（登録商標）座金１０とステンレ
スナツト１１を用い、締め付会具１２により一体に締め
付けられて成っている。

又反応管から炉外に突出している接続管体５には冷却用
フィン１２が管体から一体に且つ先端１３の材質をかえ
て設けられている。

この例の拡散炉で、接続管体とドーピング系管の接続域
表面温度は、拡散炉壁との距離により第２図曲線イに示
すように低下する。

曲線口は比較例でフィンをとりつげずに接続されている
場合に係る。

円曲線から本願拡散炉がすぐれることが認められよう。

〔効果の効果〕

このようなこの考案の拡散炉によれば反応管とドーピン
グ系管との接続域が炉壁からの距離とあいまって、低温
に保持され、テフロン（登録商標）ジヨイントを損わず
、気密封止を確実にさせる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例拡散炉断面図、第２図は第１
図拡散炉のドーピング系管接続域の放熱効果を示す表面
温度曲線図である。 第１図で、２・・・拡散炉、４・・・反応管、８・・・
ドーピング系管、１・・・接続域、１２・・放熱フィン
、５・・・接続管体、６・・・接続管体突出フランジ、
７・・・テフロン（登録商標）リング、９・・・ドーピ
ング系管フランジ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 拡散炉０反応管と、この反応管に接続するドーピング系
   管との接続域が反応管から炉外に突出し外側周に放熱フ
   ィンを備えた接続管体と、この管体の突出先端７ランジ
   に対接するドーピング系管の接続端フランジから成って
   気密封止されるものであることを特徴とする拡散炉。