JPS5943584A - レ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本１こ明は１ノーリ”管を右りるレーリ゛装置、１゛１
１・二外部′＋（ン形し−り装置に関りるしの（ある。

今１−１、レーリ゛菅を右りる１ノーリ゛具置は訓ａ０
１器、分析器、ｉｌ：ｉ伯１幾、画像記録装置、画像６
７ｊ取装置占、ｊ１ロー１グラノイー、溶接装ｊ；＜ｊ
、レーリ゛メス等の１シζ掠装置、核８１１合等の様々
な分野（゛使用されていることは周知の通りＣある１゜ レーリ゛装置の一つとしζ気体レーザ装［ｉがあり、こ
の気体１ノーリ゛装防のうら（”　０、レーク゛↑＾と
は独１°ｌ（］たレーザ光を発振ぜしめるためσ戸一対
のタト部４′はか（１払のレーリ゛管のｆｆ１ｈ方向に
設（〕られた外部鏡形レしリ゛装置が知られ−Ｃいる。

この外部紐形レーり装置にＪ３いでは、レーリ゛尤を光
りるレーク”答を気持するンウン１−と外部鏡とは同一
のＪ、１４１ｉ７　、、ｌに設置されくいる。このＪ、
う（１口と１成されＣいるレーザ装置にａ３いで、しｉ
、光をイζりるためにレーリ゛管に電１１か印加（され
ると、レーリ゛包の中央部１；１近からは多大な熱がＰ
ｌ、！らＩＬる。

このレーリ゛管かｒ：′）光Ｕられ１５−倉！！　１．
Ｌレーリ゛管のＹ′・：ノン１〜を介しく基板に伝達す
ることにより、あるいは熱対流、熱輻剣にＪ、り熱がレ
ーリ゛管の周ｊす部の基ＩＮに伝達りるか、し・−リ１
′（の中央部がｆＵ　’ｉ、１多く熱を光りるの（゛、
２ｒＳ　ＩＩＩＺの中央部叩〕）レーリ゛管の中央部が
１１７置・１６部分と、Ｊ、ｌ扱の周）４Ｊ部即Ｉつ外
ハエが設置される部ｊ＞　Ｌ　Ｊ）いＣＬ；Ｌ温１立差
が１１シる。、このよ−）に１．（扱（１−温１１Ｊ、
勾配が〈ｌ−しると、１．む）反の熱１１α３１）［４
の違いから９１１部鏡ハエーリ゛♀“１．の軸７７向か
ｌ’）　Ｉｉ７買Ｌ（■を起（二し、レ−リ゛装置から
ブＦ　／Ｉされるレーリ゛）１ユノ強度がＩＩ、（−”
Ｆ　Ｌ、　／、川〕、＃３ｉｆ！：　０）　、ｌｊｊ　
’Ｑ　Ｌ　ＩｒＬ　Ｌ’−リ゛ヅＬ娠がｔ↑なわ１１イ
１く４ｒるどい−）問題か弁〈１−りる３、イ・Ｙつて
、このような問題を解１肖（ｊるために、従来、例え１
．１月に一同定１！／Ｊ的に夕１部５）１の（ｉ’／　
ｊｉ！’／　ｉ調’ｌＩｊることが行なわれる。（２・
かしイアがら、（二のような外ハエの位置補止（。１．
　（／ｌｉ　ＩＹ＞　Ｚ面倒Ｃ’　ｉｔりるとと１）に
、このようなｈ’＞−直面ＩＦを行な−）【し、レーリ
ー装置使用時に常時９１部ハエ１１７置す゛れか光〈１
（ｊることを防Ｊ１しうるしので゛イ永いＪどは明らか
−（゛ある。

