JPS5943872A - 蒸発材料収容器 - Google Patents
蒸発材料収容器Info
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- JPS5943872A JPS5943872A JP15423582A JP15423582A JPS5943872A JP S5943872 A JPS5943872 A JP S5943872A JP 15423582 A JP15423582 A JP 15423582A JP 15423582 A JP15423582 A JP 15423582A JP S5943872 A JPS5943872 A JP S5943872A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えばセレン及びテＩレルからなる蒸発材料
を加熱、蒸発させる際に使用され、前記蒸発材料がその
蒸発面積より小さい開口を通して外方へ導出されるＪ：
うに構成された蒸発材料収容器に関するものである。
を加熱、蒸発させる際に使用され、前記蒸発材料がその
蒸発面積より小さい開口を通して外方へ導出されるＪ：
うに構成された蒸発材料収容器に関するものである。
この種の蒸発材料収容器（以下、蒸着ボートと称する。
）として、蒸発材料の蒸発面積とほぼ同一サイズの上部
開口を有したいわゆるオープンボートが知られている。
開口を有したいわゆるオープンボートが知られている。
しかし、このようなオープンボートでは、蒸着速度の制
御が困難であり、しかも突沸が多い等の実用上の問題が
大きい。
御が困難であり、しかも突沸が多い等の実用上の問題が
大きい。
一方、オープンボートの欠点を解消したボートとして、
いわゆるクヌート七ンセル型と称されるものがある。こ
れは、上部開口を蒸発面積より狭く絞ることにより、蒸
着速度が効果的に制御され、かつ突沸で飛出した蒸発物
が上部開口に至るまでの間に壁部に付着して外方（即ち
被蒸着基体側）へ飛翔することはない等の点で、非常に
優れたものである。
いわゆるクヌート七ンセル型と称されるものがある。こ
れは、上部開口を蒸発面積より狭く絞ることにより、蒸
着速度が効果的に制御され、かつ突沸で飛出した蒸発物
が上部開口に至るまでの間に壁部に付着して外方（即ち
被蒸着基体側）へ飛翔することはない等の点で、非常に
優れたものである。
ところが、ボート外面、特に蒸発材料と接している壁部
外面からの熱輻射が０．５〜０．７であるから、蒸着操
作中においてボートから外方へ放出される放熱量が少な
くなる。このため、加熱開始後に急激に温度が上昇し、
所期の蒸着温度を容易に越えてしまい、かつまたその後
にヒーターをオフすると今度は熱的な慣性で蒸着温度以
下に降温し、引続いて温度コントロールした際には蒸着
温度を何度も上下するハンヂング現象が生じる。即ち、
公知のボートでは熱が放出され酔いことが、却って温度
応答性を悪くして温度コントロールを困難とし、所定の
蒸着温度に達するまで及びその蒸着温度を安定に得るま
でに長時間を要することになる。しかも、蒸着終了後に
ボートの冷却速度が遅く、これも上記の温度コントロー
ルと共に操作の作業性を著しく低下せしめている。
外面からの熱輻射が０．５〜０．７であるから、蒸着操
作中においてボートから外方へ放出される放熱量が少な
くなる。このため、加熱開始後に急激に温度が上昇し、
所期の蒸着温度を容易に越えてしまい、かつまたその後
にヒーターをオフすると今度は熱的な慣性で蒸着温度以
下に降温し、引続いて温度コントロールした際には蒸着
温度を何度も上下するハンヂング現象が生じる。即ち、
公知のボートでは熱が放出され酔いことが、却って温度
応答性を悪くして温度コントロールを困難とし、所定の
蒸着温度に達するまで及びその蒸着温度を安定に得るま
でに長時間を要することになる。しかも、蒸着終了後に
ボートの冷却速度が遅く、これも上記の温度コントロー
ルと共に操作の作業性を著しく低下せしめている。
本発明は、上記の如き蒸着ボートの特長を生かしつつそ
の欠点を解消すべくなされたものであって、冒頭に述べ
た蒸発材料収容器において、輻射を特徴とする蒸発材料
収容器に係るものである。
の欠点を解消すべくなされたものであって、冒頭に述べ
た蒸発材料収容器において、輻射を特徴とする蒸発材料
