JPS5940843U - ガス分析計 - Google Patents

ガス分析計

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Publication number
JPS5940843U
JPS5940843U JP13541382U JP13541382U JPS5940843U JP S5940843 U JPS5940843 U JP S5940843U JP 13541382 U JP13541382 U JP 13541382U JP 13541382 U JP13541382 U JP 13541382U JP S5940843 U JPS5940843 U JP S5940843U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow path
measurement
switching section
gas
measurement cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13541382U
Other languages
English (en)
Inventor
小鷹　光雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP13541382U priority Critical patent/JPS5940843U/ja
Publication of JPS5940843U publication Critical patent/JPS5940843U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来例の構成説明図、第２図は本考案実施例の
構成説明図である。 １、ｌａ、ｌｂ、２，２ａ、２ｂ、９，１０゜２１ａ、
２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ。 ２３Ｃ−・・流路、５ａ、５ｂ、２１〜２３−・・流路
切換部、５ａ、　５ｂ・・・光源、７．８・・・測定セ
ル、１１・・・検出器ミ　１２・・・リーク孔、１３・
・・コンデンサ膜、１４・・・固定極、１６・・・増幅
器、１７・・・指示計、１８．２４・・・コントローラ
、１９・・・透過窓、２５・・・真空装置。

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）測定ガスを一定流量で導入する導入部と、該導入
    部によって導入される測定ガスが流れる第１流路を第２
    流路若しくは第３流路へ一定周期で交互に切換えて連通
    せしめる第１の流路切換部と、該切換部から前記第２流
    路を介して前記測定ガスが導びかれる第１の測定セルと
    、前記切換部から前記第３流路を介して前記測定ガスが
    導びかれる第２の測定セルと、前記第１測定セルから導
    出される測定ガスの流路を第４流路若しくは第５流路へ
    一定周期で交互に切換えて連通せしめる第２の流路切換
    部と、前記第２測定セルから導出される測定ガスの流路
    を第６流路若しくは第７流路へ一定周期で交互に切換え
    て連通せしめる第３の流路切換部と、前記第５および第
    ７の流路が接続され夫々前記第２若しくは第３の流路切
    換部を介して前記第１若しくは第２の測定セル内を減圧
    して真空状態にせしめる真空装置と、前記第１乃至第３
    の流路切換部を制御するコントローラと、前記第１およ
    び第２の測定セルに測定光を照射する光源と、前記第１
    若しくは第２の測定セルを通過した前記光源からの透過
    光を受光する検出器とを具備するガス分析計。
  2. （２）前記真空装置は真空ポンプでなる実用新案登　　
    　゛録請求範囲第（１）項記載のガス分析計。
  3. （３）前記第２および第３の流路切換部は三方電極弁で
    なる実用新案登録請求範囲第（１）項若しくは（２）項
    記載のガス分析計。
JP13541382U 1982-09-07 1982-09-07 ガス分析計 Pending JPS5940843U (ja)

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JP13541382U JPS5940843U (ja) 1982-09-07 1982-09-07 ガス分析計

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13541382U JPS5940843U (ja) 1982-09-07 1982-09-07 ガス分析計

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JPS5940843U true JPS5940843U (ja) 1984-03-15

Family

ID=30304792

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JP13541382U Pending JPS5940843U (ja) 1982-09-07 1982-09-07 ガス分析計

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63148856U (ja) * 1987-03-20 1988-09-30

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63148856U (ja) * 1987-03-20 1988-09-30

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