従−）　−（’　、木弁明り月″１的は、外部紐形１ノ
ーリ゛装置シフ（ごおいで、使用１ｔ１１１．、おい（
耗牛４る基根の不均一４Ｌ温１１″Ｌ１胃１．−Ｊ、−
）（光〈１−１）る外部１））のＩＣＩ　ｆｉ’ｉ　ｄ
−れかノ１じること４防１１シうるＬ７／−り装置を１
Ｆｉｉ　Ｉｌｔりる（］とにある＋１ 本賢明のレーリ″装置ｔ−’ζはリース内部ｔこ収容さ
れたト、・−リ゛ｔへと、（二のレーリ１（への冑！用
−（ｌｒ　’ｂ’　ｒＡＡ　ｉ＋聞（ｊろ）ム、１＾ｌ
八１１団から・（するもの（−ある１、本賢明ＩＪＪ、
　ｔｌ　ｉ、ｃ、〕７−ス内σ）　７！１４１ＬＪ　ｌ
イＣわｊ）ｌノー１ノ質の零°囲気謁＋１３Ｑを均　Ｌ
、：　Ｉ＞’、−）こ−・が−ＩＩＩ　Ｏｉ）と４４番
〕、と１１、によ）　−（」ｉ’　ｌルー１−の淘１σ
４均一（１りる（二とかｉ”１１１１１′とｉｚ　り、
外ハエの位置すれか）′置し１イ）　ｔＪ−とを防１１
（）るイニどか（ヒ＼る、。

本ヅ亡明のンへ、ｉ　、；＋４−Ｔ一段どり、　（ｉ、
１．、″１′″ン賃−ｒ段か’ｆ　ｌ）　’−１ね、１
１すｌ　Ａ、　１．１１．１］の空冷１段としく（、Ｌ
、９１部かｌ−）ケー　　ス　内　１こ　、′″　鍮＜
　　（Ｖ″　？’ｌｌｔ　　人　→　る　ｊ、二　め　
（ご　ツノ　＝−ス　＋７．）　　−−−プ）Ｃノ）　
ロｊｌ１１ｉ”ｆ＝説（）られ／、−空気流入１−１と
、リース内から９トｔ１１）に′と気を流出りるノごめ
の′ノースの他方の側ＡＸ　ｉＪ　ニア；“コ気：ｌｉ
　ｉｌｉ　ｌ−ｊを設り、この空気流入１１と？Ｖ気流
出［１とイフ）間７−、　’）；ＩＪ電気流牛ぜしめる
Ｌ〕のが挙１１られる。゛１１コ気流人１１４″１ｊ）
４′多吊に光りるレーリ゛管の中央ｆ・ｌ　ｊｌｉｌに
設置７　、空気流出１−１を熱苓あ、１、り光／［シイ
ｉいし・−り？′（端部に、１シ（］るこ、’：　ＩＪ
：　Ｊ、す、［２′−リ゛？′（の中り、！イ・１）！
−１−を一冷ム１１シ、１．・−ザ管端部を−し・−リ
゛Ｙへの中央ｆ−１、’＋ｌ−１４とｉｉ　　７、ＩＩ
　　’Ｉ　　る　く二　と　に　よ　−）（）品　度　
−１−’ｉ？　　シ　　人二　ソ：Ｕ　−（２令　（＋
３１、・）（温めるｄどにより４１−ス内の；１１間気
温１１（４定１ｊ　ｔ！　Ｌ、める（二とが（゛き、こ
１目、］Ｊ−）−ζノノース内凸Ｂ　１．’１．ｌ見根
の温度分イｌｉを一定にづる（二とが１さ、外ハエのＩ
ＸＸ直置゛）ｔを防１１ｒＪる（−どが（゛さる。