収容器に係るものである。
本発明によれば、容器の輻射率を０．８以上としている
ので、容器からの輻射放熱量を大きくする（望ましくは
、加熱源出力の９０％以」二を放熱する）ことができる
。この結果、湿度応答性が大幅に向上し、加熱開始後に
制御すべき温度への追従性が良好となって、温度コント
ロールを精度よく行なうことができる。従って、既述し
た如き過熱現象が生じることはなく、設定されたｙＡ着
湿温度短時間のうちに加熱、保持することが可能となり
、かつまた冷却速度も早くなることから、蒸着の作業性
が大幅に向上する。
ので、容器からの輻射放熱量を大きくする（望ましくは
、加熱源出力の９０％以」二を放熱する）ことができる
。この結果、湿度応答性が大幅に向上し、加熱開始後に
制御すべき温度への追従性が良好となって、温度コント
ロールを精度よく行なうことができる。従って、既述し
た如き過熱現象が生じることはなく、設定されたｙＡ着
湿温度短時間のうちに加熱、保持することが可能となり
、かつまた冷却速度も早くなることから、蒸着の作業性
が大幅に向上する。
本発明による容器は、全体が幅対率０，８以上の材料で
形成されていてよいが、外面の少なくとも一部分に放熱
フィンが固定されたり、或いは外面の少なくとも一部分
に輻射率が０．８以上の材料層が取付けられるようにし
ても、放熱量を充分にすることができる６、 以下、本発明の実施例について図面参照下に詳細に説明
する。
形成されていてよいが、外面の少なくとも一部分に放熱
フィンが固定されたり、或いは外面の少なくとも一部分
に輻射率が０．８以上の材料層が取付けられるようにし
ても、放熱量を充分にすることができる６、 以下、本発明の実施例について図面参照下に詳細に説明
する。
第１図は真空蒸着装置の要部を概略的に示すものであっ
て、ペルジャー（図示せず）内に蒸発源１と対向して被
蒸着基体２（例えば回転可能なアルミニウムドラム）が
配されている。蒸発源１は、蒸発材料３（例えばモレＸ
テルル合金）を収容する蒸着ボート４からなっている。
て、ペルジャー（図示せず）内に蒸発源１と対向して被
蒸着基体２（例えば回転可能なアルミニウムドラム）が
配されている。蒸発源１は、蒸発材料３（例えばモレＸ
テルル合金）を収容する蒸着ボート４からなっている。
このボーＦ４は上下２段に配された各２つのヒーターラ
ンプ５．６を容する」、−壁部７と、蒸発材料３を容す
る下壁部８とによって構成され、土壁部７には蒸発材料
８の蒸発面積より小さい上部開口９から制御された状態
で蒸気が外方（即ち基体２側）へ飛翔するようになって
いる。これはいわゆるクヌードセンセル型蒸発ｒ仝と称
されるものである５、この蒸発源においては、本発明に
従って、ボート壁部７及び８（換言すればボート全体）
が輻射率（ε）０．８以」−１特に０．９以上の熱酸化
ステンレス鋼（ｇ＊ｏ、９）、アルマイト処理したＡＪ
（＃−！ｒ−０９５）、磁器（Ｃ中０．９２）等からな
っている０、この高輻射率材料によって、ボー １・か
らの放熱量が非常に多くなり、上述した如く温度コント
ロールを容易かつ精度良く行なえる。
ンプ５．６を容する」、−壁部７と、蒸発材料３を容す
る下壁部８とによって構成され、土壁部７には蒸発材料
８の蒸発面積より小さい上部開口９から制御された状態
で蒸気が外方（即ち基体２側）へ飛翔するようになって
いる。これはいわゆるクヌードセンセル型蒸発ｒ仝と称
されるものである５、この蒸発源においては、本発明に
従って、ボート壁部７及び８（換言すればボート全体）
が輻射率（ε）０．８以」−１特に０．９以上の熱酸化
ステンレス鋼（ｇ＊ｏ、９）、アルマイト処理したＡＪ
（＃−！ｒ−０９５）、磁器（Ｃ中０．９２）等からな
っている０、この高輻射率材料によって、ボー １・か
らの放熱量が非常に多くなり、上述した如く温度コント
ロールを容易かつ精度良く行なえる。
第２図に示す蒸発源１によれば、外容器１０内に、蒸発
材料８を容した内容器１１が配され、上下のヒーターラ
ンプ１５．１６によって加熱されるようになっている。
材料８を容した内容器１１が配され、上下のヒーターラ
ンプ１５．１６によって加熱されるようになっている。
この場合には、外容器１０（更には内容器１１）を上記
と同様に高輻射率材で形成しでもよいが、容器１０自体
