JPS5945545U - グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 - Google Patents
グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置Info
- Publication number
- JPS5945545U JPS5945545U JP14141182U JP14141182U JPS5945545U JP S5945545 U JPS5945545 U JP S5945545U JP 14141182 U JP14141182 U JP 14141182U JP 14141182 U JP14141182 U JP 14141182U JP S5945545 U JPS5945545 U JP S5945545U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- check machine
- inert liquid
- dehumidifier
- liquid recovery
- recovery device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図a、 bはそれぞれ従来のグロースリークチェ
ック機の正面図及び側面図、第2図は本考案の一実施例
によるイナートリキッド回収装置を備えたグロースリー
クチェック機の概略構成図である。 −1・・・グロースリークチェック機、2・・・液貯蔵
槽、3・・・イナートリキッド、13.14・・・除湿
器、15・・・凝縮器、16・・・蒸発器、18・・・
ファン、22・・・循環系路。なお図中、同一符号は同
−又は相当部分を示す。
ック機の正面図及び側面図、第2図は本考案の一実施例
によるイナートリキッド回収装置を備えたグロースリー
クチェック機の概略構成図である。 −1・・・グロースリークチェック機、2・・・液貯蔵
槽、3・・・イナートリキッド、13.14・・・除湿
器、15・・・凝縮器、16・・・蒸発器、18・・・
ファン、22・・・循環系路。なお図中、同一符号は同
−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)グロースリークチェック機の液貯蔵槽内で蒸発し
たイナートリキッドの蒸発気体を冷却し液化する凝縮器
と外部に設けられ上記凝縮器の熱を放出する蒸発器とを
有するi湿器と、上記液゛貯蔵槽の上部空間と除湿器と
の間で上記蒸発気体を循環させる循環系路と、上記除湿
器の蒸発器を冷却するファンとを備えたことを特徴とす
るグロースリークチェック機のイナートリキッド回収装
置。 - (2)上記除湿器として、1次回収用及び2次回収用の
2毛の除湿器を設けたことを特徴とする実用新案登録請
求の範囲第1項記載のグロースリークチェック機のイナ
ートリキッド回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141182U JPS5945545U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14141182U JPS5945545U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5945545U true JPS5945545U (ja) | 1984-03-26 |
| JPS643054Y2 JPS643054Y2 (ja) | 1989-01-26 |
Family
ID=30316284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14141182U Granted JPS5945545U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945545U (ja) |
-
1982
- 1982-09-17 JP JP14141182U patent/JPS5945545U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS643054Y2 (ja) | 1989-01-26 |
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