”（ｉＪ３、一般（、′程囲気の渦バｔ　１．１．０　
：）’（：・・・７０℃がりｒ、１、しいことか兇い出
され（いる。

１≧４ト、本弁明のレーリ゛具１ｒ１を好ましい一実施
例に基−イい（詳細に８（（明づる。

図面はＡ弁明のｌノーリ゛装置、９．１の好１１、しい
−実施例を示！１概略斜視図もある。

図面（Ｊｄ；い（，１，ｌ−リ゛管’ｌ　ｌ；Ｌマウン
１−２Ａ、２１３（ご、Ｊ、り草根３１に設ぬ゛されＣ
いる。レーリ゛管１のりｌｌｂツノ向（・−は　文・１
の１ノーリ゛介１ｈＶ　ｋ　ｂ　４Ｉ：）ための外ハエ
４Δ、４］３か設定されている。これらレーリ゛筐１ど
外ハエ４△、４１木は草根こ３どど０１こり一ス：）内
（・＝収容されＣいる。このリース５　Ｍ　１．’Ｌケ
ース５）内ｉＪ’＋；ｃ気を流、人（するためのソど気
流入１１（）がこの空気流入〔−１６により流入した空
気がレーリ゛イへ１の中央部にあｌ、るよ・）’ｃｉ：
ｊｆ“ｌ”）ｉ’：に設（Ｉられ、１也ｈケースＳ５の
’）：″］気流入１−１６が設（）られたのと反対側の
側へ１Ｙには空気流入１−．１　（：から流入し／Ｊ？
Ｉ’ｌ気が１ノーリ“りｆ；１の端部を通過し−（ワと
気が流出りる１Ｊ、う（・、、２゛つの空気流出１．’
ｌ　’？　Ａ　、”７１３が設（Ｊられ（いる。どの空
気流出１］７Ａ、７Ｄには空気流を１′「り出りための
フッ１ンε）Δ、８１３が設（Ｊられ（いる。このよ−
）に描成（＼４１　／、、：　レ−！Ｊ”ｌ’！ｉ置に
ＩＪ３　イ（、レーリ゛光を５Ｎ　ｊ〕るため（、〕レ
ーリー管１・に’ｄ′ｉＪＪを印加Ｉ！シめ、レーリ゛
）ＩＩ　９　’：ｃ　〈Ｌ　ＩＥ　シメルト、Ｌ／　　
’）−？”、”Ｉ　Ｏ）　中央部／Ｊ’　７＋’ｔ　ｆ
、＋畠温）こイ３．す、レーリ゛Ｔ”ｒ　’Ｉの両端部
ＬＪ中央部１．１比しＣ１１（い）古Ａ１良（レーリ゛
？含′１のン品Ｌμか１冒し始める、。

この２１よ、１ノーリ゛管′１の発振をＩ／日Ｊるとノ
ース５内の６′１１１じれ中の淘麿が不均一になり、基
板Ｃ３の渇麿分ａか不拘−になることｌｊ二より、外ハ
エ４△。

４１３に１１ン置り゛れがブ芒！１りるお（ＩＬかあく
りが、′ノース０内の所望の位置に、災（Ｊられた温度
検出器（図小Ｕす゛）に９１、ってリース内部のイ晶痕
１−ｒ１が倹１１：されると、空気流出［ｊ　７△、７
１．１１こ設置Ｊ　ｌうれ）−ツノ・ンε３△、と）１
３が回転し始め、／ｉＵ　−ｂ　２Ｍ　ＩＤ、が高い１
ノーリ゛↑１１の中央部が最も強く冷ム（１２きれる。

（二のレーリ゛管１の中央部を冷７ＪＩりる（−どに、
１、す）品用−Ｌ′ｒ／　ｌ−た空気流（よ比較的温度
の低い１ノーり筑１の端部ｌこ′（゛す、レーリ゛ｆＴ
　ｉの端部を温める１、Ｌ（７）Ｊ、う１．二しＣノノ
ース５）内の雰囲気の温石は（まぼ均　化され、Ｊ：！
　０Ｍζ３のン品１良分をＪも」勺−化さイｚるｎ　従
−）（−１］ｌ’　＋Ｌ／３１の熱ゼ１；１旧の違いか
ら牛しる外ハエ４Ａ、４１．３の位置ヂれが防１ノされ
る。４し＋３、ｌ）　７・ン８Δ、８１３＋、ｔ　＋ｇ
　ａ　検出器（図示ｔ！−ｆ　＞　ト連ｆ））シ’Ｃ、
ＩＪ４転、１・、。