は通常の材料で形成し、その外面の少々くとも一部分（
例えば側面と底面）に高輻射率（ｇ ＝：＝ １．０
）の材料層１２を取付けるようにしても放熱量を充分に
することができる。
と同様に高輻射率材で形成しでもよいが、容器１０自体
は通常の材料で形成し、その外面の少々くとも一部分（
例えば側面と底面）に高輻射率（ｇ ＝：＝ １．０
）の材料層１２を取付けるようにしても放熱量を充分に
することができる。
第３図は、第２図において更に放熱量を増大させるため
に、放熱フィン１３を固定したものである。
に、放熱フィン１３を固定したものである。
勿論、放熱フィン１３の構造、材質によっては、第１図
のボート外面に直接固定してもよいし、或いは材料層１
２を介さずに外容器１０に直接固定してもよい。
のボート外面に直接固定してもよいし、或いは材料層１
２を介さずに外容器１０に直接固定してもよい。
上記した例による蒸発源を用いると、次の如き顕著外効
果が得られる。
果が得られる。
第４図には、従来のボートを使用した場合の温度変化が
示されているが、既述した如くに加熱開始直後に昇温速
度が早いために過熱現象Ａが生じ、その後にヒーターを
オフすると降温しすぎ、更にへンチングＢが生じてしま
う。従って、設定温度Ｔ（例えば３００℃の蒸着湿度）
にするまでの時間ｔｉが例えば６０分も要し、更にその
設定温度を安定保持するまでに２時間も要することがあ
る。
示されているが、既述した如くに加熱開始直後に昇温速
度が早いために過熱現象Ａが生じ、その後にヒーターを
オフすると降温しすぎ、更にへンチングＢが生じてしま
う。従って、設定温度Ｔ（例えば３００℃の蒸着湿度）
にするまでの時間ｔｉが例えば６０分も要し、更にその
設定温度を安定保持するまでに２時間も要することがあ
る。
しかも、ボートが冷え難いから冷却開始時ｔｅから元の
温度に戻るまでにかなりの時間がかかる。
温度に戻るまでにかなりの時間がかかる。
これに対し、本発明に従う蒸発源を用いた場合、第５図
に示す如く、設定温度Ｔに達するまでの時間ｔｉが著し
く短かく（例えば１５分）なり、４０分〜７０分程度の
蒸着時間（ｔｃ−ｔｉ）で済むことになり、更にｔｃ後
の冷却時間も著しく短縮される。
に示す如く、設定温度Ｔに達するまでの時間ｔｉが著し
く短かく（例えば１５分）なり、４０分〜７０分程度の
蒸着時間（ｔｃ−ｔｉ）で済むことになり、更にｔｃ後
の冷却時間も著しく短縮される。
従って、本発明に従う蒸発源は、熱電対等による温度コ
ントロールで設定温度に制御し易く、作業性の面から言
っても非常に有用なものとなる。
ントロールで設定温度に制御し易く、作業性の面から言
っても非常に有用なものとなる。
以上、本発明を例示したが、上述の例は本発明の技術的
思想に基いて更に変形が可能である。
思想に基いて更に変形が可能である。
例えば、蒸着ボート若しくは蒸発源の形状や構造は種々
変更でき、また使用する蒸発材料は５ｅ−Ｔｅに限らず
、Ｓｅ −Ｓ、 Ｆｅ−Ｎｉ、 ＡｇＢｒ −Ｉ等でも
よい。
変更でき、また使用する蒸発材料は５ｅ−Ｔｅに限らず
、Ｓｅ −Ｓ、 Ｆｅ−Ｎｉ、 ＡｇＢｒ −Ｉ等でも
よい。
図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は真
空蒸着装置の要部概略図、 第２図、第３図は他の各側による蒸発源の各断面図、 第４図は従来例による蒸発源の温度変化を示すタイムチ
ャート、 第５図は本発明による蒸発源の温度変化を示すタイムチ
ャート である。 なお、図面に示された符号において、 １・・・・蒸発源 ２・・・・被蒸着基体 ３・・・・蒸発材ｒ１ ４・・・・蒸着ボート ５．６．１５．１６・や０嗜ヒーター ７．８・・・・高輻射率の壁部 ９・・・・上部開口 １２・・・・高輻射率材料層 １３・・・・放熱フィン である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏第４１刀 第５１刃 Ｉ７−￥ 開
空蒸着装置の要部概略図、 第２図、第３図は他の各側による蒸発源の各断面図、 第４図は従来例による蒸発源の温度変化を示すタイムチ
ャート、 第５図は本発明による蒸発源の温度変化を示すタイムチ
