JPS5945545U - グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 - Google Patents

グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置

Info

Publication number
JPS5945545U
JPS5945545U JP14141182U JP14141182U JPS5945545U JP S5945545 U JPS5945545 U JP S5945545U JP 14141182 U JP14141182 U JP 14141182U JP 14141182 U JP14141182 U JP 14141182U JP S5945545 U JPS5945545 U JP S5945545U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
check machine
inert liquid
dehumidifier
liquid recovery
recovery device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP14141182U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS643054Y2 (ja
Inventor
大野 利雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP14141182U priority Critical patent/JPS5945545U/ja
Publication of JPS5945545U publication Critical patent/JPS5945545U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS643054Y2 publication Critical patent/JPS643054Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第1図a、  bはそれぞれ従来のグロースリークチェ
ック機の正面図及び側面図、第2図は本考案の一実施例
によるイナートリキッド回収装置を備えたグロースリー
クチェック機の概略構成図である。 −1・・・グロースリークチェック機、2・・・液貯蔵
槽、3・・・イナートリキッド、13.14・・・除湿
器、15・・・凝縮器、16・・・蒸発器、18・・・
ファン、22・・・循環系路。なお図中、同一符号は同
−又は相当部分を示す。

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. (1)グロースリークチェック機の液貯蔵槽内で蒸発し
    たイナートリキッドの蒸発気体を冷却し液化する凝縮器
    と外部に設けられ上記凝縮器の熱を放出する蒸発器とを
    有するi湿器と、上記液゛貯蔵槽の上部空間と除湿器と
    の間で上記蒸発気体を循環させる循環系路と、上記除湿
    器の蒸発器を冷却するファンとを備えたことを特徴とす
    るグロースリークチェック機のイナートリキッド回収装
    置。
  2. (2)上記除湿器として、1次回収用及び2次回収用の
    2毛の除湿器を設けたことを特徴とする実用新案登録請
    求の範囲第1項記載のグロースリークチェック機のイナ
    ートリキッド回収装置。
JP14141182U 1982-09-17 1982-09-17 グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置 Granted JPS5945545U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14141182U JPS5945545U (ja) 1982-09-17 1982-09-17 グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14141182U JPS5945545U (ja) 1982-09-17 1982-09-17 グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5945545U true JPS5945545U (ja) 1984-03-26
JPS643054Y2 JPS643054Y2 (ja) 1989-01-26

Family

ID=30316284

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14141182U Granted JPS5945545U (ja) 1982-09-17 1982-09-17 グロ−スリ−クチエツク機のイナ−トリキツド回収装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5945545U (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS643054Y2 (ja) 1989-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59189069U (ja) 冷却装置
JPS58185790U (ja) 熱交換器
JPS6158464U (ja)
JPS58192345U (ja) 太陽熱集熱装置
JPS5929578U (ja) 蓄熱槽
JPS5874082U (ja) 携帯形電子冷蔵庫
JPS5856495U (ja) 冷却装置
JPS58184181U (ja) 冷蔵庫
JPS60177783U (ja) 大容量牛乳冷却装置
JPS58114471U (ja) 空気調和機
JPS5980663U (ja) 水冷凝縮器
JPS5822664U (ja) 拡散吸収式冷凍装置
JPS5941069U (ja) 回転電機の冷却装置
JPS6037775U (ja) 冷蔵庫
JPS586172U (ja) ヒ−トポンプ冷暖房室内機
JPS5843004U (ja) 電子走査アンテナ
JPS6037770U (ja) 太陽熱集熱回路
JPS59162902U (ja) ドライクリ−ナの水分離器
JPS58169460U (ja) 拡散吸収式冷却装置
JPS6076862U (ja) 回転陽極x線管
JPS5986564U (ja) 太陽熱集熱装置
JPS60187886U (ja) 空気調和機
JPS58181190U (ja) コンデンサ用熱交換管
JPS6063750U (ja) 直接接触式ヒ−トポンプユニツト
JPS5996567U (ja) 空冷ヒ−トポンプ式チラ−