１）−を繰４’）　１１ｇ７ｊよ）Ｌ　シ（、あるい（
、Ｌ温度検出器の出〕Ｊ　Ｌ、′ベル（４二ｌ＋ｉ’＞
　ｊ；　（〕戸ン））Ａ、ε３１３の同転遍）麿を一！
ント１１−ル（Ｊ　＜１：＋　Ｊ、）（、ニしく）ｌ−
ス０内の雰°囲気温度ろ　定とζ１と）　Ｊ、゛）（、
、ｌシ（ｔ）Ｊ、い。上述した実施例（・二おい（（３
１″」７囲気ン易度の分子ｌｉを６°Ｃ〜・７゛Ｃ以内
の捧め（小ε＼’ｔＦ　ｊＡｆｌ　ｌαＩＩセ囲に納め
ることがでさた。イＫ　Ｊ３、シ・−リ゛装首のざｔ　
ＩＡＱの）１１−かり時間を♀ＩＶ）ル／＝め１ＪＩＪ
、し’）’　ｉ’Ｔ　’ａ−’ｊ’　メＡ＊　ルｒＭ　
Ｌ’Ｊ　Ｊ’ｌ　、ｌ−１＝−シておくことが望、１、
しいか、このため（ごリース５の内部あるいに、１．．
　ｌ−ノーリ？Ｔ　’ｌのンウン１〜２△、２１３にヒ
ーター４設（ＩるＪどｈ＜右′２Ｉｊ（ある。この場合
レーリ管１　］！’Ｍ！部１：［、！′淘１ｊＩ　Ｌ　
＃ｉ’　カ１ｊ’５　イ０）　’（’　ｌ／−リ”管１
の端部に１ｈに容ｈ１の人きいし−・り〜を設（Ｊるこ
とが（ｌｒうに有効（゛ある。１ なｄり、（二の、）：　”）本渇工１シ丁１υ４イ＋　
ｉＪる本ヅＣ明のレーリ゛装置ｆＪＪ３い（ｔ）、レー
リ゛色′１をざＮ　ＩＩＧりるｉＪめにレーリ″琶１に
電ｊ１印加を行なうと、電Ｊ１印加的１所のレーリ′１
゛へ゛右囲気汎１）徒（・の１ノーリ゛パワーか７＋ａ
人どなる外部用４．Ａ、／ＩＡ３の（Ｑ／　ｉｔ”ｌ’
と、定１；１．の温調状態Ｃのレーザパワーか最大と４
Ｃる外部用１△、／１１３の位置との間Ｃは、温度差が
あるためわヂかイ（位置ずれが光（１！ｌるが、夕１部
５１）４△、４１３の設定１１′！置を両者の中間位Ｆ
、ｌに４れ１３１、ｊノーリ）・４置の＼ブｉ」）時の
１．ノーリ゛パツーの出力性１（１を改善（Ｊるととｔ
）（、二、定常状態１ｊ　Ｊ夕い（ｔ）／、イ＞７；　
（ｙ　ｔ、高出力を一冑く）（二とが（パきる３゜ 以１−１訂細に説明したＪ、うに、イ＼光明の１．〕−
リー′１’！ｉ　直ＩＪ　７品１ｔ１Ｊ　”Ｆ　Ｉｌ：
ｊ　ｋ）　Ｆｌ　’Ｊル０）　（、（ＨＩＬ　Ｌより外
部籾の１１ンｉｔ”／りれが什牛する。と４Ｍ〕１１（
ｌる。−とか（０゛１′永久的（、二外部Ｉｆの位置調
Ｖｉ”　ｇｙ：　ｆ＋　’、Ｊ：うこと７＜　（ｌｒ−
リ゛装置を使用ｆＪる（＝どが（３〜イ）の（、実用１
の利用１ｉ１１＋　１ｉａｒ　１．Ｌ　Ｍｉ　メｒ　Ｍ
　イ。

【図面の簡単な説明】 図面は木光明のレーリ゛装置の一実ｆ＋ｉＩ！例を小１
　＋ｆ’、（Ｐ８斜ンリ１ス１（ある３゜

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ′１）ケース、このり〜ス内部に収容されたレーリ゛管
   および前記り一ス中雰囲気を）品詞する？品詞手段から
   なる１ノーリ゛哀置。 ２）舶記温ｇ＋、’Ｊされた前記雰囲気の渇ｊ良が３　
   ’Ｊ＞　”０〜７０℃の範囲（・“あることを特徴とす
   る特ｉ′１請求の範囲第ｉ　ＩＣｊ記載のレーザ装置。 ３）前記）品詞十Ｉ９がクース内を空冷づる空冷手段で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記戦の１ノ
   ーリ゛装置。 ／Ｉ＞前記空冷手段が前記ケースの一方の側壁に設（）
   られた空５（流入１１から前記９−スの他）ｊの側壁に
   設（）られＩこりと気流出口／％　’２ど気流を生Ｕし
   める空気流斤′１手段（ｄつることを特徴とする特ミ′
   １請求の範囲第３Ｊ口記載のレーリ゛装［ハ゛。