ャート である。 なお、図面に示された符号において、 １・・・・蒸発源 ２・・・・被蒸着基体 ３・・・・蒸発材ｒ１ ４・・・・蒸着ボート ５．６．１５．１６・や０嗜ヒーター ７．８・・・・高輻射率の壁部 ９・・・・上部開口 １２・・・・高輻射率材料層 １３・・・・放熱フィン である。 代理人 弁理士 逢 坂 宏第４１刀 第５１刃 Ｉ７−￥ 開
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、蒸発材料を加熱、蒸発させる際に使用され、前記蒸
発材料がその蒸発面積より小さい開口を通して外方へ導
出されるように構成された蒸発材料収容器において、輻
射率が０．８以上であることを特徴とする蒸発４４料収
容器。 ２、輻射率が０．８以−にの材料によって形成されてい
る、特許請求の範■（の第１項に記載した蒸発材料収容
器。 ３、容器の外面の少なくとも−・部分に、輻射率が０．
８以上の材料層が取付けられている、特許請求の範囲の
第１項に記載した蒸発材料収容器。 ４、容器の外面の少なくとも一部分に、放熱フィンが固
定されている、特許請求の範囲の第１項へ一第３項のい
ずれか１項に記載した蒸発材料収容器。 ５、輻射率が０．９以上である、特許請求の範囲の第１
項〜第４項のいずれか１項に記載した蒸発材料収容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15423582A JPS5943872A (ja) | 1982-09-04 | 1982-09-04 | 蒸発材料収容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15423582A JPS5943872A (ja) | 1982-09-04 | 1982-09-04 | 蒸発材料収容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5943872A true JPS5943872A (ja) | 1984-03-12 |
Family
ID=15579795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15423582A Pending JPS5943872A (ja) | 1982-09-04 | 1982-09-04 | 蒸発材料収容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5943872A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5402182A (en) * | 1990-07-17 | 1995-03-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Automatic white-balance controlling apparatus |
| EP1555334A1 (de) * | 2004-01-14 | 2005-07-20 | Applied Films GmbH & Co. KG | Verdampfungseinrichtung für sublimierende Materialien |
-
1982
- 1982-09-04 JP JP15423582A patent/JPS5943872A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5402182A (en) * | 1990-07-17 | 1995-03-28 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Automatic white-balance controlling apparatus |
| EP1555334A1 (de) * | 2004-01-14 | 2005-07-20 | Applied Films GmbH & Co. KG | Verdampfungseinrichtung für sublimierende Materialien |
| CN1333104C (zh) * | 2004-01-14 | 2007-08-22 | 应用材料股份有限两合公司 | 用于升华材料的蒸发装置 |
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